气浮承载设备的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种气浮承载设备。


背景技术：

2.对待测件(例如为晶圆)进行检测时，需要首先对其进行承载，气浮承载是目前常用的一种承载方式。气浮承载的承载装置上设有正压出气区域以及排气区域，正压出气区域用于对待测件进行吹浮，然后吹动待测件的气体通过排气区域进行排出。
3.目前，市面上的气浮承载设备大多通过在正压出气区域设置正压气浮通道、在排气区域设置排气槽来实现对待测件的气浮承载。然而，这种方式会导致气浮承载设备中央区域的气体也需沿着排气槽从承载设备的边缘排出，导致气浮承载设备对待测件不同区域的排气效果不同，从而影响气浮承载设备对待测件的承载效果。此外，当待测件出现翘曲情况时，气浮承载设备对待测件的气浮承载效果会更差。


技术实现要素：

4.针对现有技术中的至少部分问题和不足，本发明实施例公开了一种气浮承载设备，设置第一气路通道和第二气路通道用于对待测件进行气浮承载，以提高气浮承载设备的气浮承载效果。
5.一方面，本发明实施例提供的一种气浮承载设备，例如包括：承载层；间隔层，连接在所述承载层的一侧；气路连接层，连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧；其中，所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层之间形成有用于气浮承载待测件的第一气压通道和第二气压通道；所述第一气压通道和所述第二气压通道分别从所述承载层上远离所述气路连接层的一侧依次穿过所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层，并延伸到所述气路连接层上远离所述承载层的一侧。
6.本实施例提供的气浮承载设备，通过设置第一气路通道和第二气路通道以分别用于对待测件进行送气和排气，以提高气浮承载设备的气浮承载效果。
7.在本发明的一个实施例中，所述承载层包括远离所述气路连接层的承载面，所述承载面上设置有多个第一气孔、多个第二气孔，所述承载层上邻近所述间隔层且与所述承载面相对的一侧上还设置有第一主导气管和多个第一支导气管，所述多个第一支导气管一一对应连通所述多个第二气孔；所述间隔层与所述承载层形成有第一空腔，所述第一空腔分别连通所述多个第一气孔和所述第一主导气管；所述间隔层上还设置有第一主导气管过孔和多个第一支导气管过孔，所述第一主导气管穿过所述第一主导气管过孔，所述多个第一支导气管穿过所述第一支导气管过孔；所述气路连接层与所述间隔层形成有第二空腔，所述第一支导气管连通所述第二空腔；所述气路连接层上邻近所述间隔层的一侧上还设置有第二主导气管，所述第二主导气管连通所述第二空腔；所述气路连接层还设置有第二主导气管过孔，所述第一主导气管贯穿所述第二主导气管过孔；其中，所述第一气压通道包括所述多个第一气孔、所述第一空腔和所述第一主导气管，所述第二气压通道包括所述多个
第二气孔、所述多个第一支导气管、所述第二空腔和所述第二主导气管。
8.在本发明的一个实施例中，所述承载面的形状为圆形；所述多个第一气孔和所述多个第二气孔在所述承载面上相互交替设置、且形成以所述承载面的轴线为中心呈圆环形分布的多圈气压孔；所述多圈气压孔包括靠近所述承载面边缘的外圈气压孔和靠近所述承载面的轴线的内圈气压孔，所述外圈气压孔的气孔密度大于所述内圈气压孔的气孔密度。
9.在本发明的一个实施例中，所述气浮承载设备还包括气路控制部件，所述气路控制部件连接在所述气路连接层上远离所述承载层的一侧；所述气路控制部件包括：气路连接体，连接在所述气路连接层上、且设置有第一气路接入通道和第二气路接入通道，所述第一气路接入通道连通所述第一主导气管，所述第二气路接入通道连通所述第二主导气管；第一连接管，连通所述第一气路接入通道；以及第二连接管，连通所述第二气路接入通道。
