一种储液罐补液判空装置的制作方法

本实用新型半导体领域，特别涉及一种储液罐补液判空装置。

背景技术：

传统的微电子、半导体实验室中，经常使用液化气体和液体化学品。储液罐判空装置就是通过液位检测器可以检测出罐体内的液位，进而判断待检测储液罐中是否有充足的原料液体，避免了价格昂贵的地磅称重，直接利用该装置即可确定待检测储液罐中的原料液体是否需要补充，可行性强且成本低，目前的储液罐判空装置存在以下不足：该设备液位检测器只有两个浮球，高液位浮球和低液位浮球，若其中一个发生故障，系统无法检测出故障，缺少一道后续安全检测保障；补液系统发生故障没有进行补液或者补满后未停止继续输液，储液罐判空装置无法给出反馈。

亟需一种能够提供安全监测保障、保证工艺制造中对原材料不间断供应的储液罐补液判空装置来解决上述技术问题。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种储液罐补液判空装置，本实用新型的储液罐补液判空装置能够提供安全监测保障、保证工艺制造中对原材料的不间断供应。

本实用新型是通过如下技术方案解决上述技术问题的：

本实用新型提供了一种储液罐补液判空装置，包括储液罐、液位计、信号变送器、h/h浮球感应器、h浮球感应器、l/l浮球感应器、l浮球感应器、补液管道、补液阀门、排气管道、排气阀门、加压管道、加压阀门、供液管道和供液阀门；所述补液管道、排气管道、加压管道和供液管道分别和所述储液罐相连，所述补液阀门设置于所述补液管道上，所述排气阀门设置于所述排气管道上，所述加压阀门设置于所述加压阀门上，所述供液阀门设置于所述供液管道上；所述液位计设置于所述储液罐内，所述h/h浮球感应器、h浮球感应器、l浮球感应器和l/l浮球感应器从上至下固定于所述液位计上，所述h/h浮球感应器、h浮球感应器、l/l浮球感应器和l浮球感应器分别与所述信号变送器相连。

本实用新型中，所述储液罐用于储存液体，所述储液罐为本领域常规。

本实用新型中，所述液位计用于显示液位，并承载各浮球传感器，所述液位计为本领域常规；

较佳地，所述液位计为干簧管液位器。

本实用新型中，所述信号变送器用于将传感器信号传递至后续的补液设备，所述信号变送器为本领域常规。

本实用新型中，所述h/h浮球感应器为备用高液位浮球感应器，所述h浮球感应器为高液位浮球感应器，所述l/l浮球感应器为备用低液位浮球感应器，所述l浮球感应器为低液位浮球感应器，分别用于感应储液罐内的液位到达情况；

较佳地，所述h/h浮球感应器和h浮球感应器之间的间距与l/l浮球感应器和l浮球感应器之间的间距相同。

本实用新型中，所述补液管道和所述补液阀门用于实现补液；

较佳地，所述补液阀门为气动阀。

本实用新型中，所述排气管道和排气阀门用于排气；

较佳地，所述排气管道还设置有单向阀，用于防止气体回流造成原材料污染；

较佳地，所述排气阀门为气动阀。

本实用新型中，所述加压管道和加压阀门用于实现储液罐的加压；

较佳地，所述加压阀门为气动阀。

本实用新型中，所述供液管道和所述供液阀门用于实现储液罐的对外供液；

较佳地，所述供液阀门为气动阀。

本实用新型的储液罐补液判空装置的使用原理为：液体使用至低于l浮球感应器，l浮球感应器触发启动信号给补液系统，补液阀门开启、排气阀门开启，补液系统开始补充液体自补液阀门到达储液罐内，储液罐内气体自排气阀门排出；液位升至h浮球感应器，h浮球感应器触发停止信号给补液系统，补液阀门关闭、排气阀门关闭。在装置运行的过程中若l浮球感应器发生故障，无法给补液系统发出补液信号，储液罐内液体使用到l/l浮球感应器位置，触发报警信号和紧急补液信号，通知系统管理人员l浮球感应器失效并进行补液；在装置运行的过程中若h浮球感应器发生故障，无法给补液系统发出补液停止信号，储液罐内液位上涨至h/h浮球感应器，触发报警信号和紧急停止信号，通知系统管理人员h浮球感应器失效并停止补液。

