一种测试台的制作方法

文档序号:27395090发布日期:2021-11-15 22:50阅读:99来源:国知局
一种测试台的制作方法

1.本实用新型涉及芯片检测技术领域,具体涉及一种测试台。


背景技术:

2.由于光芯片具有尺寸较小(通常小于0.5mm*0.5mm),以电极尺寸较小(电极尺寸一般为φ60um)的特点,在对光芯片进行光电性能测试时,首先是需要将光芯片划切成多个,并将每个光芯片封装于器件上,并通过管脚引出电极,才能进行光电性能测试,上述测试步骤不仅繁琐,而且当检测到光芯片性能不良时,则浪费划切和封装工艺带来的时间成本和物料成本,造成巨大的损失。


技术实现要素:

3.本技术的目的在于提供一种测试台,以解决现有技术中对光芯片测试步骤繁琐的问题。
4.(一)技术方案
5.为实现上述目的,本实用新型提供了一种测试台,包括:
6.承片台;
7.铜质载物板,放置于所述承片台上,用于承载光芯片;
8.光纤固定支架,安装于所述铜质载物板的上方,用于夹持光纤适配器;
9.第一探针,通过第一微调机构安装于所述铜质载物板的上方,所述第一微调机构用于驱动所述第一探针沿z轴移动,以将所述第一探针的自由端与所述光芯片的p电极相接触;
10.其中,所述第一探针与所述铜质载物板均外接有导线。
11.可选的,所述测试台还包括:外接有导线的第二探针,所述第二探针通过第二微调机构安装于所述铜质载物板的上方,所述第二微调机构用于驱动所述第二探针沿z轴移动,以将所述第二探针的自由端与所述光芯片的n电极相接触。
12.可选的,所述测试台还包括:底板,所述承片台、铜质载物板、光纤固定支架、第一探针以及所述第二探针均安装于所述底板上。
13.可选的,所述第一微调机构以及所述第二微调机构结构相同或不同;所述第一微调机构包括:
14.微调滑板,上壁面与所述第一探针固定连接,且其侧壁面设有挡块;
15.固定板,其中一个侧壁面通过固定架与所述底板固定连接,另一个侧壁面与所述微调滑板滑动连接,与所述挡块相对应的侧壁面上设有支撑块;
16.第一千分尺,自由端与所述支撑块螺纹连接,且延伸出所述支撑块的一端与所述挡块相抵触,以驱动所述微调滑板带动所述第一探针沿z轴移动,直至与所述光芯片的p电极相接触。
17.可选的,所述微调滑板与所述固定板之间还设有锁紧组件。
18.可选的,所述承片台上还设有第三微调机构,所述第三微调机构用于驱动所述承片台沿x轴或y轴移动。
19.可选的,所述光纤固定支架远离所述铜质载物板的一端还设有第四微调机构,所述第四微调机构用于驱动所述光纤固定支架沿x轴或 y轴移动。
20.可选的,所述第三微调机构和所述第四微调机构结构相同或不同;所述第三微调机构包括:
21.限位板,与所述底板固定连接,侧壁面设有第一l型连接板;
22.第一移动板,下壁面与所述限位板滑动连接,侧壁面设有第二l 型连接板;
23.第二移动板,上壁面与所述承片台固定连接,下壁面与所述第一移动板的上壁面滑动连接;
24.第三千分尺,自由端与所述第一l型连接板螺纹连接,且延伸出所述第一l型连接板的一端与所述第一移动板相抵触,以驱动所述第一移动板带动所述承片台相对所述限位板沿x轴移动;
25.第四千分尺,自由端与所述第二l型连接板螺纹连接,且延伸出所述第二l型连接板的一端与所述第二移动板相抵触,以驱动所述第二移动板带动所述承片台相对所述限位板沿y轴移动。
26.可选的,所述光纤固定支架上还设有第五微调机构,所述第五微调机构与所述第四微调机构固定连接,且所述第五微调机构用于驱动所述光纤固定支架沿z轴移动,以靠近所述铜质载物板。
27.可选的,所述光纤固定支架包括:l型支撑框、调节块以及调节千分尺,所述l型支撑框的竖直段与所述第五微调机构固定连接,所述l型支撑框的水平段设置于所述铜质载物板的上方,且所述水平段开设有用于容纳所述调节块的容纳腔,所述调节千分尺的自由端穿过所述水平段其中一端与所述调节块固定连接,所述调节块与所述水平段另一端之间形成用于夹持所述光纤适配器的夹持腔。
28.(二)有益效果
29.本实用新型与现有技术相比,具有以下有益效果:
30.本实用新型提供了为实现上述目的,本实用新型提供了一种测试台,包括:承片台;铜质载物板,放置于所述承片台上,用于承载光芯片;光纤固定支架,安装于所述铜质载物板的上方,用于夹持光纤适配器;第一探针,通过第一微调机构安装于所述铜质载物板的上方,所述第一微调机构用于驱动所述第一探针沿z轴移动,以将所述第一探针的自由端与所述光芯片的p电极相接触;其中,所述第一探针与所述铜质载物板均外接有导线;示例性的,当需要对具有异面电极的光芯片进行检测时,首先将与第一探针和铜质载物板相连接的导线接入电源;之后将上述光芯片放置于铜质载物板上,并通过移动铜质载物板将光芯片移动至第一探针下方,最后通过第一微调机构驱动第一探针沿z轴移动,直至所述第一探针的自由端与所述光芯片的p电极相接触即可,此时,即可对上述光芯片进行相关光电性能测试。
附图说明
31.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本实用新型的
实施例,并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
32.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,其中:
33.图1是本实用新型中测试台的结构示意图;
34.图2是本实用新型中第三微调机构的结构示意图;
35.图3是本实用新型中第一微调机构的结构示意图;
36.图4是图3的爆炸图;
37.图5是本实用新型中第一探针和第二探针的结构示意图。
38.图中:1、承片台;2、铜质载物板;3、光纤固定支架;4、光纤适配器;5、第一探针;6、第一微调机构;7、第二探针;8、底板; 9、第三微调机构;10、第四微调机构;11、限位板;12、第一l型连接板;13、第一移动板;14、第二移动板;15、第三千分尺;16、第四千分尺;17、第二l型连接板;18、第五微调机构;19、微调滑板;20、挡块;21、固定板;22、支撑块;23、第一千分尺;24、调节千分尺;25、第二千分尺;26、第五千分尺;27、第六千分尺;28、第七千分尺;29、第二微调机构。
具体实施方式
39.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
40.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明:
41.为了解决现有技术中对光芯片测试步骤繁琐的问题,如图1

