热式流量计的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种热式流量计。
【背景技术】
[0002]作为与本技术领域相关的【背景技术】，有日本专利特开2012-112979号公报(专利文献1)中所记载的流量传感器模块。
[0003]在专利文献1中记载有如下内容:“利用树脂MR密封除流量检测部FDU及其附近以外的半导体芯片CHP1的表面、导线W1、引线RD1、导线W2、半导体芯片CHP2的整个主面、导线W3以及引线RD2的一部分”。此外，记载有如下内容:“利用上模具UM和下模具BM以隔着第1空间的方式包夹搭载有半导体芯片CHP1及半导体芯片CHP2的引线框LF” (参考段落0142及图18)。
[0004]进而，记载有如下内容:“结构为，使设置在上模具UM内的镶块IPU的顶端的尺寸LR1大于半导体芯片CHP1的尺寸LC1，由此，在气体(空气)的流动方向上的截面上，半导体芯片CHP1的上部局部未被树脂MR覆盖”(参考段落0279及图45)。
现有技术文献专利文献
[0005]专利文献1:日本专利特开2012-112979号公报
【发明内容】
发明要解决的问题
[0006]在专利文献1中所揭示的技术中，为了防止流量检测部被树脂覆盖，将模具隔着弹性体膜而按压在半导体芯片的上表面上。在半导体芯片上形成有膜片，并且在膜片的背侧形成有空腔。该空腔由相对于半导体芯片的上表面而倾斜的倾斜面形成。
[0007]在专利文献1中，并未考虑应如何对膜片、空腔及倾斜面(下面，称为膜片结构部)设定模具的按压位置。膜片结构部制造得较为脆弱。在施加有模具的按压力的情况下，弯曲力会施加至半导体芯片，其结果为，该脆弱部有可能破损。
[0008]在专利文献1的图45中，以按压力施加至膜片结构部的外侧的方式来设定镶块。但是，在专利文献1的图18或图27中，以按压力施加至膜片结构部的内侧的方式来设定上模具。并且，在专利文献1中，并未考虑应如何对膜片结构部配置由上模具或镶块所形成的按压力。
[0009]本发明的目的在于，在膜片结构部的附近具有使用模具而形成的树脂部的结构的热式流量计中，防止膜片结构部在模具按压时被破坏。
解决问题的技术手段
[0010]为了达成上述目的，本发明的热式流量计以模具按压区域不落在膜片结构部上的方式使用模具在膜片结构部的附近成形树脂部。
发明的效果
[0011]根据本发明，可防止模具按压时所产生的膜片结构部的破坏。进而，由于可使流量检测部的周围的结构部的高度、大小固定，因此可提供一种测量精度较高的热式流量计。
[0012]除上述以外的课题、构成及效果将通过以下实施方式的说明而加以明确。
【附图说明】
[0013]图1A为表示本发明的热式空气流量计的上表面的俯视图。
图1B为去掉本发明的热式空气流量计的侧面所设置的盖体构件而表示侧面的俯视图。
图2A为表示本发明的电路封装的树脂密封后的安装构成的俯视图。
图2B为表示电路封装的引线框以及引线框的电路芯片、传感器芯片的搭载状态的俯视图。
图3为本发明的空气流量传感器的一实施例的纵向剖视图(图2中的A-A截面)。
图4为本发明的空气流量传感器的一实施例的横向剖视图(图2中的B-B截面)。
图5A为表示本发明的空气流量传感器的一实施例的制造方法的纵向剖视图，对于图2中的A-A截面，为表示利用树脂的模塑被实施之前的状态的图。
图5B为表示将在引线框上安装空气流量测定元件和LSI而成的组件安设在模具中的状态的剖视图。
图5C为放大表示图5B中的镶块及空气流量测定元件的附近的剖视图。
图6为本发明的空气流量传感器的一实施例的模具按压时的横向剖视图。
图7为表示流量检测部容易被破坏的安装结构、模具配置的剖视图。
图8为表示流量检测部被破坏时的机理的图。
图9为表示流量检测部因粘接带变形而被破坏时的机理的图。
图10为表示热式空气流量计的流量检测电路的电路图。
图11为表示图10所示的流量检测部的电路配置的电阻图案的构成图。
【具体实施方式】