10.在本发明的一个实施例中，所述第一气路接入通道包括第一纵向接入孔和第一横向接入孔，所述第一纵向接入孔连通所述第一横向接入孔，所述第一纵向接入孔还连通所述第一主导气管；所述第二气路接入通道包括第二纵向接入孔和第二横向接入孔，所述第二纵向接入孔连通所述第二横向接入孔，所述第二纵向接入孔还连通所述第二主导气管；所述气路控制部件还包括第一压力调节阀和第二压力调节阀，所述第一压力调节阀连通所述第一纵向接入孔，所述第二压力调节阀连通所述第二纵向接入孔。在本发明的一个实施例中，所述承载面的中部设置有安装孔，所述间隔层的中部设置有与所述安装孔相连通且贯穿所述间隔层的第一定位孔，所述气路连接层的中部设置有与所述第一定位孔相连通且贯穿所述气路连接层的第二定位孔；所述气浮承载设备还包括翘曲矫正结构，所述翘曲矫正结构包括：矫正盘，固定在所述安装孔内且设置有第一矫正气压通道；导气件，连接所述矫正盘且设置在所述第一定位孔和所述第二定位孔内，所述导气件设置有第二矫正气压通道，所述第二矫正气压通道连通所述第一矫正气压通道；以及气路控制部件，连接在所述气路连接层远离所述承载面的一侧上，所述气路控制部件设置有第三矫正气压通道，所述第三矫正气压通道连通所述第二矫正气压通道。
11.在本发明的一个实施例中，所述安装孔为圆孔；所述矫正盘邻近所述承载面的外侧面为圆形，所述外侧面上设置有多个轴向气孔，所述矫正盘上还设置有多个径向气孔，所述多个径向气孔一一对应连通所述多个轴向气孔，所述矫正盘上远离所述外侧面的内侧面设置有第一连通孔，所述第一连通孔连通所述多个径向气孔和所述第二矫正气压通道，所述多个轴向气孔、所述多个径向气孔和所述第一连通孔形成所述第一矫正气压通道；所述多个轴向气孔在所述外侧面上相互间隔设置、且呈圆环形排布；所述多个径向气孔以所述矫正盘的轴线为中心均匀分布、且交汇于所述第一连通孔。
12.在本发明的一个实施例中，所述导气件包括连接头与导气管，所述连接头的一端连接所述导气管，所述连接头的另一端连接所述矫正盘，所述连接头设置有连接孔，所述连接孔连通所述第一矫正气压通道和所述导气管，所述连接孔和所述导气管形成所述第二矫正气压通道，所述导气管远离所述连接头的一端连接至所述气路控制部件，所述导气管还连通所述第三矫正气压通道。
13.在本发明的一个实施例中，所述气路控制部件包括：气路连接体、第三连接管以及转换阀门，所述连接管连接在所述气路连接体和所述转换阀门之间；所述气路连接体安装在所述气浮承载设备上远离所述承载面的一侧；所述气路连接体上设置有第一通孔和第二
通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相交连通，所述导气管插入所述第一通孔中、并连通所述第三矫正气压通道，所述转换阀门通过所述连接管连通所述第二通孔。
14.在本发明的一个实施例中，所述第一气孔和所述第二气孔中分别设置有气压控制螺丝，以用于控制所述第一气孔和所述第二气孔内的压力；所述气压控制螺丝的外壁上设置有外螺纹，所述气压控制螺丝通过所述外螺纹连接在所述第一气孔和第二气孔内；所述气压控制螺丝上还设置有气压控制孔，所述气压控制孔连通所述第一气孔或所述第二气孔。
15.由上可知，本发明上述技术特征可以具有如下一个或多个有益效果：通过设置第一气路通道和第二气路通道以用于对待测件进行送气和排气，提升了气浮承载设备的承载效果。再者，本发明实施例设置有翘曲矫正结构用于对待测件的翘曲情况进行矫正，以提高待测件的表面平整度，进而提高本气浮承载设备对待测件的气浮承载效果。此外，本发明实施例还设置不同的内、外圈气压孔的气孔密度以提高气浮承载设备的气浮承载效果；在第一气孔和第二气孔中设置气压控制螺丝以便于调节第一气孔和第二气孔中的压力；设置压力调节阀以更便捷地调节第一气压通道和第二气压通道中的压力。。
附图说明
16.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本发明实施例提供的气浮承载设备的剖面结构示意图。
18.图2为本发明实施例提供的气浮承载设备的爆炸结构示意图。
19.图3为本发明实施例提供的承载层的剖面结构示意图。