图5 所示,本技术提供一种测试台,包括:
42.承片台1;
43.铜质载物板2,放置于承片台1上,用于承载光芯片;
44.光纤固定支架3,安装于铜质载物板2的上方,用于夹持光纤适配器4;
45.第一探针5,通过第一微调机构6安装于铜质载物板2的上方,第一微调机构6用于驱动第一探针5沿z轴移动,以将第一探针5的自由端与光芯片的p电极相接触;优选的,如图5所示,第一探针5 的自由端为弯折状,从而便于与对应的电极相接触;
46.其中,第一探针5与铜质载物板2均外接有导线。
47.示例性的,当需要对具有异面电极(p电极在正面,n电极在背面)的光芯片进行检测时,首先将与第一探针5和铜质载物板2相连接的导线接入电源;之后将上述光芯片放置于铜质载物板2上,并通过移动铜质载物板2将光芯片移动至第一探针5下方,最后通过第一微调机构6驱动第一探针5沿z轴移动,直至第一探针5的自由端与光芯片的p电极相接触即可,此时铜质载物板2即为光芯片的n极,之后即可对上述光芯片进行相关光电性能测试。
48.根据本实用新型的一个实施例,如图3和图4所示,第一微调机构6包括:
49.微调滑板19,上壁面与第一探针5固定连接,且其侧壁面设有挡块20;
50.固定板21,其中一个侧壁面通过固定架与底板8固定连接,另一个侧壁面与微调滑板19滑动连接,与挡块20相对应的侧壁面上设有支撑块22;
51.第一千分尺23,自由端与支撑块22螺纹连接,且延伸出支撑块 22的一端与挡块20相抵触,以驱动微调滑板19带动第一探针5沿z 轴移动,直至与光芯片的p电极相接触。
52.具体的,如图4所示,固定板21上设有滑轨,微调滑板19上设有与滑轨相配合的滑槽,其中,滑轨与滑槽的设置方向可以根据调节方向进行预先设计,本实施例中,优选的,滑轨与滑槽的设置方向与第一千分尺23相平行。
53.当需要将第一探针5的自由端与光芯片的p电极相接触时,只需顺时针转动第一千分尺23即可,此时,第一千分尺23将给予挡块20推力,与此同时,在挡块20的作用下将带动微调滑板19同步向靠近铜质载物板2的方向运动,直至与光芯片的p电极相接触。
54.进一步的,为了实现第一探针5沿z轴进行往复移动,优选的,第一千分尺23的自由端连接有丝杠,丝杠上滑动连接有螺母,装配时,第一千分尺23的自由端插设于挡块20内,且螺母与挡块20固定连接,此时,通过第一千分尺23的顺时针或逆时针转动,即可实现驱动第一探针5沿z轴进行往复移动,以靠近或远离p电极。
55.根据本实用新型的一个实施例,为了减少制造成本,固定板21 和微调滑板19上均开设有若干个减重孔。
56.根据本实用新型的一个实施例,微调滑板19与固定板21之间还设有锁紧组件,具体的,锁紧组件包括:固定环以及紧固螺栓,固定环的远端转动连接于固定板21上,另一端为自由端;当需要将当前调节状态进行固定时,只需将固定环的另一端转动至与微调滑板19 相配合的位置,通过紧固螺栓进行固定即可;而当需要进行调节时,只需将紧固螺栓取下即可。
57.根据本实用新型的一个实施例,测试台还包括:外接有导线的第二探针7,第二探针7通过第二微调机构29安装于铜质载物板2的上方,第二微调机构29用于驱动第二探针7沿z轴移动,以将第二探针7的自由端与光芯片的n电极相接触;优选的,如图5所示,第二探针7的自由端为弯折状,从而便于与对应的电极相接触;
58.本实施例中,当需要对具有共面电极(p、n电极均在正面)的光芯片进行检测时,首先将与第一探针5和第二探针7相连接的导线接入电源;之后将上述光芯片放置于铜质载物板2上,并通过移动铜质载物板2将光芯片移动至第一探针5和第二探针7的下方,以保证光芯片的p电极与第一探针5相对应,光芯片的n电极与第二探针7 相对应;此时,通过第一微调机构6驱动第一探针5沿z轴移动,直至第一探针5的自由端与光芯片的p电极相接触即可,之后通过第一微调机构6驱动第二探针7沿z轴移动,直至第二探针7的自由端与光芯片的n电极相接触即可,此时,即可对上述光芯片进行相关光电性能测试。
59.根据本实用新型的一个实施例,第一微调机构6以及第二微调机构29结构可以相同或不同;
