一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的制作方法

1.本发明涉及探针夹具技术领域，尤其涉及一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。


背景技术：

2.近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7奈米以下挺进。产品讲求轻薄短小，ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等,上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。
3.测试探针在生产加工的过程中，需要对其进行打磨抛光，使得探针更加纤细光滑，但探针结构较小，因此工作人员手持抛光不便，同时无法进行不同程度的打磨抛光效果，使得抛光效果不佳，导致产品的光滑程度不够完善，进而使得成品率降低，为此，我们提出一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，来解决以上问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。
5.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
6.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括：
7.底座，所述底座的顶部开设有用于设备移动的滑槽；
8.移动夹持装置，所述移动夹持装置设置在所述底座的顶部，所述移动夹持装置用于夹持探针并使其转动前进；
9.抛光夹持装置，所述抛光夹持装置设置在所述底座远离所述移动夹持装置的一侧，所述抛光夹持装置用于夹持探针并进行抛光；
10.喷洒装置，所述喷洒装置设置在所述抛光夹持装置上，所述喷洒装置用于对探针侧壁进行清洗。
11.优选地，所述移动夹持装置包括活动设置在所述滑槽内侧壁上的移动支架，所述移动支架可在所述滑槽的内侧壁上滑动，所述移动支架的内侧壁上开设连接槽，所述移动支架的内侧壁上活动设置有转动夹管，所述转动夹管可在所述移动支架的内侧壁上转动，所述转动夹管的侧壁上设置有夹持组件，底座上设置有传动组件。
12.优选地，所述抛光夹持装置包括固定设置在底座远离所述移动支架一侧的打磨支架，所述打磨支架的顶部固定设置有打磨夹管，所述打磨夹管的内侧壁上固定设置有弹力磨块，所述底座位于所述打磨支架的中部固定设置有升降管，所述升降管的顶部固定设置有升降板，所述升降板的底部固定设置有升降弹簧，所述升降弹簧的底部与所述升降管的
底部相抵紧，所述升降板的顶部固定设置有推杆，所述推杆贯穿所述升降管的侧壁，所述推杆的顶部固定设置有水箱，所述水箱的顶部固定设置有连接板，所述连接板的侧壁上固定设置有电机，所述连接板的内侧壁上活动设置有转动磨辊，所述电机的输出端贯穿连接板与所述转动磨辊固定连接，所述所述转动磨辊远离电机的一侧固定设置有螺纹杆，所螺纹杆贯穿所述连接板的侧壁。
13.优选地，所述喷洒装置包括固定设置在所述水箱顶部的挤压箱，所述挤压箱的内侧壁上活动设置有挤压板，所述挤压板的顶部固定设置有挤压杆，所述挤压杆贯穿所述挤压箱的顶部，所述挤压杆的顶部固定设置有受力板，所述挤压杆延伸出所述挤压箱的一段外侧壁上套设有回复弹簧，所述挤压箱的底部固定设置有单向进液管，所述单向进液管延伸至所述水箱的内部，所述挤压箱的侧壁上固定设置有单向喷洒管，所述单向喷洒管远离挤压箱的一端延伸至所述打磨夹管的侧壁。
14.优选地，所述夹持组件包括螺纹连接在所述转动夹管侧壁上的螺栓，所述螺栓延伸至所述转动夹管的内部，所述螺栓位于所述转动夹管内部的一端与活动设置有抵紧板，所述抵紧板远离所述螺栓的一侧固定设置有抵紧垫。
