为弹簧或簧片，其中回复部件5的一端连接在壳体9上、另 一端连接在测头基座4上。该壳体内包括两个激光源、两个光电探测器、测头基座、平移部 件以及回复部件，便于安装和拆卸。
[0084] 上述测头基座4选用长方体，测头基座4下方连接测杆5,测杆5端部连接测球6。
[0085] 本实施例与实施例1原理一致，仅将光电探测器安装在测头基座4上，激光源安装 在壳体9上。
[0086] 实施例3
[0087] 本实施例中的直接入射式光臂放大型二维线性测头，与实施例1基本一致，仅平 移部件与回复部件采用双簧片结构实现，具体结构包括：
[0088] 两个激光源，用于发射两条激光束，即激光源一 11发射激光束一 21，激光源二12 发射激光束二22 ;
[0089] 两个光电探测器，即光电探测器一 31、光电探测器二32,分别用于接收激光束一 21、激光束二22 ;
[0090] 测头基座4,所述测头基座4上设有激光源一 11、激光源二12,以及用于检测的测 杆6和测球7 ;
[0091] 如图8所示，平移部件与回复部件，用于使测头基座4做直线运动，在测量完成后 再将测头基座4回复至初始位置，本实施例中采用双簧片结构实现平移部件与回复部件功 能。
[0092] 处理系统，根据光电探测器一 31、光电探测器二32上所接收到的激光束一 21、激 光束二22入射位置变化值，计算得到测球7的位移变化值。
[0093] 该两层双簧片结构主要由两层平行簧片结构组成。其中测头基座4安装测头基座 安装板93上。测头基座安装板93上设置两个相互平行的空心簧片一 81，该簧片一 81的 端部连接安装支撑架91上，使测头基座安装板93可以在两个空心簧片一 81的作用下，沿 垂直于空心簧片一 81平面的方向相对安装支撑架91来回摆动。安装支撑架91上还设有 2个平行的簧片二82,其端部连接在固定平板92上，簧片二82与空心的簧片一 81相互垂 直设置，使安装支撑架91可以在垂直于簧片二82平面的方向相对固定平板92来回摆动。 从而实现测头基座4能够在互相垂直的两个空心簧片一 81和簧片二82平面方向的直线运 动与回复运动；从而形成测头基座4在两个不同直线方向即XY方向直线位移和回复运动。
[0094] 以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案，尽管本说明 书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详细的说明，但本发明不局限于上述具体实施 方式，因此任何对本发明进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方 案及其改进，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
【主权项】
1. 一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，包括： 两个激光源，用于发射两条激光束，即激光源一（11)发射激光束一（21)，激光源二 (12)发射激光束二（22); 两个光电探测器，即光电探测器一（31)、光电探测器二（32)，分别用于接收所述激光 束一（21)、激光束二（22); 测头基座（4)，所述测头基座上设有所述激光源一（11)与激光源二（12)，以及用于检 测的测杆（6)和测球（7); 平移部件，用于使所述测头基座（4)做直线运动； 回复部件（5)，用于将所述测头基座（4)回复至初始位置； 处理系统，根据所述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)上分别接收到的激光束一 (21)、激光束二（22)入射位置变化值，计算得到所述测球（7)的位移变化值。2. -种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，包括： 两个激光源，用于发射两条激光束，即激光源一（11)发射激光束一（21)，激光源二 (12)发射激光束二（22); 两个光电探测器，即光电探测器一（31)、光电探测器二（32)，分别用于接收所述激光 束一（21)、激光束二（22); 测头基座（4)，所述测头基座上设有所述光电探测器一（31)与光电探测器二（32)，以 及用于检测的测杆（6)和测球（7); 平移部件，用于使所述测头基座（4)做直线运动； 回复部件（5)，用于将所述测头基座（4)回复至初始位置； 处理系统，根据所述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)上分别接收到的激光束一 (21)、激光束二（22)入射位置变化值，计算得到所述测球（7)的位移变化值。3. 根据权利要求1或2所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于， 所述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)的入射面相互垂直设置，所述平移部件用于将 所述测头基座（4)沿相对所述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)的垂直平面做运动。4. 根据权利要求3所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，所 述平移部件包括两个相互平行的导向槽一（81)，所述导向槽一（81)之间滑动设有至少一 个导向槽二（82)，所述导向槽一（81)与导向槽二（82)相互垂直，所述导向槽二（82)上滑 动连接所述测头基座（4)。5. 根据权利要求1所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，还 包括壳体（9)，所述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)连接在所述壳体内，所述回复部 件（5)为弹簧，其中一端连接在所述壳体（9)上、另一端连接在所述测头基座（4)上。6. 根据权利要求5所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，至 少一个所述光电探测器旋转连接在所述壳体（9)上。7. 根据权利要求2所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，还 包括壳体（9)，所述激光源一（11)、激光源二（12)固定在所述壳体（9)内，所述回复部件 (5)为弹簧，其中一端连接在所述壳体（9)上、另一端连接在所述测头基座（4)上。8. 根据权利要求7所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，至 少一个所述激光源旋转连接在所述壳体（9)上。9. 根据权利要求1-8任一所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在 于，所述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)为位置敏感探测器。10. 根据权利要求9所述的一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，其特征在于，所 述光电探测器一（31)、光电探测器二（32)均为一维位置敏感探测器。
【专利摘要】本发明公开了一种直接入射式光臂放大型二维线性测头，包括用于发射两条激光束的两个激光源；用于固定测杆与测球的测头基座，测头基座设有激光源或者光电探测器；用于接收两条入射激光束的两个光电探测器；用于使测头基座做直线运动的平移部件；用于将测头基座回复至初始位置的回复部件；计算得到测球位移变化值的处理系统。该新型二维线性测头通过两个光电探测器能够得到在两个不同直线方向的位移量，以补偿被测工件定位时的测量偏差，获得更为准确的测量坐标。本发明提高了二维线性测头的测量精度，简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。
【IPC分类】G01B11/00
【公开号】CN105180813
【申请号】CN201510638179
【发明人】张白, 潘俊涛, 康学亮
【申请人】北方民族大学
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年9月30日