60.具体的,第二微调机构29包括:
61.微调滑板19,上壁面与第二探针7固定连接,且其侧壁面设有挡块20;
62.固定板21,其中一个侧壁面通过固定架与底板8固定连接,另一个侧壁面与微调滑板19滑动连接,与挡块20相对应的侧壁面上设有支撑块22;
63.第二千分尺25,自由端与支撑块22螺纹连接,且延伸出支撑块 22的一端与挡块20
相抵触,以驱动微调滑板19带动第一探针5沿z 轴移动,直至与光芯片的n电极相接触。
64.当需要将第二探针7的自由端与光芯片的n电极相接触时,只需顺时针转动第二千分尺25即可,此时,第二千分尺25将给予挡块 20推力,与此同时,在挡块20的作用下将带动微调滑板19同步向靠近铜质载物板2的方向运动,直至与光芯片的n电极相接触。
65.根据本实用新型的一个实施例,为了便于移动,测试台还包括:底板8,承片台1、铜质载物板2、光纤固定支架3、第一探针5以及第二探针7均安装于底板8上。
66.根据本实用新型的一个实施例,承片台1上还设有第三微调机构 9,第三微调机构9用于驱动承片台1沿x轴或y轴移动。
67.具体的,如图2所示,第三微调机构9包括:
68.限位板11,与底板8固定连接,侧壁面设有第一l型连接板12;
69.第一移动板13,下壁面与限位板11滑动连接,侧壁面设有第二 l型连接板17;
70.第二移动板14,上壁面与承片台1固定连接,下壁面与第一移动板13的上壁面滑动连接;
71.第三千分尺15,自由端与第一l型连接板12螺纹连接,且延伸出第一l型连接板12的一端与第一移动板13相抵触,以驱动第一移动板13带动承片台1相对限位板11沿x轴移动;
72.具体的,限位板11的上壁面上设有与x轴平行的滑轨,第一移动板13的下壁面上设有与滑轨相配合的滑槽,本实施例中,优选的,滑轨与滑槽的设置方向与第三千分尺15相垂直。
73.第四千分尺16,自由端与第二l型连接板17螺纹连接,且延伸出第二l型连接板17的一端与第二移动板14相抵触,以驱动第二移动板14带动承片台1相对限位板11沿y轴移动。
74.具体的,第一移动板13的上壁面上设有与y轴平行的滑轨,第二移动板14的下壁面上设有与滑轨相配合的滑槽,本实施例中,优选的,滑轨与滑槽的设置方向与第四千分尺16相垂直。
75.当需要将光芯片移动至第一探针5和第二探针7下方时,除了可以手动移动铜质载物板2之外,还可以通过转动第三千分尺15或第四千分尺16;示例性的,当需要将光芯片沿着x轴进行移动时,只需转动第三千分尺15即可,此时第三千分尺15将驱动第一移动板13沿x轴进行移动,与此同时,通过力的传递性,以带动承片台1 同步沿x轴进行移动,直至运动至所需位置,则停止转动第三千分尺 15;同理的,当需要将光芯片沿着y轴进行移动时,只需转动第四千分尺16即可,此时第四千分尺16将驱动第二移动板14沿y轴进行移动,与此同时,通过力的传递性,以带动承片台1同步沿y轴进行移动,直至运动至所需位置,则停止转动第四千分尺16。
76.进一步的,为了实现承片台1沿x轴和y轴均可以进行往复移动,优选的,第三千分尺15的自由端连接有第一丝杠,第一丝杠上滑动连接有第一螺母,装配时,第三千分尺15的自由端插设于第一移动板13内,且第一螺母与第一移动板13连接,此时,通过第三千分尺 15的顺时针或逆时针转动,即可实现驱动承片台1沿x轴进行往复移动;
77.第四千分尺16的自由端连接有第二丝杠,第二丝杠上滑动连接有第二螺母,装配时,第四千分尺16的自由端插设于第二移动板14 内,且第二螺母与第二移动板14连接,此
时,通过第四千分尺16的顺时针或逆时针转动,即可实现驱动承片台1沿y轴进行往复移动。
78.根据本实用新型的一个实施例,光纤固定支架3远离铜质载物板 2的一端还设有第四微调机构10,第四微调机构10用于驱动光纤固定支架3沿x轴或y轴移动。根据本实用新型的一个实施例,第三微调机构9和第四微调机构10结构可以相同或不同;
79.第四微调机构10具体包括:
80.限位板11,与底板8固定连接,侧壁面设有第一l型连接板12;