15.优选地，所述传动组件包括固定设置在所述底座上的固定板，所述固定板的侧壁上固定设置有带动丝杆，所述带动丝杆贯穿所述移动支架的侧壁，所述移动支架可在所述带动丝杆的外侧壁上滑动，所述移动支架的侧壁上活动设置有转动环，所述转动环可在所述移动支架上转动，所述转动环套设在所述带动丝杆的外圈，所述转动环的内侧壁上固定设置有转动滑杆，所述转动滑杆远离所述转动环的一端延伸至所述带动丝杆侧壁上的螺纹槽内部，所述转动滑杆的端部与所述带动丝杆侧壁上的螺纹槽相适配。
16.优选地，所述螺纹杆远离所述转动磨辊的一端与所述连接槽的侧壁螺纹连接，所述连接槽为椭型槽。
17.优选地，所述螺纹杆靠近所述连接板的一端侧壁上固定设置有椭轮，所述椭轮与所述受力板的顶部相抵紧。
18.优选地，所述回复弹簧的顶部与所述受力板的底部相抵紧，所述回复弹簧的底部与所述挤压箱的顶部相抵紧。
19.优选地，所述转动环的外侧壁上套设有传送带，所述传送带远离所述转动环的一端套设在所述转动夹管的外侧壁上。
20.相比现有技术，本发明的有益效果为：
21.1、本发明中，通过移动夹持装置以及抛光夹持装置之间的配合使用，实现将探针夹持固定后，转动磨辊带动螺纹杆转动，使得移动支架移动，通过设置的传动组件，即可使得探针在前进的过程中转动，进入转动磨辊内部后，将会受到转动磨辊的挤压力，同时受到弹力磨块的挤压，在转动磨辊的主动打磨以及弹力磨块的被动摩擦效果下，对探针进行均匀打磨抛光,抛光过程中，无需工作人员进行操作，使用方便，有效的提高了探针抛光的效率，使得产品的光滑程度更高，提高成品率。
22.2、本发明中，通过抛光夹持装置以及喷洒装置之间的配合使用，实现在螺纹杆转动时，使得椭轮转动，在于回复弹簧的配合下，使得受力板往复上下，使得挤压箱的内部往复抽吸，使得水液通过单向喷洒管喷洒在打磨探针的外壁，对探针进行清理，使得打磨更方便，有效提高打磨效率，使得探针的清洁度更高，增强设备的功能性；
23.3、本发明中，通过喷洒水液过程中，水箱内部的水液变化，控制转动磨辊的抵紧程度，当初次使用时，水箱的重力较大，将会使得转动磨辊进行浅层接触打磨抛光，当探针受打磨后，将会变得更细，此时水箱的重力也会降低，在升降弹簧的弹力作用下，将会使得转动磨辊向上抵紧，进行深度打磨，使得转动磨辊可时刻紧贴探针侧壁，进行多重深度紧贴抛光，使得打磨程度无需人工进行调取，避免初始工作进行过度打磨，对探针造成伤害，防止后续打磨程度不足，导致抛光效果不佳，有效的提高了设备打磨的功能性，对探针打磨质量进行有效保障。
附图说明
24.图1为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构示意图；
25.图2为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构侧视图；
26.图3为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构背面展示图；
27.图4为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构俯视图；
28.图5为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构剖视图；
29.图6为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具a的结构放大图；
30.图7为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具b的结构放大图；
31.图8为本发明提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具c的结构放大图。
32.图中：1、底座；2、滑槽；3、移动支架；4、连接槽；5、转动夹管；6、螺栓；7、抵紧板；8、抵紧垫；9、固定板；10、带动丝杆；11、转动环；12、转动滑杆；13、传送带；14、打磨支架；15、打磨夹管；16、弹力磨块；17、升降管；18、升降板；19、升降弹簧；20、推杆；21、水箱；22、连接板；23、电机；24、转动磨辊；25、螺纹杆；26、单向喷洒管；27、椭轮；28、挤压箱；29、挤压板；30、挤压杆；31、回复弹簧；32、受力板；33、单向进液管。
