专利名称:带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，尤其是指一种用于扫描隧道显微镜上的扫描探头带有减震结构。
由于这种原子图象的典型起伏是1×10-5μm(0.1埃)，所以外来震动的干扰必须小于5×10-6μm(0.05埃)。有两类震动是必须隔离的，即振动和冲击，而振动一般是重复性和连续性的，冲击则是瞬态变化的，在两者之中，振动隔离是最主要的。在先技术中有的减震结构复杂而不理想。
因此，迫切需要提供一种具有简易型减震的扫描隧道显微镜的扫描探头以满足广大用户的使用需求。
本实用新型的带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，如
图1所示。包括扫描探头3-5、支架1和弹簧2。
所说的扫描探头3-5包括头部3、安装平台4和底座5。其中头部3含有外罩301，外罩301与安装平台4衔接处有外沿302，外沿302上置有悬吊螺栓303。
所说的支架1包括底端的底架101，顶端上的顶架103，底部101与顶架103之间的支柱102。
所说的弹簧2有n≥3根，一端均匀分布的固定在支架1的顶架103上，另一端固定在扫描探头3-5头部3外罩301外沿302上的悬吊螺栓303上，或者固定在外罩301上的悬吊环上，或者直接固定在头部3的外罩301上。
支架1的底架101置放在防震台6上。防震台6是气垫台，或者是砂垫台，或者是由多层水泥板与胶皮垫交错构成的平台。
如上述结构，图1所示，n≥3根弹簧2一端均匀分布的固定在支架1的顶架103上，另一端固定在扫描探头3-5头部3的外罩301上，弹簧2将其扫描探头3-5悬吊在支架1中间的空中，扫描探头3-5的底座5离开底架101，其头部3顶上不接触顶架103，除了固定的弹簧2外，周围不接触任何物件。当来自外界震动时，先是防震台6减震，其余震和冲击波震动再由弹簧2渐渐地减去。又因为弹簧有n≥3根是均匀分布的，所以悬吊的扫描探头3-5的重心比较稳定。如果n＝1根弹簧，2或者n＝2根弹簧2，其悬在空中重心的稳定性就不如n≥3根，而且减震效果相对也会差一些。
与在先技术相比，本实用新型的扫描探头的减震结构简单，组装容易，减震、抗震效果好。用于扫描隧道显微镜上，提高了稳定性和分辩率的精度。是比较理想的带减震的扫描探头。
如上述图1所示的结构。
其中弹簧2的数量n＝3，防震台6是气垫台。为了能使扫描探头3-5悬吊于支架1中间的空中。支架1的支柱102的高度h柱大于弹簧2的长度l弹加上扫描探头3-5的高度H装的总和。即h柱＞l弹+H装。弹簧2的长度l弹大于扫描探头3-5头部3的高度L头，即l弹＞L头。3根弹簧2一端均匀地固定在支架1的顶架103上，另一端固定在扫描探头3-5头部外罩301外沿302上均匀分布的悬吊螺栓303上。如图1所示。
权利要求
1.一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，包括含有头部(3)、安装平台(4)和底座(5)的扫描探头(3-5)和防震台(6)，其中头部(3)含有外罩(301)，外罩(301)与安装平台(4)衔接处有外沿(302)，外沿(302)上置有悬吊螺栓(303)，其特征在于包括支架(1)和弹簧(2)，其中支架(1)包括底端的底架(101)、顶端的顶架(103)、底架(101)与顶架(103)之间的支柱(102)；弹簧(2)有n≥3根，一端均匀分布的固定在支架(1)的顶架(103)上，另一端固定在扫描探头(3-5)头部(3)的外罩(301)外沿(302)上的悬吊螺栓(303)上，或者固定在外罩(301)上的悬吊环上，或者直接固定在头部(3)的外罩(301)上，支架(1)的底架(101)置放在防震台(6)上。
2.根据权利要求
1所述的带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，其特征在于所说的支架(1)的支柱(102)高度h柱大于弹簧(2)的长度l弹加上扫描探头(3-5)的高度H装的总和。即h柱＞l弹+H装；弹簧(2)的长度l弹大于扫描探头(3-5)头部(3)的高度L头，即l弹＞L头；
3.根据权利要求
1所述的带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，其特征在于所说的防震台(6)是气垫台，或者是砂垫台，或者是由多层水泥板与胶皮垫交错构成的平台。
专利摘要
一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头，包括含有头部、安装平台和底座的扫描探头，含有底架、支柱和顶架的支架，n≥3根的弹簧。弹簧一端均匀地固定在支架的顶架上，另一端固定在扫描探头头部的外罩上。由弹簧将其扫描探头悬吊在支架的中间的空中。支架的底架置放在防震台上。来自外界的震动和冲击波引起的震动由防震台和弹簧双重减震，获得良好的减震和防震效果。本实用新型的减震结构不仅结构简单，组装容易，使得扫描探头的抗震能力强，而且稳定性好，提高了分辨率的精度。
文档编号G01Q60/16GKCN2593319SQ02280002
公开日2003年12月17日 申请日期2002年11月28日
发明者李民乾, 胡均, 华寿亭, 张心澄 申请人:上海爱建纳米科技发展有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan