基于手套箱的真空紫外光源测试系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于紫外光源测试技术领域，具体涉及一种基于手套箱的真空紫外光源测 试系统。
【背景技术】
[0002] 在当前的生产、生活中，紫外灯在众多领域发挥着重要的作用。紫外线的光生物效 应可用于灭菌，细菌受到紫外线照射后，引起DNA链的断裂，致使细菌死亡。紫外线灭菌用 于空气、水、各类饮料、实验室、车间和医院等许多场合。紫外线对人体保健也有很广范围的 应用，适量的紫外照射对人体内脏和免疫系统有良好的影响，但过量的紫外线会造成皮肤 红斑等皮肤疾病。目前已发展的紫外线物理疗法可以治疗牛皮癣和佝偻病，消除炎症。紫 外线的荧光效应可用于无机元素和有机物质的化学分析，食品卫生中的微量元素和有害物 质的检测，工业生产中产品质量的监测，矿床探测中的样品分析。紫外线的光化效应可用于 复印、油墨固化、半导体芯片的光刻技术、高分子老化试验和同位素分离等。大功率紫外光 源可以在有限的体积内产生紫外辐射通量，设备紧凑，使用成本较低。国外已有各类紫外光 源的产品，在城市饮用水、给排水和空气杀菌领域已有大规模应用。
[0003] 为了测试各类紫外光源的紫外辐射效率，1971年Keitz提出由辐照度计算辐射 通量的公式(Keitz H A E. Light Calculations and measurements [M]· London, UK: Macmillan and Co Ltd, 1971.)
【主权项】
1. 基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：包括高低温恒温手套箱、灯架 和紫外辐射测试设备，其中： 所述手套箱具有一个观察窗，用于观测手套箱内的操作状态，其外侧装有可开合的挡 光设施，正常实验测试时用于遮挡手套箱外部的光线，避免杂散光干扰导致的测量误差；同 时设有若干个辐射测试窗口，也作为观测窗；手套箱其余内表面进行黑化处理； 所述紫外辐射测试设备包括若干紫外辐照度计、光谱仪、单色仪，用于测量紫外辐射； 所述灯架位于手套箱内，是固定式或者是旋转式，灯架的高度可以调节。
2. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的 观测窗材料根据待测波段确定，测量波长200 nm以下的真空紫外辐射时，窗口材料采用氟 化镁晶体，探头或光纤与窗口之间抽真空或者保持氮气或氩气氛围；测量波长200 nm以上 的紫外辐射时，窗口材料是石英玻璃，探头或光纤周围处于常温常压的大气中。
3.根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的 手套箱内装有测量水蒸汽含量的探头、测量氧气含量的探头，这些探头与外部的分析仪相 连，用来检测手套箱内的水、氧含量。
4.根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的 手套箱附设水循环接口，可以通过恒温水浴或油浴控制光源的管壁温度或冷端温度。
5.根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述手 套箱设有过渡舱，该过渡舱采用可折叠的结构，过渡舱的长度可以根据装入的灯的尺寸通 过可折叠结构进行伸缩调节。
6. 根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述紫 外辐照度计探头放置于手套箱观测窗外，探头的接收面对准灯体，且探头受光面的法线垂 直于灯轴。
7.根据权利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述光 谱仪采用光纤导光，光纤头固定在手套箱的观测窗外，光纤头前安装有余弦校正片、准直透 镜。
8. 根据权利要求7所述的基于手套箱的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的 手套箱直接跟真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定真空紫外光源 的相对光谱功率分布和绝对辐射效率。
【专利摘要】本发明属于紫外光源测试技术领域，具体为一种基于手套箱的真空紫外光源测试系统。本发明系统包括高低温恒温手套箱、灯架和紫外辐射测试设备等。所述的手套箱具有一个观察窗，外部装有挡光设施；同时设有若干个辐射测试窗口；其余内表面进行黑化处理。手套箱内至少装有测量水蒸汽、氧气含量的探头和分析仪，并附设有恒温水浴的水循环回路以控制光源的管壁温度或冷端温度。手套箱的过渡舱采用折叠结构，长度可以调整。灯架位于手套箱内。紫外辐射测试设备包括紫外辐照度计、光谱仪或单色仪，用于测量紫外辐射和200nm以下的真空紫外辐射。本发明为各种线性紫外光源的真空紫外辐射效率的评估提供一种简便、可靠、准确的测量手段，可用于真空紫外光源的研究开发、生产制造和品质评价。
【IPC分类】G01J1-04, G01J3-02, G01J1-00, G01J3-28
【公开号】CN104807542
【申请号】CN201510099886
【发明人】张善端, 韩秋漪
【申请人】复旦大学
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年3月7日