用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置的制作方法

文档序号:28517955发布日期:2022-01-15 09:57阅读:90来源:国知局
用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置的制作方法

1.本公开涉及玻璃基板生产制造工艺技术领域,具体地,涉及一种用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置。


背景技术:

2.在玻璃基板的生产过程中,需要对基板的翘曲度进行测量,判断其是否符合设计要求,当使用翘曲度测量仪对玻璃基板进行测量时,需将玻璃基板放置在定位平台上,而定位平台上为了气体的正常排出,设置有许多凸起结构,凸起结构之间有凹槽,玻璃基板的边缘因此容易超出凹槽中线并处于悬空状态,导致玻璃基板部分翘起,从而影响测量结果。翘曲度数据失真会造成工艺调整对策无效,而在实际测量中,对于上述的情况较难通过观察直接发现,从而导致测量结果失真。


技术实现要素:

3.本公开的目的是提供一种用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置,该定位装置有利于减小玻璃基板翘曲度测量的误差。
4.为了实现上述目的,本公开提供一种用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置,包括定位平台和第一定位结构,所述定位平台上沿第一方向间隔设置有多个凸起,所述多个凸起用于承载待检测玻璃基板,相邻凸起之间形成有凹槽,所述第一定位结构包括安装组件和定位件,所述安装组件连接所述定位平台与所述定位件,所述定位件沿所述第一方向延伸并用于定位所述待检测玻璃基板的第一边缘,所述定位件上沿所述第一方向间隔设置有多条刻度线,在所述第一方向上,每条刻度线用于与对应的凹槽的中线对齐。
5.可选地,所述定位件上还设置有多个沿所述第一方向间隔布置的凸出部,每个凸出部向下延伸至对应的凹槽内,每个所述凸出部上设置有所述刻度线。
6.可选地,所述多个凸起等间隔布置,所述多个凸出部等间隔布置,在所述第一方向上,所述凸出部的中线与所述凹槽的中线重合。
7.可选地,所述安装组件为多个,多个所述安装组件沿所述第一方向间隔布置。
8.可选地,所述安装组件包括安装座和安装在所述安装座上的驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述定位件在第二方向上移动,所述第二方向为与所述第一方向垂直的方向。
9.可选地,所述驱动机构包括气缸和伸缩活塞杆,所述气缸安装在所述安装座上,所述伸缩活塞杆远离所述气缸的一端与所述定位件相连。
10.可选地,所述安装座包括水平板和竖直板,所述水平板安装在所述定位平台上,所述竖直板与所述气缸相连。
11.可选地,所述凹槽的底壁上形成有凹陷部,所述凹陷部用于安装所述安装座。
12.可选地,所述水平板和所述竖直板的垂直度小于或等于0.3mm,所述水平板和所述竖直板的平整度小于或等于0.01mm。
13.可选地,所述定位装置还包括第二定位结构,所述第二定位结构用于定位所述待检测玻璃基板的与所述第一边缘相垂直的第二边缘。
14.通过上述技术方案,在对玻璃基板进行定位的过程中,由于刻度线与对应的凹槽的中线对齐,当玻璃基板的边缘位于凹槽当中时,可以通过刻度线的标识,从而快速判断玻璃基板的边缘是否超过凹槽的中线,而后可调整玻璃基板的位置或者调整测量方法,提升测量结果的准确性。因此,利用本公开提供的定位装置,有利于减小玻璃基板翘曲度测量仪对玻璃基板翘曲度测量时的误差。
15.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
16.附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:
17.图1是本公开一种实施方式提供的用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置的俯视示意图;
18.图2是图1中a结构的放大示意图;
19.图3是本公开一种实施方式提供的用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置的正视示意图;
20.图4是图3中b结构的放大示意图;
21.图5是本公开一种实施方式提供的用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置的侧视示意图;
22.图6是图5中c结构的放大示意图。
23.附图标记说明
