一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置

1.本发明涉及扫描电镜技术领域，具体为一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置。


背景技术：

2.扫描电镜一种新型的电子光学仪器，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展，扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。
3.扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统，真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分，电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象，电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及x射线等一系列信号，所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、x射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然x射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将x射线分析系统划分到成象系统中，电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束针在试样上最大扫描距离的比值m＝l/l式中l指荧光屏长度；l是指电子束在试样上扫过的长度，这个比值是通过调节扫描线圈上的电流来改变的。
4.扫描电镜在生产加工后需要对其进行一系列检测，目前还没有对扫描电镜的部件进行检测的装置，因此提出一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置。


技术实现要素：

5.针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，具备对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的优点，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体、气密性检测机构、强度检测机构、夹持机构和旋转机构，所述气密性检测机构设置于箱体的顶部，所述强度检测机构设置于箱体内腔的下端，所述旋转机构设置于箱体的底部，所述夹持机构设置于旋转机构上；
7.所述气密性检测机构包括气泵，所述气泵的出气端连通有输气管，所述输气管远离气泵的一端贯穿至箱体的内腔；
8.所述强度检测机构包括气缸、固定杆、限位环、固定架、固定环和敲击锤，所述气缸设置于箱体内腔的下端，所述固定杆与箱体内腔的两侧固定连接，所述固定杆的表面与限位环滑动连接，所述限位环的顶部与固定架固定连接，所述固定架的一侧通过支架与敲击锤固定连接，所述固定环设置于固定架的内腔，所述气缸的输出端与固定环固定连接。
9.优选的，所述夹持机构包括滑杆、压簧、滑块和挤压板，所述滑杆的表面与压簧活
动连接，所述滑杆的表面与滑块滑动连接，所述滑块的顶部与挤压板固定连接。
10.优选的，所述旋转机构包括电机，所述电机的输出端贯穿至箱体的内腔并固定连接有转盘。
11.优选的，所述箱体的底部固定连接有支撑组件，且支撑组件的数量为四个。
12.优选的，所述箱体内腔的中心处固定连接有固定板，所述固定板的顶部铺设有荧光粉。
13.优选的，所述转盘顶部的两侧均开设有凹槽，所述滑杆与凹槽的内壁固定连接，所述箱体的底部固定连接有限位架，所述限位架内腔的底部与电机固定连接。
14.优选的，所述气缸的两侧均活动连接有转杆，所述转杆远离气缸的一端与箱体固定连接。
15.其使用方法包括以下步骤：
16.a、首先将需测试气密性的扫描电镜的测试组件放置于固定板上，然后将输气管与测试组件进行连通，之后打开气泵，气泵将气体输送至测试组件的内腔，通过荧光粉的漂浮对测试组件的气密性进行观察；
17.b、然后将需要测试强度的测试组件放置于转盘上，之后向两侧挤压挤压板，挤压板带动滑块移动，滑块对压簧进行挤压，压簧受到挤压产生反向力，将测试组件进行夹持固定；
18.c、之后打开电机和气缸，电机带动转盘转动，转盘带动测试组件转动，同时气缸带动固定环移动，固定环带动固定架移动，固定架带动敲击锤移动，以此对测试组件进行击打。
19.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
20.1、本发明通过气泵和输气管构成了气密性检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性进行检测的效果，通过气缸、固定杆、限位环、固定架、固定环和敲击锤构成了强度检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性和强度进行检测的效果，实现了对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的目的，提高了装置的创造性和使用性，增强了使用者的使用体验，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。
21.2、本发明通过滑杆、压簧、滑块和挤压板构成了夹持机构，用于将测试组件进行夹持固定，防止测试组件发生位移，增强测试组件的稳定性，以此防止测试组件脱离，使物品损坏，造成财产的损失和资源的浪费，通过电机和转盘，用于对测试材料进行旋转，以此对测试组件进行全面的检测，防止测试组件部分位置的的使用强度达不到使用标准，影响装置的整体运行，通过设置支撑组件，用于对箱体进行稳定支撑，防止在对测试组件进行测试时发生震动，影响测试数据的准确性，通过设置固定板，用于将箱体进行分层，以此实现一箱多功能的效果，上层可进行气密性测试，下层可进行强度测试，增强箱体的使用性，通过设置凹槽，用于对滑杆进行安装，通过设置限位架，用于对电机进行支撑，防止电机501在长时间使用后发生掉落，通过设置转杆，用于配合气缸进行使用。
附图说明
22.图1为本发明结构示意图；
23.图2为本发明强度检测机构的结构示意图；
24.图3为本发明敲击锤的结构示意图；
25.图4为本发明转盘的剖面示意图；
26.图5为本发明限位架与电机的连接结构示意图。
27.图中：1、箱体；2、气密性检测机构；201、气泵；202、输气管；3、强度检测机构；301、气缸；302、固定杆；303、限位环；304、固定架；305、固定环；306、敲击锤；4、夹持机构；401、滑杆；402、压簧；403、滑块；404、挤压板；5、旋转机构；501、电机；502、转盘；6、固定板；7、凹槽；8、限位架；9、转杆。
