一种晶元表面瑕疵检测灯的制作方法

1.本实用新型涉及检测灯技术领域，特别是涉及一种晶元表面瑕疵检测灯。


背景技术：

2.晶元指晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶元在生产后，需要进行质量检测，其中表面瑕疵是一道不可缺少的检测流程。表面瑕疵检测灯是常见的表面瑕疵检测用设备，通过绿色荧光照射出瑕疵处。现有的表面瑕疵检测灯的自动化性能较差，不方便检测大块晶元或者连续检测多个晶元。
3.因此，本领域技术人员提供了一种晶元表面瑕疵检测灯，以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的表面瑕疵检测灯不方便检测大块晶元或者连续检测多个晶元。
5.为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种晶元表面瑕疵检测灯，包括移动机构和照射机构，所述移动机构的结构包括底座、一号臂、二号臂，所述底座呈圆柱体的槽体结构，所述底座的槽口处设置有转台、槽中设置有三号电机，所述三号电机的转子与转台固定；所述一号臂的底端固定在转台的顶侧壁上，所述一号臂的顶部侧壁上固定有一号电机，所述一号臂与二号臂通过销轴铰接，且销轴与二号臂和一号电机的转子固定；所述二号臂的前端与照射机构连接；所述照射机构的结构包括灯壳、led灯和摄像头，所述灯壳呈圆柱体的壳体结构，所述摄像头设置在灯壳的底壁的中心通孔中，所述led灯有若干个，且均匀的设置在灯壳的底侧壁的通孔中。
6.作为本实用新型进一步的方案：所述一号臂的结构包括固定柱、升降柱，所述固定柱呈四棱柱体的管状结构，所述固定柱的底端固定在转台的顶侧壁上，且管内设置有气缸；所述升降柱呈四棱柱体结构，所述升降柱的底部插入到固定柱的管中，且与气缸的伸缩端固定连接。
7.作为本实用新型进一步的方案：所述二号臂的结构包括转杆、伸缩杆、四号电机，所述转杆呈四棱柱体的管状结构，所述转杆的后端与升降柱的顶端铰接，所述转杆的管内设置有丝杆，所述丝杆的后端与四号电机的转子固定；所述伸缩杆呈四棱柱体的管壳结构，所述伸缩杆的后部插入到转杆中，且与丝杆上螺套的移动块固定。
8.作为本实用新型进一步的方案：所述伸缩杆的前端通过铰接件与灯壳的顶侧壁连接。
9.作为本实用新型进一步的方案：所述铰接件的结构包括连接头、连接板和二号电机，所述连接头固定在伸缩杆的前端，所述连接板和二号电机都固定在灯壳的顶侧壁上，所
述连接头通过销轴与连接板铰接，且销轴与连接头和二号电机的转子固定。
10.作为本实用新型进一步的方案：所述灯壳的侧壁通孔中设置有两个控制开关，一个控制开关连接在摄像头与电源的回路上，另一个控制开关连接在led灯与电源的回路上。
11.本实用新型的有益效果是：
12.(1)本实用新型设置一号臂和二号臂，气缸收缩后升降柱在固定柱向下滑动，并带动灯壳向下平移，以调节led灯和摄像头与晶元的垂直距离；led灯发出荧光，以照射出晶元表面的瑕疵，同时，摄像头采集晶元的表面图像信息，并将图像信息传输的控制终端，以判断晶元表面是否有瑕疵；四号电机驱动丝杆转动，使得移动块带动伸缩杆沿着转杆前后滑动，或者三号电机驱动转台转动，使得灯壳前后平移，使led灯和摄像头照射到晶元的不同部位，或者照射不同的晶元。本实用新型方便连续检测晶元的不同部位或不同晶元。
13.(2)本实用新型设置铰接件，当晶元不在平面上时，一号电机驱动二号臂绕着一号臂的顶端转动，以调节灯壳的高度以及与一号臂之间的距离，然后二号电机通过销轴驱动连接头转动，使得灯壳随着连接板绕着连接头上下转动，使得led灯和摄像头照射到晶元上。本实用新型方便检测不同位置的晶元。
附图说明
14.图1为本实用新型的立体图；
15.图2为灯壳的剖视图。
16.其中：底座10、转台11、固定柱12、升降柱13、转杆14、伸缩杆15、连接头16、连接板17、灯壳18、摄像头19、led灯20、控制开关21、一号电机23、二号电机24。
