一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置的制作方法

1.本实用新型属于晶圆定位搬送技术领域，具体涉及一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置。


背景技术：

2.现有的8寸和12寸晶圆进行切割前需粘附在蓝膜框架上，粘附方向通常有横、竖两个方向，对于应用面阵相机做检测晶圆aoi设备来说，蓝膜框架可直接搬至x、y轴检测平台，而应用线阵相机做检测的，则在检测平台上加一可旋转90
°
的θ伺服轴用于旋转蓝膜框架。
3.然而，应用线阵相机做检测的条件比较苛刻，对扫描运动的平顺性和平稳性有很高的要求。当检测对象到达5um以下时，旋转伺服轴在停止状态下的微抖动，对高分辨率的图像采集有很大影响，因而有90
°
旋转伺服轴的检测平台不能满足线阵相机的高分辨率图像采集工作。
4.有鉴于此，设计制造出一种能够克服晶圆蓝膜框架在晶圆线阵检测设备中的旋转存在微抖动的问题，且能够提高aoi设备工作效率就显得尤为重要。


技术实现要素：

5.为了解决现有检测平台的微抖动问题、aoi设备工作效率低等问题，本技术提供一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，以解决晶圆蓝膜框架在晶圆线阵检测设备中旋转时存在的技术缺陷问题。
6.本实用新型提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，包括架体，还包括夹持定位机构和旋转接料机构，所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上，所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件，所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端，所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间，所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件，所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆aoi设备中独立出来，即先对晶圆蓝膜框架的进行旋转定位后再送入到晶圆线阵检测设备中检测，使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成，因而能够解决检测平台的微抖动问题，从而能够进一步的提高aoi设备的工作效率。
7.优选的，所述连接组件包括第一导轨、传动机构以及驱动件，所述左夹持组件与右夹持组件分别滑动连接于所述第一导轨的两端，所述左夹持组件与右夹持组件之间通过所述传动机构实现联动，所述驱动件用于调节所述左夹持组件与右夹持组件之间的间距。左夹持组件与右夹持组件通过传动机构实现联动，使得左夹持组件与右夹持组件能够在第一导轨上滑移，通过驱动件的动作，能够调节左夹持组件与右夹持组件之间的间距，以实现对晶圆蓝膜框架的夹持与定位，简单高效。
8.进一步优选的，所述旋转组件包括第二导轨、摆缸以及升降气缸，所述摆缸设置在所述架体上，所述第二导轨固定连接于所述摆缸的表面，所述升降气缸的输出轴与所述框
架吸附组件固定连接，所述升降气缸用于驱动所述框架吸附组件在所述第二导轨上滑移。框架吸附组件用于对晶圆蓝膜框架的吸附，摆缸与升降气缸之间通过第二导轨连接，当升降气缸动作时能够带动框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架在摆缸的上表面升降，借助摆缸的动作，实现对框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架角度的旋转。
9.进一步优选的，所述传动机构包括同步带以及两组同步带轮，两组所述同步带轮转动连接在所述架体上，所述同步带与所述同步带轮相互啮合，所述同步带的两端分别与所述左夹持组件以及右夹持组件固定连接。通过同步带与同步带轮之间的啮合关系，由于同步带的两端分别与左夹持组件以及右夹持组件固定连接，能够实现左夹持组件与右夹持组件之间的联动，方便了对框架吸附组件的夹紧与定位。
10.优选的，所述驱动件设置为笔形气缸，所述笔形气缸的活塞杆与所述左夹持组件固定连接。笔形气缸其具有结构紧凑，外观美观的特性，由于前后通过螺纹安装固定，能够有效的节省安装空间，能够保证对左夹持组件的驱动工作的稳定性好。
11.进一步优选的，所述摆缸设置为90