20.图4为本发明实施例提供的间隔层的剖面结构示意图。
21.图5为本发明实施例提供的气浮承载设备的另一剖面结构示意图。
22.图6为图5中a部分的局部放大示意图。
23.图7为图5中b部分的局部放大示意图。
24.图8为本发明实施例提供的气路连接层的剖面结构示意图。
25.图9为本发明实施例提供的气浮承载设备的再一剖面结构示意图。
26.图10为图9中d部分的局部放大示意图。
27.图11为图5中c部分的局部放大示意图。
28.图12为本发明实施例提供的气浮承载设备的又一剖面结构示意图。
29.图13为图12中e部分的局部放大示意图。
30.图14为本发明实施例提供的气浮承载设备的又一剖面结构示意图。
31.图15为本发明实施例提供的翘曲矫正结构的剖面结构示意图。
32.图16为本发明实施例提供的矫正盘的剖面结构示意图。
33.图17为本发明实施例提供的导气件的剖面结构示意图。
34.图18为本发明实施例提供的气路控制部件的剖面结构示意图。
35.图19为本发明实施例提供的气路控制部件的结构示意图。
36.主要元件符号说明：
37.10为气浮承载设备；100为承载层；110为承载面；111为第一气孔；1111为气压控制螺丝；1112为气压控制孔；112为第二气孔；1121为气压控制螺丝；l122为气压控制孔；；113为第六安装孔；120为第一主导气管；130为第一支导气管；131为粗主导气管端；132为细支导气管端；1321为外螺纹；133为第三环形凹槽；140为第一安装孔；150为第四安装孔；200为间隔层；210为第一主导气管过孔；220为第一支导气管过孔；221为第一倒角；230为第一环形凹槽；240为第二环形凹槽；250为第二安装孔；260为第一紧固件过孔；270为第五安装孔；280为第一定位孔；300为气路连接层；310为第二主导气管过孔；320为第二主导气管；330为第三安装孔；340为第二紧固件过孔；350为第二定位孔；410为第一气压通道；420为第二气压通道；510为第一空腔；520为第二空腔；610为第一密封件；620为第二密封件；630为第三密封件；710为第一紧固件；720为第二紧固件；730为第三紧固件；740为第四紧固件；800为翘曲矫正结构；810为矫正盘；811为第一矫正气压通道；812为轴向气孔；813为径向气孔；814为第一连通孔；820为导气件；821为第二矫正气压通道；822为连接头；8221为连接孔；823为导气管；830为气路控制部件；831为第三矫正气压通道；832为气路连接体；8321为第一通孔；8322为第二通孔；8323为第一气路接入通道；8324为第一纵向接入孔；8325为第一横向接入孔；8326为第二气路接入通道；8327为第二纵向接入孔；8328为第二横向接入孔；833为第三连接管；834为转换阀门；835为第一连接管；836为第二连接管；837为第一压力调节阀；838为第二压力调节阀。
具体实施方式
38.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
39.需要说明，本发明实施例中所提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。为了理解和便于描述，附图中示出的每个组件的尺寸和厚度是任意示出的，但是本发明不限于此。
40.可以理解的是，当例如层、膜、区域或基底的组件被称作“在“另一组件“上”时，所述组件可以直接在所述另一组件上，或者也可以存在中间组件。另外，在说明书中，除非明确地描述为相反的，否则词语“包括”将被理解为意指包括所述组件，但是不排除任何其它组件。此外，在说明书中，“在......上”意指位于目标组件上方或者下方，而不意指必须位于基于重力上方的顶部上。
41.下面结合附图，对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互结合。