具体实施方式
33.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
34.参照图1-8，一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括：
35.底座1，底座1的顶部开设有用于设备移动的滑槽2；
36.移动夹持装置，移动夹持装置设置在底座1的顶部，移动夹持装置可调节地设置于底座，移动夹持装置用于夹持探针并使其转动前进；移动夹持装置包括活动设置在滑槽2内侧壁上的移动支架3，移动支架3可在滑槽2的内侧壁上滑动，移动支架3的内侧壁上开设连接槽4，移动支架3的内侧壁上活动设置有转动夹管5，转动夹管5可在移动支架3的内侧壁上转动，转动夹管5的侧壁上设置有夹持组件，夹持组件包括螺纹连接在转动夹管5侧壁上的螺栓6，螺栓6延伸至转动夹管5的内部，螺栓6位于转动夹管5内部的一端与活动设置有抵紧板7，抵紧板7远离螺栓6的一侧固定设置有抵紧垫8；
37.将需要进行打磨抛光的探针一端穿过转动夹管5的内部，此时转动螺栓6，使得螺栓6推动抵紧板7相转动夹管5的内部移动，进而使得抵紧板7通过抵紧垫8将探针进行固定；
38.底座1上设置有传动组件，传动组件包括固定设置在底座1上的固定板9，固定板9
的侧壁上固定设置有带动丝杆10，带动丝杆10贯穿移动支架3的侧壁，移动支架3可在带动丝杆10的外侧壁上滑动，移动支架3的侧壁上活动设置有转动环11，转动环11的外侧壁上套设有传送带13，传送带13远离转动环11的一端套设在转动夹管5的外侧壁上，转动环11可在移动支架3上转动，转动环11套设在带动丝杆10的外圈，转动环11的内侧壁上固定设置有转动滑杆12，转动滑杆12远离转动环11的一端延伸至带动丝杆10侧壁上的螺纹槽内部，转动滑杆12的端部与带动丝杆10侧壁上的螺纹槽相适配；
39.抛光夹持装置，抛光夹持装置设置在底座1远离移动夹持装置的一侧，抛光夹持装置用于夹持探针并进行抛光；抛光夹持装置包括固定设置在底座1远离移动支架3一侧的打磨支架14，打磨支架14的顶部固定设置有打磨夹管15，打磨夹管15的内侧壁上固定设置有弹力磨块16，底座1位于打磨支架14的中部固定设置有升降管17，升降管17的顶部固定设置有升降板18，升降板18的底部固定设置有升降弹簧19，升降弹簧19的底部与升降管17的底部相抵紧，升降板18的顶部固定设置有推杆20，推杆20贯穿升降管17的侧壁，推杆20的顶部固定设置有水箱21，水箱21的顶部固定设置有连接板22，连接板22的侧壁上固定设置有电机23，连接板22的内侧壁上活动设置有转动磨辊24，电机23的输出端贯穿连接板22与转动磨辊24固定连接，转动磨辊24远离电机23的一侧固定设置有螺纹杆25，所螺纹杆25贯穿连接板22的侧壁，螺纹杆25远离转动磨辊24的一端与连接槽4的侧壁螺纹连接，连接槽4为椭型槽；
40.通过移动夹持装置以及抛光夹持装置之间的配合使用，实现将探针夹持固定后，转动磨辊24带动螺纹杆25转动，使得移动支架3移动，通过设置的传动组件，即可使得探针在前进的过程中转动，进入转动磨辊24内部后，将会受到转动磨辊24的挤压力，同时受到弹力磨块16的挤压，在转动磨辊24的主动打磨以及弹力磨块16的被动摩擦效果下，对探针进行均匀打磨抛光,抛光过程中，无需工作人员进行操作，使用方便，有效的提高了探针抛光的效率，使得产品的光滑程度更高，提高成品率；
41.喷洒装置，喷洒装置设置在抛光夹持装置上，喷洒装置用于对探针侧壁进行清洗；喷洒装置包括固定设置在水箱21顶部的挤压箱28，挤压箱28的内侧壁上活动设置有挤压板29，挤压板29的顶部固定设置有挤压杆30，挤压杆30贯穿挤压箱28的顶部，挤压杆30的顶部固定设置有受力板32，螺纹杆25靠近连接板22的一端侧壁上固定设置有椭轮27，椭轮27与受力板32的顶部相抵紧，挤压杆30延伸出挤压箱28的一段外侧壁上套设有回复弹簧31，回复弹簧31的顶部与受力板32的底部相抵紧，回复弹簧31的底部与挤压箱28的顶部相抵紧，挤压箱28的底部固定设置有单向进液管33，单向进液管33延伸至水箱21的内部，挤压箱28的侧壁上固定设置有单向喷洒管26，单向喷洒管26远离挤压箱28的一端延伸至打磨夹管15的侧壁
