一种芯片测试探针装置的制作方法

1.本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体为一种芯片测试探针装置。


背景技术：

2.在半导体芯片的研发及大规模生产过程中，均需要对芯片的各类性能进行测试，芯片在制造过程中需要使用测试探针进行测试，以保证芯片品质符合生产需求。
3.在公告号cn211905577u中公开了一种芯片测试探针装置，包括底座、步进电机和导向杆，底座上端一侧通过螺栓连接有步进电机，步进电机的传动输出端通过键连接有丝杆，丝杆一侧设置有与底座插接的导向杆，导向杆上滑动连接有升降板，升降板下端中部设置有探针电路板，探针电路板下端中部设置有固定块，固定块下端设置有测试探针，底座上端中部成型有滑轨，滑轨内设置有ipt帽杆，ipt帽杆上端设置有芯片。
4.上述芯片测试探针装置具体操作是，装置使用外接电源，且被外部设备控制，ipt帽杆可被送料机构或其他设备推动在滑轨上进行移动，当ipt帽杆携带芯片移动至探针电路板下方时，步进电机工作带动丝杆进行转动，由于丝杆与升降板通过螺纹连接，这样在丝杆转动时，升降板在导向杆的辅助下可进行升降，这样探针电路板也可进行升降，使测试探针与芯片接触，这样测试探针可对芯片进行多点测试。
5.可是，上述的芯片测试探针装置，其ipt帽杆整体是直接滑动于导轨，并不具有t状结构滑接结构以及对称排列的导滚珠结构，进而大大降低了ipt帽杆整体的移动顺滑性和防脱性，而且，测试探针下降并对芯片直接进行硬性顶压，容易造成芯片压伤的情况；
6.另外，测试探针长时间使用会老化需要拆卸更换，可是由于上述探针电路板与升降板是通过多颗螺钉连接的，不方便拆卸更换，进而会大大降低对芯片测试的精准质量。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种芯片测试探针装置，以解决现有技术中ipt帽杆整体的移动顺滑性和防脱性较低、测试探针下降并对芯片直接进行硬性顶压而造成芯片压伤的情况、探针电路板与升降板之间不方便拆卸更换的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片测试探针装置，包括底座、顶板、升降板，以及设于底座上的电机，所述电机上设有丝杆，所述底座上开设有导轨，所述导轨内滑动卡接有滑座，所述滑座上设有导滚珠、缓冲腔，所述缓冲腔内设有缓冲座、缓冲弹簧，所述缓冲座上设有ipt帽杆，所述ipt帽杆上设有芯片，所述升降板上设有安装块，所述安装块上设有锁止销、探针电路板，所述探针电路板上设有测试探针，上述相关结构均为公告号cn211905577u中公开的芯片测试探针装置的组件结构。
9.优选的，所述导滚珠分为左右对称的两组，每组数量为三个并与导轨的内壁滚动接触，导滚珠采用高速钢制成的球体，耐磨耐用。
10.优选的，所述导轨和滑座的侧截面均为t形状结构，避免滑座从导轨上侧滑脱。
11.优选的，所述缓冲座滑接于缓冲腔内，所述缓冲弹簧设于缓冲座和缓冲腔内壁之
间，缓冲弹簧采用优质弹簧钢制成，具有优良的缓冲弹性以及稳定性。
12.优选的，所述安装块上设有安装槽，所述安装槽内设有防护垫，所述探针电路板上开设有锁止槽，所述锁止销穿过安装块和防护垫并与锁止槽卡接，防护垫为聚氨酯橡胶垫，避免安装时金属材质的安装块对探针电路板造成磨损。
13.优选的，所述指钩环和安装块之间设有弹簧，可实现锁止销快速卡入锁止槽。
14.优选的，所述锁止销是以探针电路板的竖向中轴线为中心左右对称的两个，所述锁止销上设有指钩环，方便单手钩动即可将探针电路板拆掉。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1.本实用新型通过在底座设置t形状结构导轨，并在导轨内设置具有缓冲结构和对称排列的导滚珠结构的滑座，不仅提高了滑座以及具有芯片的ipt帽杆整体在导轨中的移动顺滑性和防脱性，而且，当测试探针下降顶压芯片时，可实现芯片对测试探针的下压顶力的有效缓冲卸力防护，避免测试探针硬性顶压芯片而造成芯片压伤的情况。