42.本发明实施例提供了一种气浮承载设备。气浮承载设备10用于气浮承载待测件，此处的待测件可例如为晶圆。参见图1和图2，本发明实施例提供的气浮承载设备10例如包括：承载层100、间隔层200以及气路连接层300。其中，间隔层200连接在承载层100的一侧，气路连接层300连接在间隔层200远离承载层100的一侧。进一步地，承载层100、间隔层200
和所述气路连接层300之间可例如形成有用于气浮承载待测件的第一气压通道410和第二气压通道420。具体地，第一气压通道410和第二气压通道420分别从承载层100上远离气路连接层300的一侧依次穿过承载层100、间隔层200和气路连接层300，并延伸到气路连接层300上远离所述承载层100的一侧。其中，第一气压通道410中的气流的空气压力大于-气压阈值，也即该通道内的气流为正压气体，也即第一气压通道410例如为正气压通道。第二气压通道420中的气流的空气压力小于所述气压阈值，也即该通道内的气流为负压气体，也即第二气压通道420例如为负气压通道。第一气压通道410用于送出气流对待测件进行吹浮，第二气压通道420用于排出气浮承载设备10与待测件之间被待测件所阻挡的气流，进而与第一气压通道410送出的气流相配合使得气浮承载设备10能够对待测件进行气浮承载。
43.再者，间隔层200与承载层100之间形成有第一空腔510，气路连接层300与间隔层200之间形成有第二空腔520。其中，第一空腔510中的气流的空气压力大于一气压阈值，也即相对压力为正值；第二空腔520中的气流的空气压力小于所述气压阈值，也即相对压力为负值。需要说明的是，上述提到的压力阈值可以根据实际需要确定，比如为标准大气压或者为零。
44.具体地，参见图2和图3，承载层100可例如包括远离间隔层200的承载面110，承载面110可例如为圆形，待测件可例如气浮承载于承载面100上。承载面110上可例如设置有多个第一气孔111和多个第二气孔112。其中，多个第一气孔111用于送出气流对待测件进行吹浮，多个第二气孔112用于排出气浮承载设备10与待测件之间多余的气流。第一气孔111送出的气流与第二气孔112排出的气流相互配合使得气浮承载设备10能够对待测件进行气浮承载。多个第一气孔111和多个第二气孔112可例如在所述承载面110上相互交替设置、且形成以所述承载面110的轴线为中心呈圆环形分布的多圈气压孔。如此一来可以使得多个第一气孔111的送气效率与多个第二气孔112的排气效率相近，从而使得气浮承载设备10的气浮承载效果较好。进一步地，多圈气压孔可例如包括靠近所述承载面110边缘的外圈气压孔和靠近所述承载面110的轴线的内圈气压孔，所述外圈气压孔的气孔密度与所述内圈气压孔的气孔密度不相等。优选地，所述外圈气压孔的气孔密度大于所述内圈气压孔的气孔密度。这样一来可以使得气浮承载设备10对待测件的中央区域和边缘区域的排气效率相近，从而减少由于气浮承载设备10对待测件的中央区域和边缘区域的排气效率相差过大而导致对待测件不同区域的气浮承载不均匀。再者，第一气孔111的孔径范围可例如为0.03-0.07mm，这样一来能够防止处于承载层100中央区域的第一气孔111孔径过大而降低正压气体的气压，从而导致气浮效果较差；此外，还能够避免第一气孔111孔径过小而导致吹出气流较小，从而造成气浮效果不佳。优选地，第一气孔111的孔径大小可例如为0.05mm。第二气孔112的孔径范围也可例如为0.03-0.07mm，优选地，第二气孔112的孔径大小也可例如为0.05mm。
45.承上述，承载层100上邻近间隔层200、且与承载面110相对的一侧上例如设置有第一主导气管120和多个第一支导气管130。第一主导气管120可例如为中空圆管、且靠近承载层100的中心位置设置、并连通至所述第一空腔510。多个第一气孔111、第一主导气管120与第一空腔510可例如形成第一气压通道410。第一支导气管130也可例如为中空管状结构，多个第一支导气管130一一对应连通多个第二气孔112。再者，承载层100的边缘位置可例如设置有多个第一安装孔140，多个第一安装孔140可例如贯穿所述承载层100。