42.通过抛光夹持装置以及喷洒装置之间的配合使用，实现在螺纹杆25转动时，使得椭轮27转动，在于回复弹簧31的配合下，使得受力板32往复上下，使得挤压箱28的内部往复抽吸，使得水液通过单向喷洒管26喷洒在打磨探针的外壁，对探针进行清理，使得打磨更方便，有效提高打磨效率，使得探针的清洁度更高，增强设备的功能性；
43.通过喷洒水液过程中，水箱21内部的水液变化，控制转动磨辊24的抵紧程度，当初次使用时，水箱21的重力较大，将会使得转动磨辊24进行浅层接触打磨抛光，当探针受打磨后，将会变得更细，此时水箱21的重力也会降低，在升降弹簧19的弹力作用下，将会使得转
动磨辊24向上抵紧，进行深度打磨，使得转动磨辊24可时刻紧贴探针侧壁，进行多重深度紧贴抛光，使得打磨程度无需人工进行调取，避免初始工作进行过度打磨，对探针造成伤害，防止后续打磨程度不足，导致抛光效果不佳，有效的提高了设备打磨的功能性，对探针打磨质量进行有效保障。
44.本发明中，使用时，将需要进行打磨抛光的探针一端穿过转动夹管5的内部，此时转动螺栓6，使得螺栓6推动抵紧板7相转动夹管5的内部移动，进而使得抵紧板7通过抵紧垫8将探针进行固定；
45.此时启动电机23，电机23转动时，即可使得转动磨辊24转动，同时使得螺纹杆25转动，螺纹杆25转动时，即可使得移动支架3在连接槽4的设置下，移动支架3进行移动，使得探针向打磨夹管15内部移动，移动支架3移动时，将会使得转动环11同步移动，转动环11移动时，将会使得转动滑杆12沿带动丝杆10的侧壁滑动，进而使得转动环11转动，转动环11转动时，即可使得传送带13带动转动夹管5转动，进而使得夹持下的探针转动，当探针进入打磨夹管15的内部时，将会受到转动磨辊24的挤压力，同时受到弹力磨块16的挤压，此时转动磨辊24将会抵紧探针，对其进行打磨抛光，探针在前进打磨的过程中，将会旋转，在转动磨辊24的主动打磨以及弹力磨块16的被动摩擦效果下，对探针进行均匀打磨抛光；
46.螺纹杆25转动时，将会使得椭轮27转动，椭轮27转动时，即可使得椭轮27往复下压受力板32，在于回复弹簧31的配合下，使得受力板32往复上下，受力板32上升时，将会使得挤压杆30向上拉动挤压板29，使得挤压箱28的内部产生负压，通过单向进液管33向挤压箱28内部吸水，当受力板32下降时，将会推动挤压板29下降，挤压板29下降时，即可使得挤压箱28内部的水液通过单向喷洒管26喷洒在打磨探针的外壁，对探针进行清理，同时，提高打磨效率；
47.当打磨位置穿过打磨夹管15时，此时电机23将会反向转动，使得探针回复，实现往复打磨抛光，在打磨一段时间后，探针将会变细，转动磨辊24的打磨效率将会下降，此时通过水箱21内部的水量减少时，升降板18将会在升降弹簧19的弹力作用下向上升，通过推杆20将水箱21上推，进而使得转动磨辊24上升，进行深度打磨，使得转动磨辊24可时刻紧贴探针侧壁，进行多重深度紧贴抛光；
48.需要更换探针时，用移动夹持装置夹持探针回复初始位置，并通过解除夹持组件即可进行更换，当移动支架3再次回复初始位置时，此时即可关闭电机23，反向转动螺栓6，将探针取下。
49.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
50.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
51.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，
任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。