本实用新型的积极进步效果：本实用新型的储液罐补液判空装置能够提供安全监测保障、保证工艺制造中对原材料的不间断供应。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的储液罐补液判空装置的结构示意图。

附图标记说明：

1、补液管道；2、排气管道；

3、加压管道；4、供液管道；

11、补液阀门；21、排气阀门；

31、加压阀门；41、供液阀门；

5、储液罐；6、液位计；

7、信号变送器；81、l/l浮球感应器；

82、l浮球感应器；91、h/h浮球感应器；

92、h浮球感应器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，本实施例提供了一种储液罐补液判空装置，包括储液罐5、液位计6、信号变送器7、h/h浮球感应器91、h浮球感应器92、l/l浮球感应器81、l浮球感应器82、补液管道1、补液阀门11、排气管道2、排气阀门21、加压管道3、加压阀门31、供液管道4和供液阀门41；补液管道1、排气管道2、加压管道3和供液管道4分别和储液罐5相连，补液阀门11设置于补液管道1上，排气阀门21设置于排气管道2上，加压阀门31设置于加压阀门31上，供液阀门41设置于供液管道4上；液位计6设置于储液罐5内，h/h浮球感应器91、h浮球感应器92、l浮球感应器82和l/l浮球感应器81从上至下固定于液位计6上，h/h浮球感应器91、h浮球感应器92、l/l浮球感应器81和l浮球感应器82分别与信号变送器7相连。

本实施例中，储液罐5用于储存液体。

本实施例中，液位计6用于显示液位，并承载各浮球传感器；液位计6为干簧管液位器。

本实施例中，信号变送器7用于将传感器信号传递至后续的补液设备。

本实施例中，h/h浮球感应器91为备用高液位浮球感应器，h浮球感应器92为高液位浮球感应器，l/l浮球感应器81为备用低液位浮球感应器，l浮球感应器82为低液位浮球感应器，分别用于感应储液罐5内的液位到达情况；h/h浮球感应器91和h浮球感应器92之间的间距与l/l浮球感应器81和l浮球感应器82之间的间距相同。

本实施例中，补液管道1和补液阀门11用于实现补液；补液阀门11为气动阀。

本实施例中，排气管道2和排气阀门21用于排气；排气管道2还设置有单向阀，用于防止气体回流造成原材料污染；排气阀门21为气动阀。

本实施例中，加压管道3和加压阀门31用于实现储液罐5的加压；加压阀门31为气动阀。

本实施例中，供液管道4和供液阀门41用于实现储液罐5的对外供液；供液阀门41为气动阀。

本实施例的储液罐补液判空装置的使用原理为：液体使用至低于l浮球感应器，l浮球感应器触发启动信号给补液系统，补液阀门开启、排气阀门开启，补液系统开始补充液体自补液阀门到达储液罐内，储液罐内气体自排气阀门排出；液位升至h浮球感应器，h浮球感应器触发停止信号给补液系统，补液阀门关闭、排气阀门关闭。在装置运行的过程中若l浮球感应器发生故障，无法给补液系统发出补液信号，储液罐内液体使用到l/l浮球感应器位置，触发报警信号和紧急补液信号，通知系统管理人员l浮球感应器失效并进行补液；在装置运行的过程中若h浮球感应器发生故障，无法给补液系统发出补液停止信号，储液罐内液位上涨至h/h浮球感应器，触发报警信号和紧急停止信号，通知系统管理人员h浮球感应器失效并停止补液。

本实施例的储液罐补液判空装置能够提供安全监测保障、保证工艺制造中对原材料的不间断供应。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。