技术特征：
1.一种光学测定系统，具备：光源，其用于产生测定光；受光部，其接收对试样照射所述测定光而产生的反射光或透射光来作为观测光；获取单元，其获取所述观测光中包含的波长范围内的、被设定为两端的相位相同的波长区间的观测光光谱；初始值决定单元，其基于在对所述观测光光谱进行傅立叶变换而得到的功率谱中出现的峰的位置，来决定所述试样的膜厚的初始值；拟合单元，其以使根据包含膜厚作为参数的所述试样的模型计算出的干涉光谱与所述观测光光谱一致的方式对所述模型的参数进行更新，来决定所述试样的膜厚；以及判断单元，其判断所决定的该膜厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。2.根据权利要求1所述的光学测定系统，其特征在于，所述受光部包括针对规定的波长范围输出所述观测光的每个波长下的强度的分光检测器，所述获取单元基于所述受光部的检测结果来搜索示出相同相位的两个波长位置，并且从处于在所述检测结果中搜索到的两个波长位置之间的信息中提取所述观测光光谱。3.根据权利要求1所述的光学测定系统，其特征在于，所述受光部包括受光元件和衍射光栅，其中，所述衍射光栅被配置为能够变更所述观测光所包含的波长成分中的向所述受光元件入射的波长成分，所述获取单元使向所述受光部的受光元件入射的波长成分依次不同，搜索示出相同相位的两个波长位置，并使处于所搜索到的这两个波长位置之间的波长成分依次入射到所述受光部的受光元件，由此获取所述观测光光谱。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学测定系统，其特征在于，所述条件包括以下条件：本次决定的膜厚相对于先前从同一试样或其它试样获取到的膜厚的误差在预先决定的范围内。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学测定系统，其特征在于，所述试样的模型是模拟了在所述试样的内部产生的光干涉的、包含膜厚和光学常数的数式。6.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学测定系统，其特征在于，还具备校正单元，当判断为所决定的所述膜厚不满足所述条件时，所述校正单元对所决定的该膜厚进行校正。7.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学测定系统，其特征在于，还具备通知单元，当判断为所决定的所述膜厚不满足所述条件时，所述通知单元通知未满足该条件。8.一种光学测定方法，包括对试样照射来自光源的测定光并获取作为从所述试样产生的反射光或透射光的观测光的光谱的步骤，所述观测光的光谱是所述观测光中包含的波长范围内的、被设定为两端的相位相同的波长区间的光谱，所述光学测定方法还包括以下步骤：基于在对所述观测光的光谱进行傅立叶变换而得到的功率谱中出现的峰的位置，来决定所述试样的膜厚的初始值；
以使根据包含膜厚作为参数的所述试样的模型计算出的干涉光谱与所述观测光光谱一致的方式对所述模型的参数进行更新，来决定所述试样的膜厚；以及判断所决定的该膜厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。
技术总结
一种光学测定系统和光学测定方法。光学测定系统包括：光源，其用于产生测定光；受光部，其接收对试样照射测定光而产生的反射光或透射光来作为观测光；获取单元，其获取观测光中包含的波长范围内的、被设定为两端的相位相同的波长区间的观测光光谱；初始值决定单元，其基于在对观测光光谱进行傅立叶变换而得到的功率谱中出现的峰的位置，来决定试样的膜厚的初始值；拟合单元，其以使根据包含膜厚作为参数的试样的模型计算出的干涉光谱与观测光光谱一致的方式对模型的参数进行更新，来决定试样的膜厚；以及判断单元，其判断所决定的该膜厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。
技术研发人员：冈本宗大 中岛一八 大川内真
受保护的技术使用者：大塚电子株式会社
技术研发日：2021.04.08
技术公布日：2021/10/11