46.承上述，参见图4，间隔层200上设置有与第一主导气管120相对应的第一主导气管过孔210，第一主导气管过孔210贯穿间隔层200。第一主导气管120穿过第一主导气管过孔210、并延伸至间隔层200远离承载层100的一侧。进一步地，参见图5和图6，间隔层200邻近承载层100的一侧的边缘位置设置有第一环形凹槽230，间隔层200邻近气路连接层300的一侧的边缘位置设置有第二环形凹槽240。第一环形凹槽230内可例如设置有第一密封件610，所述第一密封件610抵接间隔层200和承载层100；第二环形凹槽240内可例如设置有第二密封件620，所述第二密封件620抵接间隔层200和气路连接层300。举例来说，第一密封件610和第二密封件620可例如为密封圈比如橡胶o形圈。设置第-密封件610和第二密封件620，能够将间隔层200与承载层100之间、间隔层200与气路连接层300之间密封起来，以确保第一气压通道410内的正压气体和第二气压通道420内的负压气体的密封性，从而保持第一气压通道410和第二气压通道420的气压稳定性，提升本气浮承载设备10的气浮效果。
47.再者，参见图4，间隔层200上还设置有多个第一支导气管过孔220，多个第一支导气管过孔220分别贯穿间隔层200。多个第一支导气管过孔220与多个第一支导气管130一一对应，多个第-支导气管130穿过多个第一支导气管过孔220、并延伸至间隔层200远离承载层100的一侧、且连通至所述第二空腔520。进一步地，参见图7，每个所述第一支导气管130可例如包括粗支导气管端131和细支导气管端132，所述粗支导气管端131连通所述细支导气管端132、且在所述粗支导气管端131和所述细支导气管端132的连接处形成台阶面。细支导气管端132可例如插入与第一支导气管130对应的第一支导气管过孔220、且台阶面抵接在间隔层200邻近承载层100的一侧上。所述台阶面上可例如设置有第三环形凹槽133，第三环形凹槽133内可例如设置有第三密封件630，所述第三密封件630可例如抵接间隔层200和粗支导气管端131靠近所述间隔层200的一端。其中，第三密封件630可例如为密封圈比如o形橡胶圈。细支导气管端132远离承载层100的一端可例如还设置有外螺纹1321，间隔层200还设置有多个紧固螺母(图中未示出)，紧固螺母通过外螺纹1321连接在第一支导气管130上、且抵靠在间隔层200远离承载层100的一侧。紧固螺母的设置有利于对承载层100与间隔层200之间进行密封，还可以进一步提高气浮承载设备10的连接紧固性。
48.再参见图7，第一支导气管过孔220上远离所述承载层100的一侧还设置有第一倒角221，第一倒角221可例如为锥形凹槽。第一倒角221内可例如设置有第四密封件(图中未示出)，第四密封件可例如抵接第一倒角221和细支导气管端132。优选地，第四密封件可例如为胶水密封结构，举例来说，胶水密封结构可例如通过在第一倒角221内设置胶水形成。设置多种密封结构可以提高本气浮承载设备10的气密性，进而提高气浮承载效果。
49.承上述，参见图4、图5和图6，间隔层200的边缘位置可例如设置有多个第二安装孔250，其中，多个第二安装孔250的第一部分第二安装孔可例如与多个第一安装孔140一一对应设置，多个第一安装孔140与多个第二安装孔250在承载层100上的投影中心可例如位于同一圆周上。多个第一紧固件710可例如穿过多个第一安装孔140并连接在与多个第一安装孔140对应的所述第一部分第二安装孔250内，举例来说，第一紧固件710可例如为螺纹紧固件。这样一来，能够使得承载层100和间隔层200之间的连接更加紧固，以提高气浮承载设备10的紧固强度，进而提高气浮承载设备10的气浮承载效果。
50.参见图8，气路连接层300上设置有与第一主导气管过孔210相对应的第二主导气管过孔310，所述第二主导气管过孔310贯穿所述气路连接层300。所述第一主导气管120依
