一种电容测试装置的制作方法

1.本发明涉及集成电路半导体技术领域，尤其涉及一种电容测试装置。


背景技术：

2.电容作为电子电路必不可少的电子元件，其性能直接关系到电子电路的性能，对电容性能的测试也是电子工业的必经工艺。
3.一般测试电容的工艺，都会测试电容的电阻性能和电容量性能，一般电容测试装置测试电容时，都是分开测试电容的电阻性能或电容量性能，而往往需要测试两次电容（一次测电阻性能、一次测电容量性能），测试效率不高，有的测试装置还需要人工进行选择，而不容易实现自动化测试。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种电容测试装置，其能提高测试效率，也能实现自动化测试。
5.本发明的目的采用以下技术方案实现：一种电容测试装置，其包括箱体和设置在所述箱体内的载物盘、信息采集机构、测试模块以及用于选择待测试信号的选择机构，所述信息采集机构和所述选择机构均分别与所述测试模块电性连接；所述载物盘包括多个稳定盘、多个测试基板和用于电性安装待测电容的插板，所述稳定盘的中心设置有中孔，多个稳定盘的中孔的中心线重合，所述测试基板围绕所述中孔设置在所述稳定盘上，所述测试基板上设置有多个分别与所述插板电性连接的第一触点阵，所述测试基板与所述插板电性连接；所述信息采集机构包括主轴、电机、第一传送带和第一采集器，所述主轴穿过所述中孔，所述电机的转轴与所述主轴固定连接，所述主轴与所述第一传送带连接，所述第一采集器固定在所述主轴上，当所述电机转动使所述主轴上的第一采集器水平转动，所述第一传送带再带动所述主轴垂直运动时，所述第一采集器与一个第一触点阵电性接触或断开。
6.优选的，所述选择机构包括第二传送带、气缸、第二采集器和底座，所述气缸与所述第二传送带连接，所述第二采集器固定在所述气缸的下端，所述第二采集器与所述测试模块电性连接，所述第二传送带设置在所述底座上，所述底座上设置有包括多个接触点的第二触点阵，所述第二触点阵与所述第一采集器电性连接，当所述第二传送带带动所述气缸水平移动，所述气缸再带动所述第二采集器垂直运动时，所述第二采集器与所述第二触点阵中的几个接触点电性接触或断开。
7.优选的，所述测试模块包括控制柜、电容测试计和电阻测试计，所述电容测试计和所述电阻测试计均分别与所述控制柜电性连接，所述电容测试计和所述电阻测试计均分别与所述第二采集器电性连接。
8.优选的，所述信息采集机构还包括连接块，所述电机与所述连接块固定连接，所述
主轴与所述连接块转动连接，所述连接块与所述第一传送带连接。
9.优选的，所述第一采集器包括第一探针，所述第二采集器包括第二探针，所述第一采集器本体通过所述第一探针与所述第一触点阵电性连接，所述第二采集器本体通过所述第二探针与所述第二触点阵电性连接。
10.优选的，所述载物盘还包括固定杆、压板和压条，多个稳定盘通过所述固定杆相互平行设置，所述压板与所述插板可拆卸连接，所述压条与所述压板螺纹连接。
11.优选的，所述中孔的两端设置有利于所述第一采集器穿过的耳孔。
12.优选的，所述箱体包括第一柜室、第二柜室和第三柜室，所述载物盘设置在所述第一柜室内，所述第一传送带和所述选择机构均设置在所述第二柜室内，所述测试模块设置在所述第三柜室内。
13.优选的，所述电容测试装置还包括利于所述主轴穿过的空心杆，所述空心杆设置在所述箱体的上端并与所述第一柜室连通，所述主轴与所述空心杆的中心线重合。
14.优选的，所述电容测试装置还包括用于控制所述第一柜室内温度的温度控制模块，所述温度控制模块与所述控制柜电性连接。
15.相比现有技术，本发明的有益效果在于：本电容测试装置可利用所述信息采集机构去采集待测电容的待测信号（电阻信号或电容量信号），所述选择机构可选择待测信号中的电阻信号或电容量信号给所述测试模块进行测试，而不需要对电容进行两次测试，提高了测试效率，且也可以实现自动化测试。
16.另外，所述载物盘包括多个稳定盘、多个测试基板和用于电性安装待测电容的插板，其中每个插板均可以安装一个待测电容，而可以一次性测试很多待测电容，从而进一步的提高了测试效率。
附图说明
17.图1为本发明的电容测试装置的立体结构示意图；图2为图1中a处的放大结构示意图；图3为本发明的信息采集机构的部分结构示意图；图4为本发明的电容测试装置的平面结构示意图；图5为本发明的电容测试装置设置柜门后的部分结构示意图；图6为本发明的载物盘的俯视图；图7为本发明的底座的俯视图。
