一种溅射旋转靶材直线度检验装置的制作方法

1.本发明涉及溅射旋转靶材检测技术领域，具体为一种溅射旋转靶材直线度检验装置。


背景技术：

2.镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，随着镀膜靶材的不断发展进步，损耗率更小的旋转靶材开始投入使用，磁控旋转靶材般在两头的位置，磁场形成回路，磁场强，这样，磁控溅射聚集更多的自由电子，形成较强的自维持放电现象。相对应的，容易溅射，溅射速率增强，所以溅射速度较其他地方的溅射速率快，普通的平面靶材的利用率般是旋转靶材的1/2左右，旋转靶材的利用率般在60%左右，旋转靶材的直线度非常重要，出现偏差的话无法正常使用，大大增加了工厂成本，因此，加工完成后的旋转靶材基管需要进行直线度检验。
3.但是，现有的旋转靶材直线度检验装置灵活性较差，不能够根据旋转靶材的直径进行灵活调节，易出现旋转靶材的圆心与检测装置中心不处于同一条直线的情况，从而易出现检测偏差，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种溅射旋转靶材直线度检验装置。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种溅射旋转靶材直线度检验装置，以解决上述背景技术中提出的旋转靶材的圆心与检测装置中心不处于同一条直线从而易出现检测偏差的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种溅射旋转靶材直线度检验装置，包括底座，所述底座的内部设置有调节腔，所述底座上端的中间位置处分别安装有第一固定座和第二固定座，且第一固定座与第二固定座以底座的中心线为轴线呈对称分布，所述第一固定座和第二固定座的外部设置有旋转靶材，所述底座上端的一侧固定设置有支撑柱，所述支撑柱的内部滑动设置有活动柱，且活动柱的上端延伸至支撑柱的上方，所述活动柱上端的一侧设置有安装杆，所述安装杆的下端安装有电动推杆，所述电动推杆的下方设置有安装头，所述安装头的两侧安装有红外线探头。
6.优选的，所述调节腔的内部分别设置有第一传动杆和第二传动杆，且第二传动杆位于第一传动杆的下方，所述第一传动杆与第一固定座的下端固定连接，且第一传动杆的上端与底座滑动连接，所述第二传动杆与第二固定座通过连接杆固定连接，且第二传动杆的下端与调节腔通过滑轨滑动连接，所述第一传动杆和第二传动杆的内侧均设置有齿槽，所述第一传动杆和第二传动杆之间安装有齿轮，且齿轮与齿槽啮合连接，所述底座前端的中间位置处安装有第二调节轮，且第二调节轮的一端与齿轮固定连接。
7.优选的，所述电动推杆与安装头之间固定安装有伺服电机，且伺服电机的输出轴与安装头通过联轴器传动连接，所述红外线探头以安装头的中心线为轴线呈对称分布。
8.优选的，所述支撑柱的一侧安装有第一调节轮，且第一调节轮的一端穿过支撑柱
与活动柱相贴合，所述第一调节轮与支撑柱螺纹配合。
9.优选的，所述底座上端的另一侧安装有显示屏，且显示屏与红外线探头电性连接。
10.优选的，所述底座的上端设置有刻度标。
11.与现有技术相比，本发明的有益效果是：1、本发明通过在底座的内部设置有调节腔，对旋转靶材进行固定时，将旋转靶材沿着第一固定座与第二固定座的外壁进行插入，使得旋转靶材的底部包裹于第一固定座和第二固定座，此时转动第二调节轮，第二调节轮的一端带动齿轮进行转动，齿轮的上下端分别安装与第一传动杆和第二传动杆，第一传动杆和第二传动杆上的齿槽与齿轮相啮合，从而在转动第二调节轮的同时，第一传动杆和第二传动杆分别呈相反方向沿直线同步运动，而齿轮的中心与第一固定座和第二固定座之间的中心点处于同一条垂直线上，那么两个固定座在移动的同时始终保持与齿轮中心点相等的距离，通过顺时针转动第二调节轮，使得固定座在旋转靶材内部对其进行固定，同时对靶材的位置进行调整，使得旋转靶材的圆心与电动推杆的圆心处于同一条直线上，通过这种方式，一方面能够根据旋转靶材的直径长度进行灵活调节，另一方面，在调节过程中能够确保旋转靶材的圆心与检测装置中心处于同一条直线上，从而提高检测精度。
12.2、本发明通过在电动推杆的下端装有两个红外线探头的伺服电机，对旋转靶材的内壁直线度进行检测时，分别开启电动推杆和红外线探头，使得红外线探头缓慢的进入旋转靶材内部，红外线探头发射的红外线通过旋转靶材内壁进行反射，红外线探头同时能够对反射的光线进行接收，从而能够实现距离的计算，随着红外线探头的不断下降，完成对旋转靶材内壁直线度的检测，同时开启两个红外线探头时，通过启动伺服电机，红外线探头能够在不同的横向位置对内壁至红外线探头之间的距离进行检测，若两个红外线探头之间距离差异超出预设值，则表示该区域内旋转靶材内壁不同心，通过这种方式，在进行高效率检测的前提下提高了旋转靶材直线度的检测精准度。