次贯穿第一主导气管过孔210、第二主导气管过孔310、并延伸至气路连接层300远离所述间隔层200的一侧。此外，气路连接层300还设置有第二主导气管320，第二主导气管320连通所述第二空腔520。多个第二气孔112、多个第一支导气管130、第二主导气管320与第二空腔520可例如形成第二气压通道420。此外，参见图9和图10，气路连接层300的边缘位置可例如设置有多个第三安装孔330，多个第三安装孔330可例如位于所述气路连接层300的边缘位置，多个第三安装孔330可例如与多个第二安装孔250的第二部分第二安装孔一一对应设置。多个第二安装孔250以及多个第三安装孔330在承载层100上的投影中心可例如位于同一圆周上。再者，多个第一安装孔140和多个第三安装孔330在所述承载层100上的投影在圆周上相互间隔且交替排布。多个第二紧固件720可例如穿过多个第三安装孔330并连接在与多个第三安装孔330对应的所述第二部分第二安装孔250内，举例来说，多个第二紧固件720可例如为螺纹紧固件。这样一来，能够使得间隔层200和气路连接层300之间的连接更加紧固，以提高气浮承载设备10的紧固强度，进而提高气浮承载设备10的气浮承载效果。
51.在本实施例的一个具体实施方式中，参见图5和图11，第一气孔111与第二气孔112中可例如分别设置有气压控制螺丝1111和气压控制螺丝1121，用于控制调节第一气孔111和第二气孔112内的压力。具体地，参见图11，第一气孔111和第二气孔112的内壁上分别设置有内螺纹，气压控制螺丝1111和气压控制螺丝1121的外壁上可例如设置有外螺纹，气压控制螺丝1111和气压控制螺丝1121可例如通过外螺纹和内螺纹连接在所述第一气孔111与第二气孔112内。进一步地，气压控制螺丝1111上设置有气压控制孔1112，气压控制孔1112连通所述第一气孔111和所述第一空腔510。气压控制螺丝1121上设置有气压控制孔1122，气压控制孔1122连通所述第二气孔112和所述第二空腔520。可例如通过调节气压控制孔1112和气压控制孔1122的孔径大小来调节第一气孔111和第二气孔112内的压力。
52.在本实施例的一个另具体实施方式中，参见图12和图13，承载层100远离承载面110的一侧上还设置有多个第四安装孔150，间隔层200上可例如设置有与多个第四安装孔150对应的第一紧固件过孔260。多个第三紧固件730分别穿过多个第一紧固件过孔260、并连接在所述多个第四安装孔150中。举例来说，第三紧固件730可例如为紧固螺钉。再参见图13，间隔层200远离所述承载面110的一侧上还可例如设置有多个第五安装孔270，气路连接层300上还设置有与多个第五安装孔270一一对应的多个第二紧固件过孔340。多个第四紧固件740分别穿过多个第二紧固件过孔340、并连接在多个第五安装孔270中。举例来说，第四紧固件740也可例如为紧固螺钉。设置多个第三紧固件730和多个第四紧固件740有利于增加承载装置10的强度，从而提升承载装置10的紧固强度。
53.综上所述，本发明实施例提供的气浮承载设备10通过设置第一气路通道和第二气路通道以用于对待测件进行气浮承载。具体地，本发明实施例设置包含第一气孔和第二气孔的特定气路结构以用于对待测件进行气浮承载，以提高气浮承载设备的承载效果。一方面，本发明实施例设置有多个紧固件对承载层、间隔层、气路连接层之间进行紧固连接，以提高气浮承载设备的紧固强度和气浮承载效果；另一方面，本发明实施例设置有多个密封件用于对气路连接通道进行密封以提高气浮承载设备的气密性，进而提高气浮承载设备的气浮承载效果。此外，本发明实施例还设置不同的内、外圈气压孔的气孔密度以提高气浮承载设备的气浮承载效果；设置合适的第一气孔和第二气孔的孔径大小来以提高气浮承载效果；在第一气孔和第二气孔中设置气压调节螺丝以便于调节第一气孔和第二气孔中的压
力。
