送方向传输、至检查系统的采集成像区域时，启动系统发射扫描光束、对玻璃基板3扫描、线阵相机同步照相采样并将数据传送到工控机；
b、工控机5中的管理软件对取像结果进行分析对比，发现玻璃基板3中有缺陷1，借助设计好的分析程序得出缺陷I所处玻璃基板3的厚度中高度位置，缺陷的大小和其它相关数据；
C、调取存储在工控机中的经验数据进行比对，判断产品是否合格，记录缺陷的位置，判定基板的等级。
[0021]步骤a中线阵相机分别从玻璃基板3的上方和下方取像，取像时玻璃基板3 —直沿传送方向输送。
[0022]步骤b中工控机5中的管理软件中包括图形分析软件，从成像数据的分析中得出相关的缺陷数据、包括缺陷的几何尺寸、体积范围、所处高度。
[0023]所述缺陷的所处高度采用以下经验公式进行处理:h=vt+T/2，公式中h是缺陷在玻璃基板3的高度位置，V是玻璃基板3的传送速度，t是对缺陷取像的时间差，T是玻璃基板3的厚度。
[0024]本发明在具体实施时:本发明通过设计检查系统，利用光源发射装置A、光源发射装置B在玻璃基板3的传送方向上呈45° (也可以为其他角度)照射，两套取像装置的线阵相机及其镜头2、4分别布置在玻璃基板3上、下两个位置对称放置(与光源发射装置B、光源发射装置A分别形成两个明场照明)。
[0025]实施例一:参看附图1，假如玻璃基板3上存在缺陷I且处于玻璃基板3厚度方面的上半部分，上、下对称配制的取像装置不能同时对缺陷I进行取像。根据光学成像及几何原理的公知常识，在玻璃基板3上的缺陷运动到1-1的位置时，镜头4先行对缺陷I进行取像，即缺陷1-1的像。当玻璃基板3继续行进至1-2的位置时，镜头2对缺陷I进行取像，即缺陷1-2的像。根据几何关系，有等式:vt+S-d=S+d,即vt=2d, (v:玻璃基板3的传送速度，t:缺陷取像的时间差，S:相机的镜头取像中点距玻璃基板3厚度中心线的垂直距离，d:缺陷中心距玻璃基板3厚度中心线的垂直距离)。通过上述等式可得:h=d+T/2= (vt+T)/2(T:玻璃基板3的厚度)，可以准确的计算出每个缺陷在玻璃基板3厚度方向的高度位置。
[0026]实施例二:参看附图2，假如玻璃基板3上存在缺陷I并在玻璃基板3厚度的中间部位，玻璃基板3运动到相机镜头2、4的取像位置时，两台相机的镜头对同一位置进行同时扫描取像，这时两台相机的镜头2、4的取像结果的缺陷应该是大小、明暗完全相同。缺陷I处于玻璃基板3厚度方向的中间高度位置:即h=T/2，(h:距上表面距离；T:玻璃基板3的厚度)。
[0027]上述实施例中缺陷I均假设为长方形形状，也可以为其他形状。
【主权项】
1.玻璃基板内部缺陷检查系统，包括处在传送装置上的玻璃基板(3)，其特征在于:还包括对称设置在玻璃基板(3)上下两侧的光源发射装置(A，B)、与光源发射装置(A，B)配套的采集成像装置及与采集成像装置相连接的装有控制管理程序的工控机(5)。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板内部缺陷检查系统，其特征在于:所述光源发射装置(A，B)为激光光源或LED聚光光源，所述光源发射装置(A，B)的光线发射方向与玻璃基板(3)平面夹角α不大于45°。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板内部缺检查系统，其特征在于:所述采集成像装置采用线阵相机，线阵相机的镜头(2，4)的光轴与玻璃基板(3)的平面夹角与夹角α适配。
4.一种基于权利要求1所述的检查系统、对玻璃基板内部缺陷所处高度位置的检查方法，其特征在于:包括以下步骤: a、玻璃基板(3)沿传送方向传输、至检查系统的采集成像区域时，启动系统发射扫描光束、对玻璃基板(3)扫描、线阵相机同步照相采样并将数据传送到工控机； b、工控机(5)中的管理软件对取像结果进行分析对比，发现玻璃基板(3)中有缺陷(1)，借助设计好的分析程序得出缺陷(I)所处玻璃基板(3)的厚度中高度位置，缺陷的大小和其它相关数据； C、调取存储在工控机中的经验数据进行比对，判断产品是否合格，记录缺陷的位置，判定基板的等级。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板内部缺陷所处高度位置的检查方法，其特征在于:步骤a中线阵相机分别从玻璃基板(3)的上方和下方取像，取像时玻璃基板(3)—直沿传送方向输送。
6.根据权利要求4所述的玻璃基板内部缺陷检查方法，其特征在于:步骤b中工控机(5)中的管理软件中包括图形分析软件，从成像数据的分析中得出相关的缺陷数据、包括缺陷的几何尺寸、体积范围、所处高度。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板内部缺陷所处高度位置的检查方法，其特征在于:所述缺陷的所处高度采用以下经验公式进行处理:h= (vt+T)/2，公式中h是缺陷在玻璃基板(3)的高度位置，V是玻璃基板(3)的传送速度，t是对缺陷取像的时间差，T是玻璃基板(3)的厚度。
【专利摘要】玻璃基板内部缺陷检查系统，解决现有技术中检验玻璃基板的内部缺陷所处玻璃基板高度位置效率低、成本高的技术问题，采用的技术方案是：包括处在传送装置上的玻璃基板，还包括对称设置在玻璃基板上下两侧的光源发射装置、与光源发射装置配套的采集成像装置及与采集成像装置相连接的装有控制管理程序的工控机。本发明还提供了一种玻璃基板内部缺陷所处高度位置的检查方法，采用本发明不仅提高了玻璃基板检查的自动化程度，同时进一步降低了成本、提高了产能。
【IPC分类】G01N21-01, G01N21-89
【公开号】CN104655646
【申请号】CN201410167268
【发明人】王建鑫, 李 杰, 周波, 王丽红
【申请人】东旭集团有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年4月24日