具体实施方式
28.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.本发明的箱体1、气密性检测机构2、气泵201、输气管202、强度检测机构3、气缸301、固定杆302、限位环303、固定架304、固定环305、敲击锤306、夹持机构4、滑杆401、压簧402、滑块403、挤压板404、旋转机构5、电机501、转盘502、固定板6、凹槽7、限位架8和转杆9部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
32.请参阅图1
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5，一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体1、气密性检测机构2、强度检测机构3、夹持机构4和旋转机构5，气密性检测机构2设置于箱体1的顶部，强度检测机构3设置于箱体1内腔的下端，旋转机构5设置于箱体1的底部，夹持机构4设置于旋转机构5上；
33.气密性检测机构2包括气泵201，气泵201的出气端连通有输气管202，输气管202远离气泵201的一端贯穿至箱体1的内腔；
34.强度检测机构3包括气缸301、固定杆302、限位环303、固定架304、固定环305和敲击锤306，气缸301设置于箱体1内腔的下端，固定杆302与箱体1内腔的两侧固定连接，固定杆302的表面与限位环303滑动连接，限位环303的顶部与固定架304固定连接，固定架304的一侧通过支架与敲击锤306固定连接，固定环305设置于固定架304的内腔，气缸301的输出端与固定环305固定连接，通过气泵201和输气管202构成了气密性检测机构2，用于对扫描
电镜组件的气密性进行检测的效果，通过气缸301、固定杆302、限位环303、固定架304、固定环305和敲击锤306构成了强度检测机构3，用于对扫描电镜组件的气密性和强度进行检测的效果，实现了对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的目的，提高了装置的创造性和使用性，增强了使用者的使用体验，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。
35.具体的，夹持机构4包括滑杆401、压簧402、滑块403和挤压板404，滑杆401的表面与压簧402活动连接，滑杆401的表面与滑块403滑动连接，滑块403的顶部与挤压板404固定连接，通过滑杆401、压簧402、滑块403和挤压板404构成了夹持机构4，用于将测试组件进行夹持固定，防止测试组件发生位移，增强测试组件的稳定性，以此防止测试组件脱离，使物品损坏，造成财产的损失和资源的浪费。
36.具体的，旋转机构5包括电机501，电机501的输出端贯穿至箱体1的内腔并固定连接有转盘502，通过电机501和转盘502，用于对测试材料进行旋转，以此对测试组件进行全面的检测，防止测试组件部分位置的的使用强度达不到使用标准，影响装置的整体运行。
37.具体的，箱体1的底部固定连接有支撑组件，且支撑组件的数量为四个，通过设置支撑组件，用于对箱体1进行稳定支撑，防止在对测试组件进行测试时发生震动，影响测试数据的准确性。
38.具体的，箱体1内腔的中心处固定连接有固定板6，固定板6的顶部铺设有荧光粉，通过设置固定板6，用于将箱体1进行分层，以此实现一箱多功能的效果，上层可进行气密性测试，下层可进行强度测试，增强箱体1的使用性。
39.具体的，转盘502顶部的两侧均开设有凹槽7，滑杆401与凹槽7的内壁固定连接，箱体1的底部固定连接有限位架8，限位架8内腔的底部与电机501固定连接，通过设置凹槽7，用于对滑杆401进行安装，通过设置限位架8，用于对电机501进行支撑，防止电机501在长时间使用后发生掉落。
40.具体的，气缸301的两侧均活动连接有转杆9，转杆9远离气缸301的一端与箱体1固定连接，通过设置转杆9，用于配合气缸301进行使用。
41.其使用方法包括以下步骤：
42.a、首先将需测试气密性的扫描电镜的测试组件放置于固定板6上，然后将输气管202与测试组件进行连通，之后打开气泵201，气泵201将气体输送至测试组件的内腔，通过荧光粉的漂浮对测试组件的气密性进行观察；
43.b、然后将需要测试强度的测试组件放置于转盘502上，之后向两侧挤压挤压板404，挤压板404带动滑块403移动，滑块403对压簧402进行挤压，压簧402受到挤压产生反向力，将测试组件进行夹持固定；
44.c、之后打开电机501和气缸301，电机501带动转盘502转动，转盘502带动测试组件转动，同时气缸301带动固定环305移动，固定环305带动固定架304移动，固定架304带动敲击锤306移动，以此对测试组件进行击打。
45.使用时，通过气泵201和输气管202构成了气密性检测机构2，用于对扫描电镜组件的气密性进行检测的效果，通过气缸301、固定杆302、限位环303、固定架304、固定环305和敲击锤306构成了强度检测机构3，用于对扫描电镜组件的气密性和强度进行检测的效果，在使用时，首先将需测试气密性的扫描电镜的测试组件放置于固定板6上，然后将输气管
202与测试组件进行连通，之后打开气泵201，气泵201将气体输送至测试组件的内腔，通过荧光粉的漂浮对测试组件的气密性进行观察，然后将需要测试强度的测试组件放置于转盘502上，之后向两侧挤压挤压板404，挤压板404带动滑块403移动，滑块403对压簧402进行挤压，压簧402受到挤压产生反向力，将测试组件进行夹持固定，之后打开电机501和气缸301，电机501带动转盘502转动，转盘502带动测试组件转动，同时气缸301带动固定环305移动，固定环305带动固定架304移动，固定架304带动敲击锤306移动，以此对测试组件进行击打，实现了对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的目的，提高了装置的创造性和使用性，增强了使用者的使用体验，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。
46.本技术文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本技术文主要用来保护机械装置，所以本技术文不再详细解释控制方式和电路连接。
47.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
48.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。