54.本实施例的一个具体实施方式中，参见图14，气浮承载设备10可例如还包括翘曲矫正结构800。翘曲矫正结构800用于当待测件出现翘曲情况时，对待测件进行翘曲矫正。简单来说，待测件的翘曲情况可例如包括待测件中部凸起的翘曲情况和待测件中部凹陷的翘曲情况。当待测件出现中部凸起的翘曲情况时，翘曲矫正部件800对待测件的中部凸起部分进行吸附；当待测件出现中部凹陷的翘曲情况时，翘曲矫正部件800对待测件的中部凹陷部分进行送气，从而完成翘曲矫正，使得待测件的表面平整度得以提高，进而提高待测件的检测精度。
55.具体地，参见图3、图4和图8，承载面110的中部可例如设置有第六安装孔113，间隔层200的中部可例如设置有与第六安装孔113相连通、且贯穿间隔层200的第一定位孔280，气路连接层300的中部设置有与第一定位孔280相连通、且贯穿气路连接层300的第二定位孔350。进一步地，参见图15，翘曲矫正结构800可例如包括矫正盘810、导气件820以及气路控制部件830。矫正盘810可例如固定设置在第六安装孔113内、且所述矫正盘810设置有第一矫正气压通道811。导气件820连接在矫正盘810远离承载面110的一侧、且设置于第一定位孔280和第二定位孔350内。导气件820设置有第二矫正气压通道821，第二矫正气压通道821连通第一矫正气压通道811。气路控制部件830设置于气路连接层300远离承载面110的一侧上、且设置有第三矫正气压通道831，第三矫正气压通道831连通第二矫正气压通道821。第一矫正气压通道811、第二矫正气压通道821与第三矫正气压通道831相配合从而使得气浮承载设备10能够对待测件的翘曲情况进行矫正。
56.具体地，参见图16，矫正盘810邻近承载面110的外侧面为圆形，矫正盘810外侧面上设置有多个轴向气孔812，举例来说，多个轴向气孔812用于对待测件的翘曲情况进行矫正。其中，多个轴向气孔812在矫正盘810外侧面上相互间隔设置、且呈圆环形排布。这样一来使得多个轴向气孔812的送气效率或吸附效率相似，从而提高对待测件翘曲情况的矫正效果。矫正盘810上还设置有多个径向气孔813，多个径向气孔813可例如一一对应连通所述多个轴向气孔812。矫正盘810上远离矫正盘810外侧面的一侧中心设置有第一连通孔814，第一连通孔814连通多个径向气孔813和所述第二矫正气压通道821。多个径向气孔813以矫正盘810的轴线为中心均匀分布、且交汇于所述第一连通孔814，多个径向气孔813用于连通多个轴向气孔812和第一连通孔814。多个轴向气孔812、多个径向气孔813和第一连通孔814可例如形成所述第一矫正气压通道811。
57.参见图17，所述导气件820可例如包括连接头822和导气管823，连接头822一端连接在矫正盘810远离承载面110的一侧上，连接头822另一端连接导气管823。具体地，连接头822可例如为圆柱体、且对应设置于第一连通孔814处。连接头822可例如设置有连接孔8221，所述连接孔8221可例如设置于所述连接头822的轴线处、且贯穿所述连接头822并连通至所述导气管823。所述连接孔8221用于连通所述第一矫正气压通道811和所述导气管823，所述连接孔8221和所述导气管823可例如形成第二矫正气压通道821。导气管823可例如为中空柱体，导气管823远离所述连接头822的一端贯穿所述第一定位孔280和第二定位孔350、并连接至所述气路控制部件830。
58.承上述，参见图18，所述气路控制部件830可例如包括：气路连接体832。所述气路连接体832设置在气路连接层300上远离间隔层100的一侧。气路连接体832上设置有第一通
孔8321和第二通孔8322，所述第一通孔8321与第二通孔8322相交连通，其中，导气管823远离所述连接头822的一端贯穿所述第一定位孔280和第二定位孔350、并延伸入所述第一通孔8321中，从而连接至所述气路控制部件830。所述第一通孔8321可例如贯穿所述气路连接体832，第一通孔8321远离所述导气管823的一端与外部气源相连通。第一通孔8321和第二通孔8322可例如形成第三矫正气压通道831，导气管823远离所述连接头822的一端延伸入所述第一通孔8321中并连通所述第三矫正气压通道831，即第一矫正气压通道811可例如通过第二矫正气压通道821连通所述第三矫正气压通道831。