°
摆缸，所述90
°
摆缸固定于所述夹持定位机构的轴心处。90
°
摆缸的运行工作稳定，能够稳定的带动晶圆蓝膜框架旋转90
°
，完成对晶圆蓝膜框架的旋转工作，操作简单高效。
12.优选的，所述第一导轨设置为lm导轨，所述左夹持组件以及右夹持组件分别与位于所述lm导轨两端的连接块固定连接。lm导轨具有较高的灵敏度，且其动摩擦与静摩擦系数相差甚微，因而能够保证左夹持组件与右夹持组件之间运动平稳，确保对晶圆蓝膜框架的夹紧与定位的效果好。
13.优选的，所述框架吸附组件上设置有若干组吸盘，所述吸盘包括内吸盘与外吸盘，所述内吸盘与外吸盘距离所述框架吸附组件的距离不一致。内吸盘与外吸盘的设置，能够适用于对不同尺寸的晶圆蓝膜框架的吸附固定，提高了装置的适用性。
14.优选的，所述内吸盘与外吸盘均设置有四组。能够确保对晶圆蓝膜框架的吸附于固定的效果好。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益成果在于：
16.(1)通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆aoi设备中独立出来，使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成，因而能够解决检测平台的微抖动问题，从而能够进一步的提高aoi设备的工作效率。
17.(2)通过驱动件的动作，能够调节左夹持组件与右夹持组件之间的间距，以实现对晶圆蓝膜框架的夹持与定位；当升降气缸动作时能够带动框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架在摆缸的上表面升降，借助摆缸的动作，实现对框架吸附组件以及晶圆蓝膜框架角度的旋转。
附图说明
18.包括附图以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了实施例并且与描述一起用于解释本实用新型的原理。将容易认识到其它实施例和实施例的很多预期优点，因为通过引用以下详细描述，它们变得被更好地理解。附图的元件不一定是相互按照比例的。同样的附图标记指代对应的类似部件。
19.图1是根据本实用新型实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的正视图；
20.图2是根据本实用新型实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的爆炸图；
21.图3是根据本实用新型实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的仰视图；
22.图4是根据本实用新型实施例的框架吸附组件的结构示意图。
23.图中各编号的含义：1、架体；2、夹持定位机构；21、连接组件；211、第一导轨；212、传动机构；2121、同步带；2122、同步带轮；213、驱动件；22、左夹持组件；23、右夹持组件；3、光电传感器；4、旋转接料机构；41、旋转组件；411、第二导轨；412、摆缸；413、升降气缸；42、框架吸附组件；421、内吸盘；422、外吸盘。
具体实施方式
24.在以下详细描述中，参考附图，该附图形成详细描述的一部分，并且通过其中可实践本实用新型的说明性具体实施例来示出。对此，参考描述的图的取向来使用方向术语，例如“顶”、“底”、“左”、“右”、“上”、“下”等。因为实施例的部件可被定位于若干不同取向中，为了图示的目的使用方向术语并且方向术语绝非限制。应当理解的是，可以利用其他实施例或可以做出逻辑改变，而不背离本实用新型的范围。因此以下详细描述不应当在限制的意义上被采用，并且本实用新型的范围由所附权利要求来限定。
25.本实用新型提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，图1示出了根据本实用新型实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的正视图。如图1所示，该晶圆蓝膜框架旋转定位装置包括架体1、夹持定位机构2以及旋转接料机构4。其中，夹持定位机构2与旋转接料机构4均安装在架体1上，旋转接料机构4位于夹持定位机构2的上方，旋转接料机构4用于接料并进行角度的旋转，夹持定位机构2用于对所接的料进行夹紧并定位。
26.图2示出了根据本实用新型实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的爆炸图，如图2所示，夹持定位机构2包括连接组件21、左夹持组件22以及右夹持组件23，其中，连接组件21的两端分别连接有左夹持组件22与右夹持组件23，旋转接料机构4位于左夹持组件22与右夹持组件23之间。连接组件21包括第一导轨211、传动机构212以及驱动件213。