13.3、本发明通过在支撑柱的内部安装有可滑动的活动柱，通过转动第一调节轮，在其与支撑柱在摩擦力的作用下能够控制活动柱在支撑柱内部的固定强度，从而便于与电动推杆相配合，在旋转靶材的内部进行检测工作。
附图说明
14.图1为本发明的整体内部结构示意图；图2为本发明的整体侧视图；图3为本发明的俯视图；图4为本发明的a区域局部放大图；图5为本发明的传动杆与齿轮连接结构侧视图。
15.图中：1、底座；2、调节腔；3、支撑柱；4、活动柱；5、安装杆；6、电动推杆；7、旋转靶材；8、齿槽；9、第一固定座；10、第二固定座；11、第一传动杆；12、第二传动杆；13、连接杆；14、齿轮；15、第一调节轮；16、显示屏；17、第二调节轮；18、刻度标；19、伺服电机；20、红外线探头；21、安装头。
具体实施方式
16.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
17.请参阅图1
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5，本发明提供的一种实施例：一种溅射旋转靶材直线度检验装置，包括底座1，底座1的内部设置有调节腔2，底座1上端的中间位置处分别安装有第一固定座9和第二固定座10，且第一固定座9与第二固定座10以底座1的中心线为轴线呈对称分布，第一固定座9和第二固定座10的外部设置有旋转靶材7，底座1上端的一侧固定设置有支撑柱3，支撑柱3的内部滑动设置有活动柱4，且活动柱4的上端延伸至支撑柱3的上方，活动柱4上端的一侧设置有安装杆5，安装杆5的下端安装有电动推杆6，电动推杆6的下方设置有安装头21，安装头21的两侧安装有红外线探头20。
18.进一步，调节腔2的内部分别设置有第一传动杆11和第二传动杆12，且第二传动杆12位于第一传动杆11的下方，第一传动杆11与第一固定座9的下端固定连接，且第一传动杆11的上端与底座1滑动连接，第二传动杆12与第二固定座10通过连接杆13固定连接，且第二传动杆12的下端与调节腔2通过滑轨滑动连接，第一传动杆11和第二传动杆12的内侧均设置有齿槽8，第一传动杆11和第二传动杆12之间安装有齿轮14，且齿轮14与齿槽8啮合连接，底座1前端的中间位置处安装有第二调节轮17，且第二调节轮17的一端与齿轮14固定连接，通过这种方式，一方面能够根据旋转靶材7的直径长度进行灵活调节，另一方面，在调节过程中能够确保旋转靶材7的圆心与检测装置中心处于同一条直线上，从而提高检测精度。
19.进一步，电动推杆6与安装头21之间固定安装有伺服电机19，且伺服电机19的输出轴与安装头21通过联轴器传动连接，红外线探头20以安装头21的中心线为轴线呈对称分布，红外线探头20发射的红外线通过旋转靶材7内壁进行反射，红外线探头20同时能够对反射的光线进行接收，从而能够实现距离的计算，随着红外线探头20的不断下降，完成对旋转靶材7内壁直线度的检测。
20.进一步，支撑柱3的一侧安装有第一调节轮15，且第一调节轮15的一端穿过支撑柱3与活动柱4相贴合，第一调节轮15与支撑柱3螺纹配合，通过转动第一调节轮15，在其与支撑柱3在摩擦力的作用下能够控制活动柱4在支撑柱3内部的固定强度，从而便于与电动推杆6相配合。
21.进一步，底座1上端的另一侧安装有显示屏16，且显示屏16与红外线探头20电性连接，显示屏16用于对检测数值的显示。
22.进一步，底座1的上端设置有刻度标18，刻度标18能够便于使用者进一步对圆心距离进行判断。
23.工作原理：使用时，对旋转靶材7进行固定时，将旋转靶材7沿着第一固定座9与第二固定座10的外壁进行插入，使得旋转靶材7的底部包裹于第一固定座9和第二固定座10，此时转动第二调节轮17，第二调节轮17的一端带动齿轮14进行转动，第一传动杆11和第二传动杆12上的齿槽8与齿轮14相啮合，从而在转动第二调节轮17的同时，第一传动杆11和第二传动杆12分别呈相反方向沿直线同步运动，而齿轮14的中心与第一固定座9和第二固定座10之间的中心点处于同一条垂直线上，那么两个固定座在移动的同时始终保持与齿轮14中心点相等的距离，通过顺时针转动第二调节轮17，使得固定座在旋转靶材7内部对其进行固定，同时对靶材的位置进行调整，使得旋转靶材7的圆心与电动推杆6的圆心处于同一条
直线上，对旋转靶材7的内壁直线度进行检测时，分别开启电动推杆6和红外线探头20，使得红外线探头20缓慢的进入旋转靶材7内部，红外线探头20发射的红外线通过旋转靶材7内壁进行反射，红外线探头20同时能够对反射的光线进行接收，从而能够实现距离的计算，随着红外线探头20的不断下降，完成对旋转靶材7内壁直线度的检测，同时开启两个红外线探头20时，通过启动伺服电机19，红外线探头20能够在不同的横向位置对内壁至红外线探头20之间的距离进行检测，若两个红外线探头20之间距离差异超出预设值，则表示该区域内旋转靶材7内壁不同心。
24.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。