用于曲面检测的光学检测装置的制作方法

1.本申请是关于光学检测装置，特别是一种可用于对待测物品的曲面进行检测的检测装置。


背景技术：

2.自动光学检测技术(aoi)在半导体制造过程中扮演重要角色，为了避免后续制造的产品有缺陷，半导体制造过程中会以自动光学检测进行初步检验，目前常见的自动光学检测系统多半是针对平面的待测物品做设计，实际上有许多待测物品的检测面为曲面，目前的检测技术较不容易检测出曲面上的缺陷。


技术实现要素：

3.本申请所要解决的技术问题在于提供一种光学检测装置，特别是一种可用于曲面检测的光学检测装置。
4.根据本申请目的，提供一种光学检测装置，具有摄像机用以检测待测物的弧面，光学检测装置还包含：至少一导光件至少部分围绕该曲面，其内表面定义一检测区域；多个隔板，彼此间隔设置于该导光件的外表面；以及多个光源，远离该导光件且分别设置于相邻的二隔板之间。
5.待测物的至少一部分设置于检测区域，该待测物的待测弧面具有一延伸轴以及与该延伸轴垂直的一参考轴，该摄像机定义出一取像轴，该参考轴与该取像轴夹角为锐角。
6.其中该光源为可见光或不可见光，该光源的发光方向为一光轴，该光轴与该取像轴夹角介于0度到150度之间。
7.较佳的，该至少一导光件的数量为二个，该些导光件的开放端相面对形成二开口。
8.较佳的，该隔板表面可以是吸光面或反射面，能集中该光源所发射的光线。
9.有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
10.为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
11.图1是本申请的第一实施例示意图；
12.图2是本申请的第一实施例使用示意图；
13.图3是本申请的第二实施例示意图；
14.图4是本申请的第二实施例使用示意图。
15.符号说明
16.a：取像轴
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b：参考轴
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c：延伸轴
17.d：光源平面
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e：取像平面
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l：光轴
18.10：导光件
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11：检测区域
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20：隔板
19.30：光源
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40：摄像机
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50：待测物
具体实施方式
20.在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。
21.请参阅图1至图2，绘示一种光学检测装置，包含一导光件10，该导光件10呈弧形，该导光件10呈c型且其内表面定义一检测区域11，多个隔板20沿着该导光件10的外表面等角度间隔设置，多个光源30远离该导光件10且分别设置于相邻的二隔板20之间，使光源30可以朝向导光件10发射光线，以及一摄像机40，用以接收该些光源30通过导光件10后抵达至待测物50表面所反射的光线，以取得待测物50表面的影像。由于导光件10具有将光线散射或扩散的功能，可以使进入检测区域11中的光线均匀分布，因此，可以均匀的照射在待测物的圆弧曲面，提高摄像机40所拍摄影像的清晰程度，而得知该表面是否有瑕疵。
22.该导光件10在本实施例为一体成形的单一组件，亦可视需要变化成由多个导光单元相互组装而成，无论其材质或结构，只要能达成光线散射或扩散的功能，均可视为导光件10的等效结构。前述导光单元也可以供连接隔板20及光源30连接，形成照明模块。
23.于本实施例中，每一光源30可以是不同波长的色光、白光或不可见光，该些隔板20表面可以是吸光面或是反射面，该些隔板20两两间隔设置用以集中光线并增强光线照射强度，也可以避免该些光源30的色光互相影响。此外，本申请所属技术领域的通常知识者可以依照待测物50的曲面角度变化，视需要将该些光源30单独点亮、依序点亮或是全部同时点亮。补充说明的是该些隔板20具有阻隔两相邻光线在导光件10前互相影响的功效，于其他实施例中不以此为限，可以采用任何外形、材料或方法。
24.于本实施例中，该检测区域11大致呈圆柱状，待测物50待检测部分设置于该检测区域11中，该导光件10能接收该光源30的光线传递至该检测区域11，使光线能均匀分布至该待测物50的表面。因此，该待测物50可以是圆管状、圆盘状或是具有一圆弧边缘的任意形状。该摄像机40设置以接受该待测物50反射的光线。
25.待测物50、导光件10、摄像机40的具体位置可参考图2，待测物50为圆柱状而使其待测圆弧面具有一延伸轴c(即圆柱的轴心)，并定义出一参考轴b垂直于该延伸轴c，该摄像机40的镜头方向定义成一取像轴a，使得该参考轴b与该取像轴a夹角θ2为锐角。该些光源30的出光方向共一平面且定义一光源平面d与该延伸轴c相交，该光源平面d与该参考轴b夹角θ1为锐角。本申请所属技术领域的通常知识者可以根据待测物50的外观或待侧面设定延伸轴c与参考轴b，并微调θ1、θ2使摄像机40的镜头方向可以微调朝向待测物的圆弧面。
26.请参阅图3至图4为本申请的第二实施例，其中二导光件10的内表面定义一检测区域11，导光件10的开放端相远离形成二开口，该些开口位同一轴线(取像轴a)上，并将该摄像机40设置于其中的一开口的一侧，此外，本申请所属技术领域的通常知识者可以视需要调整导光件10的数量及设置位置，当光源30挡住摄像机40视角时，可以将该光源30拿掉，此时，该摄像机40与该些光源30的出光方向大致位于同一平面，该摄像机40的取像轴a朝向待测物50的表面，并定义与该取像轴a垂直的一取像平面e，其中各该光源30的发光方向为一
光轴l，该光轴l与该取像轴a夹角介于0度到150度之间，进一步地该光轴l与该取像轴a可以介于80度到150度之间，以检测待测物的圆弧曲面，而得知该表面是否有瑕疵。于其他实施例中，该导光件10数量为二个以上，但实施上不以此为限，例如可以用任何外形、材料或方法。
27.在第二实施例中，所有光源30的多个光轴与取像轴a之间的夹角均介于0度到150度之间。
28.以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本申请实质相同的技术或实施例。