27.此实施例中的第一导轨211设置为lm导轨，lm导轨的两端均滑移连接有连接块，左夹持组件22与有夹持组件分别与连接块固定连接，即左夹持组件22与右夹持组件23均能在第一导轨211上滑移，实现对左夹持组件22与右夹持组件23之间间距的调节，从而能够实现对蓝膜框架进行夹紧与定位。
28.图3示出了根据本实用新型实施例的晶圆蓝膜框架旋转定位装置的仰视图，如图3所示，进一步的，左夹持组件22与右夹持组件23之间还通过传动机构212实现联动。其中，此实施例中的传动机构212包括同步带2121以及两组同步带轮2122，两组同步带2121轮转动连接在架体1上，同步带2121与同步带轮2122相互啮合，左夹持组件22与右夹持组件23分别固定连接在同步带2121的两端。
29.驱动件213固定于架体1上靠近左夹持组件22的一侧，此实施例中的驱动件213设置为笔形气缸，在其他实施例中也可以用其他能达到相同效果的结构代替。
30.笔形气缸的活塞杆与左夹持组件22固定连接，当笔形气缸伸缩时能够带动左夹持组件22移动，左夹持组件22移动时能够同时带动同步带2121转动，在同步带轮2122与同步带2121的传动作用下，使得右夹持组件23在同步带2121的牵引下往反方向移动，从而实现对左夹持组件22与右夹持组件23之间间距的调节，从而能够对晶圆蓝膜框架进行夹紧以及
定位。
31.此外，在本实施例中，左夹持组件22的一侧还固定连接光电传感器3，光电传感器3与笔形气缸电性连接，用于检测左夹持组件22与右夹持组件23是否夹持到晶圆蓝膜框架。
32.如图2所示，旋转接料机构4包括旋转组件41以及框架吸附组件42，旋转组件41用于控制框架吸附组件42的旋转。其中，旋转组件41包括第二导轨411、摆缸412以及升降气缸413。此实施例中的摆缸412设置为90
°
摆缸，90
°
摆缸固定于夹持定位机构2的轴心处的架体1上，第二导轨411是竖直固定于90
°
摆缸的上表面，第二导轨411远离90
°
摆缸的另一端与框架吸附组件42的下表面固定连接。当90
°
摆缸运行时，能够带动晶圆蓝膜框架旋转，实现对晶圆蓝膜框架的旋转工作。
33.进一步的，升降气缸413固定连接在框架吸附组件42于90
°
摆缸之间，升降气缸413的输出轴与框架吸附组件42的下表面固定连接，当升降气缸413伸缩时带动框架吸附组件42升降。
34.图4是根据本实用新型实施例的框架吸附组件42的结构示意图，如图4所示，框架吸附组件42远离90
°
摆缸的侧壁设置有若干组吸盘，吸盘用于吸附与固定晶圆蓝膜框架。此实施例中的吸盘包括内吸盘421与外吸盘422，其中，内吸盘421与外吸盘422均设置有四组，能够确保对晶圆蓝膜框架的吸附于固定的效果好。
35.在此实施例中内吸盘421的高度小于外吸盘422的高度，其中，内吸盘421用于吸附8寸的晶圆蓝膜框架，外吸盘422用于吸附12寸的晶圆蓝膜框架，提高了装置的适用性。
36.其中，左夹持组件22与右夹持组件23上也设置有与内吸盘421以及外吸盘422相对应的夹持部，左夹持组件22与右夹持组件23相互靠近的内侧用于夹持定位8寸的晶圆蓝膜框架，左夹持组件22与右夹持组件23相互远离的外侧用于夹持定位12寸的晶圆蓝膜框架。
37.此实施例中晶圆蓝膜旋转定位装置的实施原理大致如下：
38.旋转接料机构4处于0
°
位置，框架吸附组件42处于上升的接料位，晶圆蓝膜框架放到框架吸附组件42的吸盘上，当吸盘吸住晶圆蓝膜框架后，旋转接料机构4转动90
°
，带动晶圆蓝膜框架旋转90
°
后，框架吸附组件42下降，到达指定位置位后吸盘破真空，此时夹持定位机构2中的笔形气缸推动左夹持组件22与右夹持组件23相互靠近并对晶圆蓝膜框架进行夹持，对晶圆蓝膜框架进行定位，定位完成后笔形气缸缩回，左夹持组件22与右夹持组件23相互远离，此时框架吸附组件42上升，机械手取走晶圆蓝膜框架并送入晶圆aoi设备，最后旋转接料机构4转回0
°
位置，一个流程结束。
39.显然，本领域技术人员在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下可以作出对本实用新型的实施例的各种修改和改变。以该方式，如果这些修改和改变处于本实用新型的权利要求及其等同形式的范围内，则本实用新型还旨在涵盖这些修改和改变。词语“包括”不排除未在权利要求中列出的其它元件或步骤的存在。某些措施记载在相互不同的从属权利要求中的简单事实不表明这些措施的组合不能被用于获利。权利要求中的任何附图标记不应当被认为限制范围。