24.1-定位装置;11-定位平台;111-凸起;112-凹槽;1121-凹陷部;12-第一定位结构;121-安装组件;1211-安装座;12111-水平板;12112-竖直板;1212-驱动机构;12121-气缸;12122-伸缩活塞杆;122-定位件;1221-刻度线;1222-凸出部;2-玻璃基板;21-第一边缘;22-第二边缘;13-第二定位结构;l1-第一方向;l2-第二方向。
具体实施方式
25.以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
26.在本公开中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下、左、右”通常是以相应附图的图面方向为基准定义的。“内、外”是指相应部件的轮廓的内和外。
27.此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
28.如图1至图6,本公开提供一种用于玻璃基板翘曲度测量仪的定位装置1,包括定位平台11和第一定位结构12,定位平台11上沿第一方向l1间隔设置有多个凸起111,多个凸起111用于承载待检测玻璃基板2,相邻凸起111之间形成有凹槽112,定位结构包括安装组件121和定位件122,安装组件121连接定位平台11与定位件122,定位件122沿第一方向l1延伸并用于定位待检测玻璃基板2的第一边缘21,定位件122上沿第一方向l1间隔设置有多条刻
度线1221,在第一方向l1上,每条刻度线1221用于与对应的凹槽112的中线(未图示)对齐。
29.当使用该定位装置1对玻璃基板2进行定位时,可将玻璃基板2放置在定位平台11的凸起111上,使玻璃基板2的第一边缘21与定位件122接触,对玻璃基板2的第一边缘21进行定位。同时,由于定位件122沿第一方向l1设置有多条刻度线1221,且每条刻度线1221与对应的凹槽112的中线对齐,当玻璃基板2的与第一边缘21垂直的第二边缘22置于任意一个凹槽112当中时,可以通过与刻度线1221进行比对,判断玻璃基板2的第二边缘22是否超过刻度线1221并处于悬空状态,如果出现此种情况,可以通过调整玻璃基板2第二边缘22的位置,使其不再处于悬空的状态,或者调整翘曲度测量仪的测头在测量过程中的运动轨迹,即选择玻璃基板2其他部分的区域进行测量,从而避免测量结果失真。
30.通过上述技术方案,在对玻璃基板2进行定位的过程中,由于刻度线1221与对应的凹槽112的中线对齐,当玻璃基板2的边缘位于凹槽112当中时,可以通过刻度线1221的标识,从而快速判断玻璃基板2的边缘是否超过凹槽112的中线,而后可调整玻璃基板2的位置或者调整测量方法,提升测量结果的准确性。因此,利用本公开提供的定位装置,有利于减小玻璃基板翘曲度测量仪对玻璃基板翘曲度测量时的误差。
31.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图3和图4所示,定位件122上还设置有多个沿第一方向l1间隔布置的凸出部1222,每个凸出部1222向下延伸至对应的凹槽112内,每个凸出部1222上设置有刻度线1221。在定位件122上设置多个凸出部1222,且凸出部1222上的刻度线1221与对应的凹槽112的中线对齐,由于定位件122的下边沿与多个凸起111之间存在间隙,当对玻璃基板2进行定位时,凸出部1222能够阻挡玻璃穿过定位件122和凸起111的间隙滑落。同时,由于凸出部1222延伸至凹槽112内,刻度线1221设置在凸出部1222,使得定位件122的刻度线1221更靠近凹槽112的底壁,由于利于观察刻度线1221是否与凹槽112的中线对齐。
32.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图3和图4所示,多个凸起111等间隔布置,多个凸出部1222等间隔布置,在第一方向l1上,凸出部1222的中线与凹槽112的中线重合。多个等间隔设置的凸出部1222与凸起111相互配合,形成距离相等的凹槽112以及位于凹槽112中心的凸出部1222,等间隔设置的凸起111为玻璃基板2提供了多处支撑,使得玻璃基板2受力较为均匀,而与之相配合的凸出部1222在安装定位件122时,通过凸出部1222与凹槽112的位置配合,更加容易将刻度线1221与凹槽112的中线对齐,方便安装定位。通过凸出部1222与凹槽112的配合,可以更加醒目地标示出凹槽112的中线所在的位置,方便操作人员观察玻璃基板2的边缘是否超过凹槽112的中线。
33.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图1所示,安装组件121为多个,多个安装组件121沿第一方向l1间隔布置。多个安装组件121的设置保证了定位件122在第一方向l1的直线度,与定位平台11的边缘对齐,从而为玻璃基板2的第一边缘21提供准确的定位。