技术特征：
1.一种用于曲面检测的光学检测装置，具有一摄像机用以检测一待测物的一曲面，其特征在于，该光学检测装置还包含：至少一导光件至少部分围绕该曲面，具有将光线散射或扩散的功能，其内表面定义一检测区域；多个隔板，彼此间隔设置于该导光件的外表面；以及多个光源，远离该导光件且分别设置于相邻的二隔板之间。2.根据权利要求1所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该检测区域容设该待测物的至少一部分，该待测物的弧面具有一延伸轴以及一参考轴垂直于该延伸轴，该摄像机定义出一取像轴，该参考轴与该取像轴夹角为锐角。3.根据权利要求1所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该摄像机定义出一取像轴，该些光源的发光方向为多个光轴，该些光轴与该取像轴夹角均介于0度到150度之间。4.根据权利要求1所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该些光源定义一光源平面，该待测物的弧面具有一延伸轴以及一参考轴垂直于该延伸轴，该参考轴与该光源平面的夹角为锐角。5.根据权利要求1至4中任一项所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该些光源为可见光或不可见光。6.根据权利要求1至4中任一项所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该些隔板表面为吸光面或反射面。7.根据权利要求1至4中任一项所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该些光源的至少一个在检测时被点亮。8.根据权利要求1至4中任一项所述用于曲面检测的光学检测装置，其特征在于，该至少一导光件是由多个导光单元相互组装而成。9.根据权利要求8所述用于曲面检测的光学检测装置，其中各该导光单元连接该些隔板其中之一，以及该些光源其中之一，形成一照明模块。

技术总结
本申请提供一种用于曲面检测的光学检测装置，具有摄像机用以检测待测物的弧面，光学检测装置还包含：至少一导光件呈弧形，其内表面定义一检测区域；多个隔板，彼此间隔设置于导光件的外表面；以及多个光源，远离导光件且分别设置于该些隔板之间；其中，摄像机接受检测区域中待测物的反射光线以取得检测结果。测区域中待测物的反射光线以取得检测结果。测区域中待测物的反射光线以取得检测结果。


技术研发人员：陈泳男 郑钦源
受保护的技术使用者：极智光电股份有限公司
技术研发日：2020.12.03
技术公布日：2021/9/21