具体实施方式
17.本实施例提供的一种晶元表面瑕疵检测灯，结构如图1-2所示，包括移动机构和照射机构，所述移动机构的结构包括底座10、一号臂、二号臂，所述底座10呈圆柱体的槽体结构，所述底座10的槽口处设置有转台11、槽中设置有三号电机，所述三号电机的转子与转台11固定，所述三号电机驱动转台11转动；所述一号臂的底端固定在转台11的顶侧壁上，所述一号臂的顶部侧壁上固定有一号电机23，所述一号臂与二号臂通过销轴铰接，且销轴与二号臂和一号电机23的转子固定，所述一号电机23驱动二号臂绕着一号臂的顶端转动；所述二号臂的前端与照射机构连接；所述照射机构的结构包括灯壳18、led灯20 和摄像头19，所述灯壳18呈圆柱体的壳体结构，所述摄像头19设置在灯壳18的底壁的中心通孔中，所述摄像头19采集晶元的表面图像信息，所述led灯20有若干个，且均匀的设置在灯壳18的底侧壁的通孔中，所述led灯20发出荧光，以照射出晶元表面的瑕疵。
18.所述一号臂的结构包括固定柱12、升降柱13，所述固定柱12呈四棱柱体的管状结构，所述固定柱12的底端固定在转台11的顶侧壁上，且管内设置有气缸；所述升降柱13呈四棱柱体结构，所述升降柱13的底部插入到固定柱12的管中，且与气缸的伸缩端固定连接，所述气缸伸缩后升降柱13在固定柱12中上下移动。
19.所述二号臂的结构包括转杆14、伸缩杆15、四号电机，所述转杆14呈四棱柱体的管状结构，所述转杆14的后端与升降柱13的顶端铰接，所述转杆14的管内设置有丝杆，所述丝杆的后端与四号电机的转子固定；所述伸缩杆15呈四棱柱体的管壳结构，所述伸缩杆15的
后部插入到转杆中，且与丝杆上螺套的移动块固定，所述四号电机驱动丝杆转动，使得移动块带动伸缩杆15沿着转杆14前后滑动。
20.所述伸缩杆15的前端通过铰接件与灯壳18的顶侧壁连接，使得灯壳18通过铰接件绕着伸缩杆15的前端转动，以调节led灯20和摄像头19的照射方向。
21.所述铰接件的结构包括连接头16、连接板17和二号电机24，所述连接头16固定在伸缩杆的前端，所述连接板17和二号电机24都固定在灯壳18的顶侧壁上，所述连接头16通过销轴与连接板17铰接，且销轴与连接头16和二号电机24的转子固定，所述二号电机24通过销轴驱动连接头16转动，使得灯壳18随着连接板17绕着连接头16上下转动。
22.所述灯壳18的侧壁通孔中设置有两个控制开关21，一个控制开关21连接在摄像头 19与电源的回路上，另一个控制开关21连接在led灯20与电源的回路上，所述控制开关 21控制摄像头19、或led灯20工作。
23.本实用新型的工作原理：使用前将表面检测灯安装在晶元质量检测设备一个检测程序的机床上，并与检测设备的控制电路电性连接；当晶元移动至灯壳18的正下方时，气缸收缩后升降柱13在固定柱12向下滑动，并带动灯壳18向下平移，以调节led灯20和摄像头19与晶元的垂直距离；led灯20发出荧光，以照射出晶元表面的瑕疵，同时，摄像头19采集晶元的表面图像信息，并将图像信息传输的控制终端，以判断晶元表面是否有瑕疵；四号电机驱动丝杆转动，使得移动块带动伸缩杆15沿着转杆14前后滑动，或者三号电机驱动转台11转动，使得灯壳18前后平移，使led灯20和摄像头19照射到晶元的不同部位，或者照射不同的晶元；当晶元不在平面上时，一号电机23驱动二号臂绕着一号臂的顶端转动，以调节灯壳18的高度以及与一号臂之间的距离，然后二号电机24通过销轴驱动连接头16转动，使得灯壳18随着连接板17绕着连接头16上下转动，使得led 灯20和摄像头19照射到晶元上。本实用新型方便连续检测晶元的不同部位或不同晶元。
24.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
25.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。