34.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图2所示,安装组件121还可以包括安装座1211和安装在安装座1211上的驱动机构1212,驱动机构1212用于驱动定位件122在第二方向l2上移动,第二方向l2为与第一方向l1垂直的方向。在使用定位结构对玻璃基板2进行定位时,驱动机构1212驱动定位件122向第二方向l2移动,定位件122与玻璃基板2的第一边缘21接触,对玻璃基板2进行定位后,在驱动机构1212的驱动下,向着远离玻璃基板2的方向移动,如此操作是因为玻璃基板2为柔性件,定位件122在对玻璃基本进行定位的同时,也会对
玻璃基板2产生挤压的力,容易造成玻璃基板2的边缘变形,从而影响翘曲度的数据。因此,在对玻璃基板2进行定位后,将定位件122与玻璃基板2分离,可避免定位件122对玻璃基板2的挤压。
35.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图2所示,驱动机构1212可以包括气缸12121和伸缩活塞杆12122,气缸12121安装在安装座1211上,伸缩活塞杆12122远离气缸12121的一端与定位件122相连。在对玻璃基板2进行定位前,伸缩活塞杆12122向着远离气缸12121的方向运动,通过定位件122对玻璃基板2进行定位后,伸缩活塞杆12122又向着气缸12121的方向缩回,带动定位件122回缩。气缸12121和伸缩活塞杆12122的结构简单,操作容易,可以实现快速伸缩定位,提升了生产效率。
36.这里,需要说明的是,在本公开的其他实施方式中,驱动机构1212还可以是直线电机或者滚珠丝杠,本公开对此不做限定。
37.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图2和图4所示,安装座1211可以包括水平板12111和竖直板12112,水平板12111安装在定位平台11上,竖直板12112与气缸12121相连。为了保证定位结构和定位平台11的有效连接,定位结构通过安装座1211安装在定位平台11上,水平板12111通过螺钉固定在定位平台11上,竖直板12112上安装有气缸12121,采用该种固定方法在保证了连接强度的前提下,使用了更少的材料,减轻了整个第一定位结构12的重量,同时,竖直板12112也使得定位件122能够高于凸起111设置,方便对放置在凸起111上的玻璃基板2进行定位。
38.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图2所示,凹槽112的底壁上形成有凹陷部1121,凹陷部1121用于安装安装座1211。在凹槽112的底部设置凹陷部1121并把安装座1211安装在凹陷部1121内,可以使用凹陷部1121的周壁更好地限制安装座1211的自由度,保证安装座1211的与定位平台11的连接强度。
39.作为本公开的一种实施方式,由于驱动机构1212采用了气缸12121和活塞的结构,故在凹陷部1121中还设置有用于穿设驱动气缸12121的气管的通孔,该通孔沿竖直方向贯穿定位平台11,将气管由地面引导至定位平台11的台面上,与气缸12121连接。
40.可选地,作为本公开的一种实施方式,安装座1211水平板12111和竖直板12112的垂直度小于或等于0.3mm,安装座1211水平板12111和竖直板12112的平整度小于或等于0.01mm。作为连接第一定位结构12和定位平台11的零件,按照严格的垂直度和平整度要求加工出的零件,可以保证气缸12121精准安装到定位平台11的预设位置上,保证第一定位结构12自身的位置定位准确,从而能够确保待测量玻璃基板2的位置定位准确。
41.可选地,作为本公开的一种实施方式,如图1所示,定位装置1还包括第二定位结构13,第二定位结构13用于定位待检测玻璃基板2的与第一边缘21相垂直的第二边缘22。在第一方向l1上,存在第一定位结构12对玻璃基板2进行定位,而为了提升玻璃基板2的定位精确度,在定位平台11的第二方向l2上还设置了第二定位结构13,其结构与第一定位结构12相同,保证了玻璃板在定位平台11的第一方向l1和第二方向l2上的准确定位,提升了定位装置1的定位效果。
42.以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本公开的保护范围。
43.另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复,本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
44.此外,本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本公开的思想,其同样应当视为本公开所公开的内容。
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