59.进一步地，参见图19，所述气路控制部件830可例如还包括第三连接管833和转换阀门834。第三连接管833的一端可例如连接入所述第二通孔8322中，具体地，第三连接管833可例如为弯头连接部件。转换阀门834可例如设置在所述第三连接管833远离所述第二通孔8322的一端，所述转换阀门834可例如通过第三连接管833连通所述第二通孔8322，即转换阀门834可例如通过第三连接管833连通所述第三矫正气压通道831。此外，所述转换阀门834远离所述第三连接管833的一端还可例如连接正压气源或负压气源。转换阀门834可用于转换第三矫正气压通道831连通正压气源或负压气源，从而矫正盘810上的多个轴向气孔812得以进行送气或吸附，进而使得气浮承载设备10能够实现对待测件的翘曲情况进行翘曲矫正。
60.承上述，再参见图18，气路连接体832可例如设置有第一气路接入通道8323和第二气路接入通道8326。其中，第一气路接入通道8323可例如与所述第二主导气管过孔310相对应设置，第一气路接入通道8323可例如连通所述第一主导气管120。具体地，第一气路接入通道8323包括第一纵向接入孔8324和第一横向接入孔8325，第一纵向接入孔8324连通所述第一横向接入孔8325和第一主导气管120，第一横向接入孔8325可例如连通至外部正压气源。承上述，第二气路接入通道8326可例如与所述第二主导气管320相对应设置，第二气路接入通道8326可例如连通第二主导气管320。具体地，第二气路接入通道8326包括第二纵向接入孔8327和第二横向接入孔8328，所述第二纵向接入孔8327连通所述第二横向接入孔8328和第二主导气管320，第二横向接入孔8328可例如连通至外部负压气源。
61.再者，参见图19，气路控制部件830可例如包括第一连接管835和第二连接管836。第一连接管835一端可例如连通所述第一气路接入通道8323，第一连接管835另一端可例如连通外部正压气源。具体地，第一连接管835一端可例如连通所述第一横向接入孔8325，第一主导气管120可例如通过第一纵向接入孔8324连通所述第一连接管835。第二连接管836一端可例如连通所述第二气路接入通道8326，第二连接管836另一端可例如连通外部负压气源。具体地，第二连接管836一端可例如连通所述第二横向接入孔8328，第二主导气管320可例如通过第二纵向接入孔8327连通所述第二连接管836。
62.在本实施例的一个具体实施方法中，参见图18，所述气路控制部件830还可例如包括第-压力调节阀837和第二压力调节阀838。第一压力调节阀837连通所述第一纵向接入孔8324用于控制第一气压通道410中的压力，第二压力调节阀838连通所述第二纵向接入孔8327用于控制第二气压通道420中的压力。
63.综上所述，本发明实施例提供的气浮承载设备10通过设置第一气路通道和第二气路通道以用于对待测件进行气浮承载。一方面，本发明实施例设置有多个紧固件对承载层、间隔层、气路连接层之间进行紧固连接，以提高气浮承载设备的紧固强度和气浮承载效果；
另一方面，本发明实施例设置有多个密封件用于对气路连接通道进行密封以提高气浮承载设备的气密性，进而提高气浮承载设备的气浮承载效果。再者，本发明实施例设置有翘曲矫正结构用于对待测件的翘曲情况进行矫正，以提高待测件的表面平整度，进而提高本气浮承载设备对待测件的气浮承载效果。此外，本发明实施例还设置不同的内、外圈气压孔的气孔密度以提高气浮承载设备的气浮承载效果；设置合适的第一气孔和第二气孔的孔径大小来以提高气浮承载效果；在第一气孔和第二气孔中设置气压调节螺丝以便于调节第一气孔和第二气孔中的压力。
64.可以理解的是，前述各个实施例仅为本发明的示例性说明，在技术特征不冲突、结构不矛盾、不违背本发明的发明目的前提下，各个实施例的技术方案可以任意组合、搭配使用。
65.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。