81.第一移动板13,下壁面与限位板11滑动连接,侧壁面设有第二 l型连接板17;
82.第二移动板14,侧壁面与光纤固定支架3固定连接,下壁面与第一移动板13的上壁面滑动连接;
83.第五千分尺26,自由端与第一l型连接板12螺纹连接,且延伸出第一l型连接板12的一端与第一移动板13相抵触,以驱动第一移动板13带动光纤固定支架3相对限位板11沿x轴移动;
84.第六千分尺27,自由端与第二l型连接板17螺纹连接,且延伸出第二l型连接板17的一端与第二移动板14相抵触,以驱动第二移动板14带动光纤固定支架3相对限位板11沿y轴移动。
85.当需要将光纤沿x轴进行移动,以使得光纤对准光芯片的入光面时,只需转动第五千分尺26即可,此时第五千分尺26将驱动第一移动板13沿x轴进行移动,与此同时,通过力的传递性,以带动光纤固定支架3同步沿x轴进行移动,直至运动至光纤对准光芯片的入光面,则停止转动第五千分尺26;同理的,当需要将光纤沿着y轴进行移动时,只需转动第六千分尺27即可,此时第六千分尺27将驱动第二移动板14沿y轴进行移动,与此同时,通过力的传递性,以带动光纤固定支架3同步沿y轴进行移动,直至运动至光纤对准光芯片的入光面,则停止转动第六千分尺27。
86.根据本实用新型的一个实施例,光纤固定支架3上还设有第五微调机构18,第五微调机构18与第四微调机构10固定连接,且第五微调机构18用于驱动光纤固定支架3沿z轴移动,以靠近铜质载物板2;
87.具体的,第五微调机构18与第一微调机构6可以相同或不同,微调机构包括:
88.微调滑板19,其中一个侧壁面与光纤固定支架3固定连接,与其垂直的侧壁面设有挡块20;
89.固定板21,其中一个侧壁面与第四微调机构10的第二移动板14 固定连接,另一个侧壁面与微调滑板19滑动连接,与挡块20相对应的侧壁面上设有支撑块22;
90.第七千分尺28,自由端与支撑块22螺纹连接,且延伸出支撑块 22的一端与挡块20相抵触,以驱动微调滑板19带动光纤固定支架3 沿z轴移动,直至与光纤固定支架3对准光芯片的入光面。
91.根据本实用新型的一个实施例,如图1所示,光纤固定支架3包括:l型支撑框、调节块以及调节千分尺24,l型支撑框的竖直段与第五微调机构18固定连接,具体的,与第二移动板14的侧壁面固定连接;l型支撑框的水平段设置于铜质载物板2的上方,且水平段开设有用于容纳调节块的容纳腔,调节块通过调节千分尺24活动安装于容纳腔内,具体的,
92.调节千分尺24的自由端穿过水平段其中一端与调节块固定连接,调节块与水平段另一端之间形成用于夹持光纤适配器4的夹持腔。
93.当需要夹持更大尺寸的光线适配器,只需顺时针转动调节千分尺 24即可,此时,调节块将在调节千分尺24的作用下向靠近其的方向运动,直至将夹持腔增大,当夹持完成后,只需逆时针转动调节千分尺24,以使得调节块与光线适配器相贴合,将其稳定夹持即可。
94.本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述,若干个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
95.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示重要性;词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何方向。
96.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接连通,也可以通过中间媒介间接连通,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
97.以上仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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