18.图中：100、电容测试装置；10、箱体；11、第一柜室；111、第一柜门；112、玻璃窗；12、第二柜室；121、第二柜门；13、第三柜室；14、空心杆；15、键盘；151、支撑臂；16、第一显示屏；17、报警器；18、开关板；19、第二显示屏；20、载物盘；21、稳定盘；22、测试基板；221、第一触点阵；23、插板；231、插孔；24、压板；25、压条；26、中孔；261、耳孔；27、固定杆；28、底板； 30、信息采集机构；31、主轴；32、第一采集器；321、第一探针；33、第一传送带；34、连接块；35、电机；40、选择机构；41、第二采集器；42、第二传送带；43、气缸；44、底座；45、第二触点阵；451、接触点；50、测试模块；51、控制柜；52、电阻测试计；53、电容测试计；54、电源。
具体实施方式
19.为了能够更清楚地理解本发明的具体技术方案、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。
20.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“纵向”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
21.如图1所示，本技术公开了一种电容测试装置100，其包括箱体10和设置在所述箱体10内的载物盘20、信息采集机构30、测试模块50以及用于选择待测试信号的选择机构40，所述信息采集机构30和所述选择机构40均分别与所述测试模块50电性连接；如图2所示，所述载物盘20包括多个稳定盘21、多个测试基板22和用于电性安装待测电容的插板23，所述稳定盘21的中心设置有中孔26，多个稳定盘21的中孔26的中心线重合，所述测试基板22围绕所述中孔26设置在所述稳定盘21上，所述测试基板22上设置有多个分别与所述插板23电性连接的221，所述测试基板22与所述插板23电性连接；如图3所示，所述信息采集机构30包括主轴31、电机35、第一传送带33和第一采集器32，所述主轴31穿过所述中孔26，所述电机35的转轴与所述主轴31固定连接，所述主轴31与所述第一传送带33连接，所述第一采集器32固定在所述主轴31上，当所述电机35转动使所述主轴31上的第一采集器32水平转动，所述第一传送带33再带动所述主轴31垂直运动时，所述第一采集器32与一个第一触点阵221电性接触或断开。
22.在上述实施方式中，所述电机35的转轴转动使所述主轴31上的第一采集器32转动到所述第一接触点阵221的上方（所述第一采集器32上可设置位移传感器来精确定位），所述第一传送带33再带动所述主轴31上下运动时，所述第一采集器32就可以与任一个第一触点阵221电性接触或断开，而可以使所述第一采集器32与所述第一触点阵221电性连接的插板23电性连接（一般第一触点阵221与插板23一一电性连接，每个插板23可安装1个或2个待测电容），所述第一采集器32就可以采集和传输所述插板23上的待测电容的待测信息（电阻信息、电容量信息或电源信息）。本电容测试装置100可利用所述信息采集机构30去采集待测电容的待测信息，所述选择机构40可选择待测信号中的电阻信号或电容量信号给所述测试模块50进行测试，而不需要对待测电容进行两次测试，提高了测试效率，且也可以实现自动化测试。
23.另外，所述载物盘20包括多个稳定盘21、多个测试基板22和用于电性安装待测电容的插板23，其中每个插板23均可以安装一个待测电容，由于具有多个测试基板，而可以设置很多插板，可以一次性测试很多待测电容，从而进一步的提高了测试效率。
24.如图1所示，所述箱体10包括第一柜室11、第二柜室12和第三柜室13，所述载物盘20设置在所述第一柜室11内，所述第一传送带33和所述选择机构40均设置在所述第二柜室12内，所述测试模块50设置在所述第三柜室13内。
25.其中，如图5所示，所述第一柜室11设置有第一柜门，所述第二柜室12和所述第三柜室13设置有第二柜门121。由于需要给被测电容进行老化测试，因此设置所述温度控制模
