漏液检测装置及检测系统的制作方法

1.本技术涉及检测领域，尤其涉及一种漏液检测装置及检测系统。


背景技术：

2.随着科学技术的发展，尤其是在半导体领域、显示面板领域、光伏等相关领域，在产品的制造工艺中经常使用到湿法设备，在使用湿法设备的过程中，设备异常往往会给产品生产造成较大影响。
3.然而，现有技术中的设备异常检查技术存在一定的缺陷。


技术实现要素：

4.鉴于上述至少一个技术问题，本技术实施例提供一种漏液检测装置，可以快速、有效的检测设备生产过程中的缺陷。
5.为了实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：
6.本技术实施例的第一方面提供一种设置在底板上的漏液检测装置，包括基底、漏液储液槽和支撑柱；保护罩，保护罩与支撑柱固定连接；传感器，保护罩遮盖传感器其中，保护罩在底板上的投影面积完全覆盖传感器。
7.本技术实施例提供的漏液检测装置，漏液检测装置包括基底、漏液储液槽和支撑柱，当检测系统发生异常，有液体流出的时候，漏液储槽用于储存一定的漏液，达到一定的漏液量，则启动报警系统，如果不是漏液，是偶然性的液体飞溅，则不会启动报警系统，避免传感器发生误判。保护罩，保护罩与支撑柱连接以形成保护空间，传感器设置在保护罩与支撑柱形成的保护空间内，即，保护罩遮盖传感器。该保护空间内设置传感器，能够避免漏液对传感器的破坏。保护罩在底板上的投影面积完全覆盖传感器。保护罩在底板上的投影面积完全覆盖传感器，能够完全保护传感器不因漏液腐蚀而被破坏。这样，传感器能够对漏液快速、高效的做出检测。
8.在一种可能的实现方式中，保护罩通过支撑柱与基底固定连接，保护罩表面用于使得漏液流入漏液储液槽。
9.这样，漏液通过保护罩流入储液槽且传感器设置在保护罩下方，不仅能够避免漏液流入到其它地方，同时还能避免漏液腐蚀传感器。而且，漏液储液槽只有达到一定的储存量才会启动报警系统，避免因为偶然飞溅就启动报警系统的误判事件。
10.在一种可能的实现方式中，保护罩从其几何中心到边缘逐渐向下倾斜。
11.这样，保护罩提供了一个倾斜表面，漏液能够更好的沿着倾斜表面流入到漏液储液槽中。倾斜表面能够使得漏出的液体沿着表面迅速流入，如有漏液事故发生，提供了报警系统的灵敏性。
12.在一种可能的实现方式中，保护罩上设置有通气管。
13.进一步的，通气管设置在保护罩的几何中心位置。
14.这样，通过通气管进入的气体能够均匀的分散到漏液检测装置周围，进而便于通
过气体对周围环境进行干燥处理。
15.在一种可能的实现方式中，保护罩呈圆锥面，通气管设置在圆锥面的顶点处。
16.这样，通气孔可以根据需要通入干燥气体以对漏液检测装置起到干燥作用，防止漏液检测装置的灵敏度降低或者失灵。
17.在一种可能的实现方式中，保护罩在底板上的正投影边界线位于漏液储液槽内。
18.这样，漏液能够沿着保护罩完全进入到漏液储液槽，从而能够实现漏液的全部收集，保持传感器的判断是精确的。
19.在一种可能的实现方式中，漏液储液槽是环状。
20.这样，能够实现对漏液全方位的收集。
21.在一种可能的实现方式中，保护罩材质是铁氟龙或钛。
22.这样，保护罩具有较强的抗腐蚀性质，能够更好的保护传感器。
23.本技术实施例的第二方面提供一种检测系统，包括上述第一方面中的漏液检测装置。本技术实施例提供的一种检测系统，检测系统包括设置在底板上的漏液检测装置，漏液检测装置包括基底、漏液储液槽和支撑柱，当检测系统发生异常，有液体流出的时候，漏液储槽用于储存一定的漏液，达到一定的漏液量，则启动报警系统，如果不是漏液，是偶然性的液体飞溅，则不会启动报警系统，避免传感器发生误判。保护罩，保护罩与支撑柱连接以形成保护空间，传感器设置在保护罩与支撑柱形成的保护空间内。该保护空间内设置传感器，能够避免漏液对传感器的破坏。保护罩在底板上的投影面积完全覆盖传感器，能够完全保护传感器不因漏液腐蚀而被破坏。这样，传感器能够对漏液快速、高效的做出检测。
24.本技术的构造以及其它发明目的及有益技术效果将通过结合附图而对优选实施例的描述而更加明显易懂。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例的示意图，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
26.图1本技术一实施例的检测系统示意图。
27.图2本技术一实施例中的漏液检测装置示意图。
具体实施方式
28.相关现有技术中，在半导体领域、显示面板领域、光伏等相关领域，在产品的制造工艺中经常使用到湿法设备，湿法设备的检测系统中往往会安装漏液传感器，漏液传感器一般安装在湿法设备的下方，用于对检测系统中的漏液进行检测并发出警报。
29.然后，由于漏液传感器安装在检测系统的下方，通常在检测系统正常运行过程中，飞溅出液体，漏液传感器会误以为发生了漏液而产生错误警报；而且，漏液传感器长时间被漏液接触，漏液传感器会发生失灵，需要频繁更换且更换拆卸繁琐。
30.基于上述的至少一个技术问题，本技术实施例提供一种漏液检测装置及检测系统。漏液检测装置包括基底、漏液储液槽和支撑柱，当检测系统发生异常，有液体流出的时
