一种扩散硅高静压微差压传感器的制作方法

1.本实用新型涉及微差压传感器技术领域，尤其涉及一种扩散硅高静压微差压传感器。


背景技术：

2.众所周知随着传感器技术突飞猛进的发展，结构型力敏传感器以其高精度、高稳定、高可靠、低温度系数、高抗过载能力、优良的动态响应特性以及对高温、辐射和强烈振动等恶劣条件适应性强等一系列优势被公认为是新一代具有广阔发展前途的新型高性能传感器，硅微压力传感器在工业自动化控制、汽车工业、航天工业、医疗卫生、半导体加工、军事等许多领域有着广泛的应用。
3.但是在现有技术中，现有的扩散硅高静压微差压传感器在实际操作过程中容易掉落，且扩散硅高静压微差压传感器在运输过程中也容易造成破损，导致传感器和压力输入端等部件的损坏，导致最终检测数据产生误差问题，针对上述问题，提出一种扩散硅高静压微差压传感器。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在现有的扩散硅高静压微差压传感器在实际操作过程中容易掉落，且扩散硅高静压微差压传感器在运输过程中也容易造成破损，导致传感器和压力输入端等部件的损坏，导致最终检测数据产生误差问题，针对上述问题的问题，而提出的一种扩散硅高静压微差压传感器。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种扩散硅高静压微差压传感器，包括防护装置和传感器本体，所述防护装置的底部内壁与传感器本体的底部活动连接，所述防护装置包括顶盖、防护壳、移动杆和滑杆，所述防护壳的一端开设有开槽，所述防护壳的另一端与滑杆的两端固定连接，所述滑杆的两端对称滑动连接有活动外壳，所述活动外壳的外侧与移动杆的一端固定连接，所述防护壳的顶部与顶盖的底部活动连接，所述顶盖的顶部两端对称固定连接有拉杆，所述防护壳的内壁两端对称固定连接有限位杆。
6.优选的，所述传感器本体包括主体、封盖、连接管和连接件，所述主体的顶部一端开设有高压槽，所述主体的顶部另一端开设有低压槽。
7.优选的，所述高压槽的内壁固定连接有静压芯片组件，所述低压槽的内壁固定连接有差压芯片组件。
8.优选的，所述封盖的两端对称活动连接有四个固定栓，所述封盖的底部与主体的顶部活动连接。
9.优选的，所述主体的两侧对称固定连接有延伸板，所述延伸板的顶部贯穿开设有限位孔，所述限位杆的顶部与限位孔的内壁套接。
10.优选的，所述主体的一端固定连接有安装管，所述安装管的一端与连接件的一端螺纹连接，所述连接件的另一端与连接管的一端活动连接。
11.优选的，所述主体的一端对称固定连接有压力输入端，所述连接管的外壁与开槽的内壁活动连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
13.1、本实用新型中，通过增加防护装置，限位杆起到对传感器本体进行限位固定的作用，避免传感器表体随意晃动，活动外壳可以在滑杆外侧滑动，不使用时可以对压力输入端进行防护，避免压力输入端破损，将防护壳和顶盖盖紧可以对内部传感器本体起到防护效果，拉杆方便移动该传感器本体，解决了实际操作过程中传感器本体容易掉落以及微差压传感器在运输过程中容易破损等问题，避免传感器本体损坏。
14.2、本实用新型中，通过设置静压芯片组件和差压芯片组件，高压槽内壁为静压芯片组件，低压槽内壁为差压芯片组件，采用两个静压芯片组件和两个差压芯片组件的结构，结构简单易于制造，同时可以在较高工作压力下检测微小的差压变化，并可同时检测高压压力值与微差压值。
附图说明
15.图1为本实用新型提出一种扩散硅高静压微差压传感器的立体图；
16.图2为本实用新型提出一种扩散硅高静压微差压传感器的结构示意图；
17.图3为本实用新型提出一种扩散硅高静压微差压传感器的传感器本体的结构示意图；
