技术特征：
1.一种氧传感器芯片中3y和6y的氧化锆流延片复合层的制备方法，包括以下步骤：s1：工作准备：准备制备需要的原料、反应材料和加工机器；s2：了解并调整3y流延片、6y流延片和al2o3的热膨胀系数；s3：3y流延片、6y流延片和al2o3均采用相同的有机粘结剂和溶剂配方进行反应；s4：将复合氧化锆粉，溶剂和流延胶按比例配置调和浆料，将浆料经流延机流延形成流延片。2.如权利要求1所述的一种氧传感器芯片中3y和6y的氧化锆流延片复合层的制备方法，步骤s2还包括：s201：取得3y，6y，al2o3的热膨胀系数，3y的热膨胀系数为11.7(10-6
/k)，6y的热膨胀系数为11.0(106/k)，al2o3的热膨胀系数为8.0(10-6
/k)；s202：3y，6y，al2o3设质量份数为x，1，1-x，则匹配条件是：11.7x+(1-x)*8＝11.0；s203：得出结论，x＝0.81，1-x＝0.19，所得在流延配方中，6y层的6y粉体质量份数为100份，对应匹配的3y+al2o3质量份数是3y含81份，而al2o3含19份。3.如权利要求1所述的一种氧传感器芯片中3y和6y的氧化锆流延片复合层的制备方法，步骤s3中，有机粘结剂为羧甲基纤维素钠、重铬酸钾、硫化促进剂m和改性松香树脂进行醚化反应而成，羧甲基纤维素钠、重铬酸钾、硫化促进剂m和改性松香树脂其制备配比为60∶10∶20∶10。4.如权利要求1所述的一种氧传感器芯片中3y和6y的氧化锆流延片复合层的制备方法，步骤s4中还包括：s401：将复合氧化锆粉，溶剂和流延胶按比例配置，复合氧化锆粉，溶剂和流延胶按质量分数比为：100∶(30～50)∶(20～40)；s402：将完成配比的原料调和形成浆料；s403：浆料放置于流延机上流延形成流延片。5.如权利要求4所述的一种氧传感器芯片中3y和6y的氧化锆流延片复合层的制备方法，步骤s401中，流延胶由聚乙烯醇缩丁醛溶于乙醇并添加聚乙二醇增塑剂形成，聚乙烯醇缩丁醛∶乙醇∶聚乙二醇增塑剂的容积比为：100∶(50～100)∶(20～50)。6.如权利要求4所述的一种氧传感器芯片中3y和6y的氧化锆流延片复合层的制备方法，步骤s403中，流延机型号为cam-h355。
技术总结
本发明公开了一种氧传感器芯片中3Y和6Y的氧化锆流延片复合层的制备方法，在氧传感器及其他需要氧化锆材料的功能器件的制作过程中，常常需要用到氧化锆作为氧离子导电性和同时作为氧化锆的韧性的特性，在氧化锆陶瓷材料中氧化锆的韧性是相对较好的，3Y的韧性较好，6Y的氧离子导电性较好，使制成的氧化锆流延片复合层具有韧性较好和氧离子导电性较好的优点，3Y流延片、6Y流延片和Al2O3均采用有机粘结剂和溶剂配方进行反应，有机粘结剂为羧甲基纤维素钠、重铬酸钾、硫化促进剂M和改性松香树脂进行醚化反应而成，将复合氧化锆粉，溶剂和流延胶按比例配置，完成配比的原料调和形成浆料，将浆料经流延机流延形成流延片。将浆料经流延机流延形成流延片。将浆料经流延机流延形成流延片。
技术研发人员：谢光远 尹亮亮 邱电荣 张宇明 王晓宁
受保护的技术使用者：镇江芯源诚达传感科技有限公司
技术研发日：2020.06.28
技术公布日：2021/12/27