技术特征：
1.利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：包括单色光源，单色光源发出的单色光线经过汇聚光路形成聚焦点，单色光线经过聚焦点后形成衍射投影光路，衍射投影光路上设置有成像接收装置，被测物体置于聚焦点处。2.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：单色光源为激光光源。3.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：聚焦光路中包括聚焦镜，聚焦镜为凸透镜、凸透镜组、反射凹镜、反射凹镜组、显微镜物镜聚焦镜或显微镜物镜聚焦镜组中的一种，或者聚焦镜为发散准直聚焦多级组合的透镜组。4.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：衍射投影光路包括透射式衍射投影光路或反射式衍射投影光路；透射式衍射投影光路包括双凹透射镜或者平凹透射镜；反射式衍射投影光路包括凸反射镜。5.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：衍射投影光路包括迈克尔逊干涉光路、马赫
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曾德干涉光路、剪切干涉光路或者法布里
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珀罗干涉光路中的一种。6.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：成像接收装置包括光敏成像芯片，光敏成像芯片包括ccd芯片或者cmos芯片。7.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：衍射投影光路全覆盖或者部分覆盖成像接收装置。8.根据权利要求1所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：单色光源和汇聚光路安装在一起形成光路模块，成像接收装置安装在支撑台架上形成成像接收模块，光路模块与成像接收模块安装成一体或者相互分离。9.根据权利要求2所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：被测物体为具有透光性或者反光性的位移应变镜，位移应变镜上设有位移应变图案。10.根据权利要求9所述的利用光学方法测量物体位移及变形的系统，其特征在于：所述位移应变镜呈柔性片状，还包括施力装置，施力装置的自由端连接位移应变镜。
技术总结
本实用新型属于采用光学方法为特征的计量设备技术领域，具体涉及一种利用光学方法测量物体位移及变形的系统，包括单色光源，单色光源发出的单色光线经过汇聚光路形成聚焦点，单色光线经过聚焦点后形成衍射投影光路，衍射投影光路上设置有成像接收装置，被测物体置于聚焦点处。本实用新型利用新型的光路原理，可以测量光学图像极其微小的位移或者变形，而利用本系统可以精确测量物体的位移或者变形量。用本系统可以精确测量物体的位移或者变形量。用本系统可以精确测量物体的位移或者变形量。
技术研发人员：陈方 陆虹 高仁璟
受保护的技术使用者：陈方
技术研发日：2021.01.22
技术公布日：2022/1/4