[0014]下面，对本发明的实施例进行说明。再者，在本实施例中，对如下情况进行说明:热式流量计搭载在汽车的内燃机中，并且，作为被测量气体30，是以空气为对象。但对空气以外的气体也可使用本发明的热式流量计300。
[0015]首先，使用图1A及图1B，对热式空气流量计的整体构成进行说明。图1A为表示热式空气流量计300的上表面的俯视图。图1B为表示去掉热式空气流量计300的侧面所设置的盖体构件302、303而表示侧面的俯视图。再者，图1B表示的是图1A的右侧面。此外，图1B所示的箭头30表示在吸气管(未图示)中流动的空气的流向。
[0016]热式空气流量计300的图1A所示的一面是朝向在吸气管中流动的空气流的上游侧而设置。下面，以如下方式进行说明:关于热式空气流量计300中的上下方向，是以相对于在吸气管中流动的空气流而位于上游侧的一方为上，以相对于在吸气管中流动的空气流而位于下游侧的一方为下。该上下方向并非意指热式空气流量计300安装在汽车等的内燃机中的安装状态下的上下方向。此外，像图1的箭头所示那样定义热式空气流量计300的长度方向300L、宽度方向300W。进而，将垂直于长度方向300L及宽度方向300W的方向定义为高度方向。300C表示宽度方向300L上的中心线。
[0017]如图1A所示，在热式空气流量计300的壳体(本体)301的两侧面安装有薄板状的盖体构件302、303。热式空气流量计300的法兰部(安装部)304固定在吸气管的壁面上，在壳体301的顶端侧设置有导入在吸气管中流动的空气的一部分的副通道305。305a为副通道305的入口开口。入口开口 305a是以跨及壳体301的整个宽度方向300L的方式设置。副通道305的入口侧通道部分305i随着从入口开口 305a向下游侧前进而朝中心线300C的左侧收窄。在入口侧通道部分305i的中心线300C的左侧的部分，在入口侧通道部分305i的进深侧形成有副通道305的出口侧通道部分305ο。出口侧通道部分305ο因无法表示在图1Α上，所以加上括弧，且指引线也是以虚线表示。副通道305由如下构件构成:入口侧通道部分305i ;出口侧通道部分305ο ;以及流量测量通道部分305s (将在后文中叙述)，其在空气的流动方向上设置在入口侧通道部分305i与出口侧通道部分305ο之间，供配置电路封装400的流量检测部200a。
[0018]在法兰部304上，在设置副通道305的一侧的相反侧设置有接头部307。在该接头部307上连接有与外部装置(例如发动机控制装置)连接的信号线(通信线)。
[0019]如图1B所示，在本体301的顶端侧(纸面下侧)设置有构成副通道305的出口侧通道部分305ο和流量测量通道部分305s。虽然图1B中未加以表示，但在出口侧通道部分305ο的进深侧设置有副通道305的入口侧通道部分305i。流量测量通道部分305s是以隔着图1A所示的中心线300C跨在宽度方向两侧的方式形成，相对于中心线300C而形成于一(左)侧面侧的入口侧通道部分305i的下游端与相对于中心线300C而形成于另一(右)侧面侧的出口侧通道部分305ο的上游端通过该流量测量通道部分305s而连通。
[0020]在副通道305与法兰部304之间配置有电路封装100。在本实施例中，电路封装100通过形成壳体301的树脂而利用固定部306固定在壳体301上。在电路封装100的供露出流量检测部200a的表面及其相反侧的背面，分别在与流量测量通道部分305s的壁面之间设置有供空气流动的间隙。即，电路封装100在宽度方向300L上配置在流量测量通道部分305s的中间部。此外，如图1B所示，电路封装100以其流量检测部200a面朝形成热式空气流量计300中的出口侧通道部分305ο的侧面侧的方式进行配置。
[0021]在接头部307中设置有连接端子307a，该连接端子307a用以将热式空气流量计300与信号线(通信线)电连接而进行通信，该信号线(通信线)与外部装置(例如发动机控制装置)连接。连接端子307a与露出于壳体301的内部的端子307b电连接，并