一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置。


背景技术：

2.地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片是制作芯片的重要材料。
3.在使用日本不二越23自动抛光线生产过程中，8寸贴片机偶有抛光前有蜡贴片过程中融蜡不充分造成硅片位置偏移，无法及时发现异常，在抛光过程中由于受力大而碎片，清理工作耗时过长，影响机台效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，以解决上述背景技术中提出的在使用日本不二越23自动抛光线生产过程中，8寸贴片机偶有抛光前有蜡贴片过程中融蜡不充分造成硅片位置偏移，无法及时发现异常，在抛光过程中由于受力大而碎片，清理工作耗时过长，影响机台效率的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，包括陶瓷盘冷却台，所述陶瓷盘冷却台的一侧固定安装有支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有提升装置安装座，所述提升装置安装座的一侧表面固定安装有直线导轨，所述直线导轨的一侧固定安装有提升气缸，所述提升气缸的输出端固定安装有活塞杆，所述活塞杆的顶端与直线导轨连接，所述直线导轨的一侧固定安装有连接座，所述连接座的一端固定安装伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有接尘盒，所述接尘盒的一侧通过旋转臂固定安装有小光点反射光路传感器。
6.优选的，所述陶瓷盘冷却台的顶部设置有陶瓷盘，且陶瓷盘的内侧放置有硅片。
7.优选的，所述连接座的表面固定安装有正极限传感器，所述正极限传感器的一侧固定安装有负极限传感器，且负极限传感器的一侧固定安装有零点传感器。
8.优选的，所述小光点反射光路传感器的输出端设置有虚拟光电传感器光路。
9.优选的，所述陶瓷盘冷却台的一侧表面嵌入固定安装有电源接口，且电源接口的输入端通过导线与外部电源电性连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11.该一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，在进行日常使用的过程中，通过采用在贴片的陶瓷盘上方加装一套装置，利用伺服电机匀速旋转带动小光点反射光路传感器的通断检测两片硅片之间通过的时间，通过计算转化为长度单位，查找出位置偏移的硅片，让其不流入抛光工序，以免影响产量和机台效率，使硅片的整体加工质量更高。
附图说明
12.图1为本实用新型的主视图；
13.图2为本实用新型的侧视图；
14.图3为本实用新型的俯视图。
15.图中：1、陶瓷盘冷却台；2、提升气缸；3、直线导轨；4、提升装置安装座；5、硅片；6、正极限传感器；7、负极限传感器；8、零点传感器；9、旋转臂；10、陶瓷盘；11、支撑板；12、活塞杆；13、电源接口；14、虚拟光电传感器光路；15、小光点反射光路传感器；16、接尘盒；17、伺服电机；18、连接座。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，包括陶瓷盘冷却台1，陶瓷盘冷却台1的一侧固定安装有支撑板11，支撑板11的顶部固定安装有提升装置安装座4，提升装置安装座4的一侧表面固定安装有直线导轨3，直线导轨3的一侧固定安装有提升气缸2，提升气缸2的输出端固定安装有活塞杆12，活塞杆12的顶端与直线导轨3连接，通过提升气缸2带动整个检测装置上下移动一定距离，以避开陶瓷盘10移栽机械臂，避免两者相撞，直线导轨3的一侧固定安装有连接座18，连接座18的一端固定安装伺服电机17，伺服电机17的输出端固定安装有接尘盒16，用于接收上方伺服电机17转动时可能产生的粉尘和油污，避免污染下方的硅片5，接尘盒16的一侧通过旋转臂9固定安装有小光点反射光路传感器15通过伺服电机17旋转时带动旋转臂9和安装在旋转臂9上的小光点反射光路传感器15一起旋转，陶瓷盘冷却台1的顶部设置有陶瓷盘10，且陶瓷盘10的内侧放置有硅片5，用于将硅片5进行实时限位固定。
18.连接座18的表面固定安装有正极限传感器6，正极限传感器6的一侧固定安装有负极限传感器7，通过正极限传感器6和负极限传感器7用于限制伺服电机17的转动角度不至于超出行程而损坏，且负极限传感器7的一侧固定安装有零点传感器8，通过零点传感器8用于旋转臂寻找原点位置，小光点反射光路传感器15的输出端设置有虚拟光电传感器光路14，陶瓷盘冷却台1的一侧表面嵌入固定安装有电源接口13，且电源接口13的输入端通过导线与外部电源电性连接，通过电源接口13外接电源线路插口进行实时通电。