17.2.本实用新型通过在升降板上设置的对称式弹性锁止结构，当测试探针长时间使用老化时，可实现探针电路板以及测试探针的整体方便拆卸并更换新的整体一套，进而提高了对芯片测试的精准质量。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构立面图；
19.图2为本实用新型的图1中具有缓冲结构和对称排列的导滚珠结构的滑座的俯视示意图；
20.图3为本实用新型的图1中a处放大图。
21.图中：1底座、101导轨、11支撑杆、12电机、13丝杆、14顶板、2探针电路板、21测试探针、211锁止槽、3滑座、31导滚珠、4缓冲腔、41缓冲弹簧、5缓冲座、6 ipt帽杆、61芯片、7升降板、8安装块、81安装槽、811防护垫、9锁止销、91弹簧、92指钩环。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.实施例1
24.请参阅图1、图2、图3，图示中的一种芯片测试探针装置，包括底座1、顶板14、升降板7，以及设于底座1上的电机12，电机12上设有丝杆13，底座1上开设有导轨101，导轨101内滑动卡接有滑座3，滑座3上设有导滚珠31、缓冲腔4，缓冲腔4内设有缓冲座5、缓冲弹簧41，缓冲座5上设有ipt帽杆6，ipt帽杆6上设有芯片61，升降板7上设有安装块8，安装块8上设有锁止销9、探针电路板2，探针电路板2上设有测试探针21。
25.导滚珠31分为左右对称的两组，每组数量为三个并与导轨101的内壁滚动接触，实现稳定的滚动滑动，提高了ipt帽杆6整体的移动顺滑性。
26.导轨101和滑座3的侧截面均为t形状结构，实现滑动，同时避免滑座3从导轨101上
侧滑脱。
27.缓冲座5滑接于缓冲腔4内，缓冲弹簧41设于缓冲座5和缓冲腔4内壁之间，当测试探针21下降顶压芯片61时，会带动缓冲座6沿着缓冲腔4向下滑动，缓冲弹簧41被压缩形变并产生形变势能，该形变势能可将测试探针21给予的下压力进行有效缓冲卸力，避免测试探针21硬性顶压芯片61而造成芯片61压伤的情况。
28.安装块8上设有安装槽81，安装槽81内粘接有防护垫811，探针电路板2上开设有锁止槽211，锁止销9穿过安装块8和防护垫811并与锁止槽211卡接，防护垫811为聚氨酯橡胶垫，具有弹性绝缘性，避免安装时金属材质的安装块8对探针电路板2造成磨损。
29.指钩环92和安装块8之间焊接有弹簧91，回弹性的弹簧91可实现锁止销9快速卡入锁止槽211。
30.锁止销9是以探针电路板2的竖向中轴线为中心左右对称的两个，锁止销9上设有指钩环92，方便单手钩动即可将探针电路板2拆掉。
31.本实施方案中使用时：t形状结构导轨101和匹配的滑座3结构，避免滑座3从导轨101内从上侧开口滑脱，而且，设置的若干对称的导滚珠31，实现了滑座3和导轨101的内壁面实现滚动连接，大大提高了滑座3以及具有芯片61的ipt帽杆6整体在导轨101中的移动顺滑性和防脱性。
32.当测试探针21长时间使用老化需要更换，可以单手的两根手指同时勾住两侧指钩环92并向外侧拉动，带动两侧锁止销9滑动并退出锁止槽211，此时弹簧91拉伸形变，同时探针电路板2整体会掉落到该手的手掌内，另一只手可将其取出，并拿取新的探针电路板2卡入到安装槽81内，接着手指退出指钩环92，弹簧91回拉并带动锁止销9快速卡入到锁止槽211内即可便捷完成更换，具有新的测试探针21的探针电路板2可提高对芯片61测试的精准质量。
33.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。