18.图4为本实用新型提出一种扩散硅高静压微差压传感器的传感器本体的内部结构示意图；
19.图5为本实用新型提出一种扩散硅高静压微差压传感器的图3中a处的细节放大图。
20.图例说明：1、防护装置；2、传感器本体；11、顶盖；12、拉杆；13、活动外壳；14、防护壳；15、移动杆；16、开槽；17、限位杆；18、滑杆；21、主体；22、固定栓；23、安装管；24、连接件；25、连接管；26、封盖；27、压力输入端；28、延伸板；29、低压槽；30、差压芯片组件；31、高压槽；32、静压芯片组件。
具体实施方式
21.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
23.实施例1，如图1-5所示，本实用新型提供了一种扩散硅高静压微差压传感器，包括防护装置1和传感器本体2，防护装置1的底部内壁与传感器本体2的底部活动连接。
24.下面具体说一下其防护装置1和传感器本体2的具体设置和作用。
25.如图1、图2、图4和图5所示，防护装置1包括顶盖11、防护壳14、移动杆15和滑杆18，防护壳14的一端开设有开槽16，防护壳14的另一端与滑杆18的两端固定连接，滑杆18的两
端对称滑动连接有活动外壳13，活动外壳13的外侧与移动杆15的一端固定连接，防护壳14的顶部与顶盖11的底部活动连接，顶盖11的顶部两端对称固定连接有拉杆12，防护壳14的内壁两端对称固定连接有限位杆17。
26.其整个防护装置1达到的效果为，通过在传感器本体2的外侧增加防护装置1，将传感器本体2放置在防护壳14的内部，使传感器本体2两侧的延伸板28对准限位杆17，限位杆17对准延伸板28的限位孔，限位杆17起到对传感器本体2进行限位固定的作用，避免传感器表体随意晃动，开槽16便于使传感器本体2的连接管25可以向外连接，在使用该传感器本体2时可以将活动外壳13沿着滑杆18向两侧滑动，不使用时可以使用活动外壳13对压力输入端27进行防护，避免压力输入端27破损，移动杆15起到方便移动活动外壳13的作用，需要移动该传感器本体2时，将防护壳14和顶盖11盖紧，拉杆12方便移动该传感器本体2，通过设置防护装置1，解决了实际操作过程中传感器本体2容易掉落以及微差压传感器在运输过程中容易破损等问题，避免传感器本体2损坏。
27.如图1、图3和图5所示，传感器本体2包括主体21、封盖26、连接管25和连接件24，主体21的顶部一端开设有高压槽31，主体21的顶部另一端开设有低压槽29，高压槽31的内壁固定连接有静压芯片组件32，低压槽29的内壁固定连接有差压芯片组件30，封盖26的两端对称活动连接有四个固定栓22，封盖26的底部与主体21的顶部活动连接，主体21的两侧对称固定连接有延伸板28，延伸板28的顶部贯穿开设有限位孔，限位杆17的顶部与限位孔的内壁套接，主体21的一端固定连接有安装管23，安装管23的一端与连接件24的一端螺纹连接，连接件24的另一端与连接管25的一端活动连接，主体21的一端对称固定连接有压力输入端27，连接管25的外壁与开槽16的内壁活动连接。
28.其整个传感器本体2达到的效果为，固定栓22可以将封盖26固定在主体21的顶部，将连接管25和连接件24活动安装后，再将连接件24和安装管23螺纹固定即可，安装管23和主体21的连接方式为焊接，保证了稳固性的同时具有密封效果，通过在主体21的两端分别开设高压槽31和低压槽29，高压槽31内壁为静压芯片组件32，低压槽29内壁为差压芯片组件30，采用两个静压芯片组件32和两个差压芯片组件30的结构，结构简单易于制造，同时可以在较高工作压力下检测微小的差压变化，并可同时检测高压压力值与微差压值。
29.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。