19.工作原理：当贴片好陶瓷盘10被自动运输到陶瓷盘冷却台1上时，提升气缸2即下降，将整套检测装置降低到离硅片5固定高度的位置，随即开始扫描陶瓷盘10上硅片5的数量，伺服电机17从零点开始快速逆时针旋转，带动小光点反射光路传感器15做圆周运动，转动340度以后停留在终点位置，通过旋转过程中小光点反射光路传感器15接通的次数判断陶瓷盘10上贴片的数量，当接通次数为五次时，装置选用5片的程序检测，当接通次数为4次时，装置选用4片的程序检测，当扫描完成后系统确定了检测程序后即开始检测硅片5之间的距离，伺服电机17开始从终点位置慢速顺时针旋转，带动小光点反射光路传感器15做圆周运动，最终到达零点位置，在旋转臂9慢速通过两片硅片5中间的间隔时，小光点反射光路
传感器15会给系统一个反馈信号，系统即记录下小光点反射光路传感器15信号接通的时间，通过比例的计算转换成距离数据，储存起来，当旋转臂9慢速旋转到零点时会将每一片硅片5的间隔距离与设定的距离对比，以此数据来判定为合格或者不合格。
20.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，包括陶瓷盘冷却台(1)，其特征在于：所述陶瓷盘冷却台(1)的一侧固定安装有支撑板(11)，所述支撑板(11)的顶部固定安装有提升装置安装座(4)，所述提升装置安装座(4)的一侧表面固定安装有直线导轨(3)，所述直线导轨(3)的一侧固定安装有提升气缸(2)，所述提升气缸(2)的输出端固定安装有活塞杆(12)，所述活塞杆(12)的顶端与直线导轨(3)连接，所述直线导轨(3)的一侧固定安装有连接座(18)，所述连接座(18)的一端固定安装伺服电机(17)，所述伺服电机(17)的输出端固定安装有接尘盒(16)，所述接尘盒(16)的一侧通过旋转臂(9)固定安装有小光点反射光路传感器(15)。2.根据权利要求1所述的一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，其特征在于：所述陶瓷盘冷却台(1)的顶部设置有陶瓷盘(10)，且陶瓷盘(10)的内侧放置有硅片(5)。3.根据权利要求1所述的一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，其特征在于：所述连接座(18)的表面固定安装有正极限传感器(6)，所述正极限传感器(6)的一侧固定安装有负极限传感器(7)，且负极限传感器(7)的一侧固定安装有零点传感器(8)。4.根据权利要求1所述的一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，其特征在于：所述小光点反射光路传感器(15)的输出端设置有虚拟光电传感器光路(14)。5.根据权利要求1所述的一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，其特征在于：所述陶瓷盘冷却台(1)的一侧表面嵌入固定安装有电源接口(13)，且电源接口(13)的输入端通过导线与外部电源电性连接。

技术总结
本实用新型公开了一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，包括陶瓷盘冷却台，所述陶瓷盘冷却台的一侧固定安装有支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有提升装置安装座，所述提升装置安装座的一侧表面固定安装有直线导轨，所述直线导轨的一侧固定安装有提升气缸，所述提升气缸的输出端固定安装有活塞杆。该一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，在进行日常使用的过程中，通过采用在贴片的陶瓷盘上方加装一套装置，利用伺服电机匀速旋转带动小光点反射光路传感器的通断检测两片硅片之间通过的时间，通过计算转化为长度单位，查找出位置偏移的硅片，让其不流入抛光工序，以免影响产量和机台效率，使硅片的整体加工质量更高。高。高。


技术研发人员：黄盛军 菅明辉 高晟淇 尹文宝 王彦君 孙晨光
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2020.12.10
技术公布日：2021/9/14