候，漏液储槽用于储存一定的漏液，达到一定的漏液量，则启动报警系统，如果不是漏液，是偶然性的液体飞溅，则不会启动报警系统，避免传感器发生误判。保护罩，保护罩与支撑柱连接以形成保护空间，传感器设置在保护罩与支撑柱形成的保护空间内。该保护空间内设置传感器，能够避免漏液对传感器的破坏。保护罩在底板上的投影面积完全覆盖传感器，能够完全保护传感器不因漏液腐蚀而被破坏。这样，传感器能够对漏液快速、高效的做出检测。
31.为使本技术实施例的目的，技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述实施例的附图，对于本技术一部分实施例，而不是全部实施例。基于对本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
32.以下将结合本图1-图2对本技术实施例提供的检测系统和漏液检测装置进行说明。
33.本实施例提供一种检测系统，该检测系统包括漏液检测装置和检测设备，检测设备可以是清洗机、显影机、刻蚀机等。
34.参考图1，本技术实施提供一种漏液检测系统包括底板1、若干漏液检测装置2和检测设备3，若干漏液检测装置2设置在检测设备3周围。其中，检测设备3包括用于存储液体和部分和数据处理部分以及其它相关部分，本部分是常规技术，此处不再赘述。
35.以下对本技术实施例提供的漏液检测装置2进行说明。
36.本实施例提供一种漏液检测装置2，该漏液检测装置可用于上述检测系统。
37.如图2所示，漏液检测装置包括基底20，包括保护罩21，保护罩21与基底20连接以形成保护空间，传感器22设置在保护罩21与基底20形成的保护空间内。该保护空间内设置传感器22，能够避免漏液对传感器的破坏。结合图1，保护罩21在底板1上的投影面积完全覆盖传感器22。保护罩21在底板1上的正投影面积完全覆盖传感器22，能够完全保护传感器22不因漏液腐蚀而被破坏。这样，传感器能够对漏液快速、高效的做出检测。
38.进一步的，如图2所述，漏液检测装置2进一步包括支撑柱23和漏液储液槽24，保护罩21通过支撑柱23与基底20固定连接，保护罩21用于提供漏液流入漏液储液槽24。
39.当检测系统发生异常，有液体流出的时候，漏液储槽24用于储存一定的漏液，达到一定的漏液量，则启动报警系统，如果不是漏液，是偶然性的液体飞溅，则不会启动报警系统，避免传感器发生误判。同时，传感器22设置在保护罩21和支撑柱23形成的保护空间内，避免漏液对传感器造成腐蚀，能够对传感器起到一定的保护作用。
40.以下对保护罩21的形态进行说明。
41.本技术实施例提供的保护罩21，一方面能够对传感器22起到保护作用，避免传感器被腐蚀；另一方面，保护罩21需要对漏液提供一个表面，使得漏液能够沿着表面迅速流入到漏液储液槽24中，这样，一旦发生漏液，漏液储液槽能够对漏液进行快速的收集，一旦达到预警的量，则发生报警。如果，是偶然的飞溅或者环境潮湿，由于漏液储存液24未收集到一定的液体，则不会发生报警，因而，不会产生错误报警。
42.如图2所示，保护罩21从其几何中心到边缘逐渐向下倾斜。示例性的，可以是棱锥面、圆锥面、椭球面都可以。
43.这样，由于保护罩21从其几何中心到边缘逐渐向下倾斜，一旦有漏液，保护罩21一
方面能够保护传感器22不被腐蚀，另一方面，能够使得漏液沿着保护罩流入漏液储液槽中。
44.继续参考图2，所述保护罩21上设置有通气管25。示例性的，通入的气体可以是干燥的空气。
45.需要说明的是，通气管25可以通过漏液装置的程序控制，在漏液装置环境比较湿润的时候，通过程序控制通入干燥气体进行干燥；当然，也可在漏液事故处理后，对漏液装置进行干燥。
46.在其中一个实施例中，为了保证干燥的均一性，通气管25设置在所述保护罩21的几何中心。
47.这样，通气管的干燥气体能够均匀的进入到漏液装置周围。
48.示例性，保护罩21呈圆锥面时，通气管25设置在保护罩21的顶点处。
49.继续参考图1和图2，在其中一个实施例中，保护罩21在底板上1的正投影边界线位于漏液储液槽24内。
50.这样，如果发生漏液，漏液储液槽能够迅速收集漏液，达到一定的预设量，启动报警系统，如果是偶尔性的飞溅或者环境潮湿，则漏液储液量比较少，不启动报警系统，以此能够避免发生误判。
51.进一步的，漏液储液槽24为环状。
52.在本技术实施例中，保护罩材质是铁氟龙或者钛。
53.这样，保护罩具有较强的抗腐蚀能力，减少保护罩更换频率。
54.本技术提供一种检测系统，包括如上所述的漏液检测装置和检测装置，其中漏液检测装置和检测装置电器连接。
55.最后应说明的是：以上各实施例仅用于说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解；其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改或者替换，或者对其中部分或者全部特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应的技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。