块，所述温度控制模块具有空调的功能，可向所述第一柜室11内输出高温气体也可以给所述第一柜室11降温。为了防止所述主轴31在所述第一传送带33的传动下与所述第一柜室11的上壁碰撞，在所述箱体10的上端设置空心杆14并与所述第一柜室11连通，所述主轴31与所述空心杆14的中心线重合。为了便于控制所述电容测试装置100，所述箱体10上还设置有键盘15、第一显示屏16、报警器17和开关板18，所述键盘15分别与所述控制柜51和所述第一显示屏16电性连接，所述键盘15通过支撑臂151与所述箱体10转动连接，所述报警器17设置在所述箱体10的上端，所述开关板18设置在所述箱体10上，所述报警器17和所述开关板均分别与所述控制柜51电性连接。
26.如图6所示，所述载物盘20还包括固定杆27、压板24和压条25，多个稳定盘21通过所述固定杆27相互平行设置，所述压板24与所述插板23可拆卸连接，所述压条25与所述压板24螺纹连接。所述中孔26的两端设置有利于所述第一采集器32穿过的耳孔261。
27.其中，为了所述第一采集器32更好地与所述第一触点阵221电性连接，所述稳定盘21最优为圆形稳定盘，所述测试基板22最优为扇形基板，所述第一触点阵221均匀地围绕所述中孔26设置在所述扇形基板上。为了使所述稳定盘21更稳固，所述固定杆27穿过多个稳定盘21，使所述稳定盘21固定在所述底板28上，所述底板28固定在所述第一柜室11内。为了便于安装待测电容，所述插板23上设置有插孔231，待测电容的管脚通过所述插孔231与所述插板电性连接。所述压板24通过螺栓与所述插板23可拆卸连接。
28.如图1
‑
图3所示，所述信息采集机构30还包括连接块34，所述电机35与所述连接块34固定连接，所述主轴31与所述连接块34转动连接，所述连接块34与所述第一传送带33连接。为了更好地采集信息，所述第一采集器32包括第一探针321，所述第二采集器41包括第二探针（未示出），所述第一采集器本体通过所述第一探针321与所述第一触点阵221电性连接，所述第二采集器本体通过所述第二探针与所述第二触点阵45电性连接。
29.如图1和图4所示，所述选择机构40包括第二传送带42、气缸43、第二采集器41和底座44，所述气缸43与所述第二传送带42连接，所述第二采集器41固定在所述气缸43的下端，所述第二采集器41与所述测试模块50电性连接，所述第二传送带42设置在所述底座44上，所述底座44上设置有包括多个接触点的第二触点阵45，所述第二触点阵45与所述第一采集器32电性连接，当所述第二传送带42带动所述气缸43水平移动，所述气缸43再带动所述第二采集器41垂直运动时，所述第二采集器41与所述第二触点阵45中的几个接触点451电性接触或断开。
30.其中，当所述第二传送带42带动所述气缸43水平移动，使所述气缸43移动到所述第二触点阵45的正上方（所述气缸43上可设置位移传感器来精确定位），所述气缸43再带动所述气缸43上的第二采集器41上下运动时，所述第二采集器41与所述第二触点阵中的某几个接触点451电性接触或断开。例如，如图7所示，所述第二触点阵中有24个接触点，这24个接触点排成四排，每排6个接触点，而成传输电阻信息的b区触点、传输电容信息c区触点和传输电源信息的d区触点（其中电源信息包括电压和电流信息），所述第二采集器41每次选择一个区触点进行电性接触，当所述第二采集器41与b区触点电性连接时，所述第二采集器41就把待测电容的电阻信息传输给所述测试模块50进行测试。
31.如图4所示，所述测试模块50包括控制柜51、电容测试计53和电阻测试计52，所述电容测试计53和所述电阻测试计52均分别与所述控制柜51电性连接，所述电容测试计53和
所述电阻测试计52均分别与所述第二采集器41电性连接。
32.所述电容测试计53通过电容信息测试电容的电容性能，所述电阻测试计52通过电阻信息测试电容的电阻性能，为了更好供电，所述测试模块50还包括电源54，所述电源54设置在所述第三柜室13内，所述电源54分别与所述信息采集机构30、所述选择机构40和所述控制柜51电性连接。
33.综述，本电容测试装置100通过所述信息采集机构30去采集待测电容的待测信号，所述选择机构40可选择待测信号中的电阻信号或电容量信号给所述测试模块50进行测试，而不需要对电容进行两次测试，提高了测试效率，且其设置有多个插板23，而能实现自动化高速测试电容。
34.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。