滑块207和X轴导轨208;Χ轴电机支架202安装在X轴底座201上，X轴伺服电机203通过X轴联轴器204联接X轴丝杠205并安装在X轴电机支架202上;X轴丝杠205穿过Y轴联接支架206并与其螺纹联接;X轴导轨208安装在X轴底座201上，X轴导轨滑块207安装在X轴导轨208上并能沿其滑动，Y轴联接支架206安装在X轴导轨滑块207上带动直线X轴导轨滑块207做直线运动;所述的Y轴机构3安装在Y轴联接支架206上；
[0025]参照图5所示，所述的Y轴机构3包括:Y轴底座301、Υ轴电机支架302、Υ轴伺服电机303、Υ轴联轴器304、Υ轴丝杠305、Ζ轴联接支架306、Υ轴导轨滑块307和Y轴导轨308;Υ轴电机支架302安装在Y轴底座301上，Y轴伺服电机303通过Y轴联轴器304联接Y轴丝杠305并安装在Y轴电机支架302上;Y轴丝杠305穿过Z轴联接支架306并与其螺纹联接;Y轴导轨308安装在Y轴底座301上，Y轴导轨滑块307安装在Y轴导轨308上并能沿其滑动，Z轴联接支架306安装在Y轴导轨滑块307上带动直线Y轴导轨滑块307做直线运动;所述的Z轴机构4安装在Z轴联接支架306上；
[0026]参照图6所示，所述的Z轴机构4包括:Z轴底座401、Ζ轴电机支架402、Ζ轴伺服电机403、Ζ轴联轴器404、Ζ轴丝杠405、旋转机构联接支架406、Ζ轴导轨滑块407和Z轴导轨408;Ζ轴电机支架402安装在Z轴底座401上，Z轴伺服电机403通过Z轴联轴器404联接Z轴丝杠405并安装在Z轴电机支架402上;Z轴丝杠405穿过旋转机构联接支架406并与其螺纹联接;Z轴导轨408安装在Z轴底座401上，Z轴导轨滑块407安装在Z轴导轨408上并能沿其滑动，旋转机构联接支架406安装在Z轴导轨滑块407上带动直线Z轴导轨滑块407做直线运动;所述的旋转机构5安装在旋转机构联接支架406上；
[0027]参照图7所示，所述的旋转机构5包括:旋转机构电机支架501、旋转机构伺服电机502、旋转机构联轴器503、旋转机构传动轴504、旋转机构挡圈轴套505和检测器联接支架506 ；旋转机构电机支架501通过螺钉安装在旋转机构联接支架506上，旋转机构伺服电机502安装在旋转机构电机支架501上，旋转机构伺服电机502通过旋转机构联轴器503联接旋转机构传动轴504，旋转机构挡圈轴套505通过紧固螺钉安装在旋转机构传动轴504上;检测器联接支架506安装在旋转机构传动轴504上并与旋转机构挡圈轴套505焊接在一起，随旋转机构挡圈轴套505—起做旋转运动，旋转角度大于180°角;衍射光强检测器安装在检测器联接支架506上。
[0028]X-Y-Z各轴机械部件是通过直线导轨滑块上安装联接支架将各轴模块化机械部件组合而成。
[0029]通过步进电机控制X，Y，Z方向及旋转方向的移动，依据所需测量光路，可在三维空间沿任意轨迹进行光强测量，旋转方向的调节利于光电转换元件寻找光强最佳接收面，可提高测量的精度，从而实现任意方向衍射光强的测量。
【主权项】
1.一种三坐标四自由度衍射光强测量平台，其特征在于:它包括底座(I)、x轴机构(2)、Y轴机构(3)、Z轴机构(4)、旋转机构(5)和光强检测器，X轴机构(2)安装在底座(I)上，Y轴机构(3)安装在X轴机构(2)上，Z轴机构(4)安装在Y轴机构(3)上、旋转机构(5)安装在Z轴机构(4)上，光强检测器安装在旋转机构(5)上； 所述的X轴机构(2)包括:X轴底座(201)、X轴电机支架(202)、X轴伺服电机(203)、X轴联轴器(204)、X轴丝杠(205)、Y轴联接支架(206)、X轴导轨滑块(207)和X轴导轨(208) ;X轴电机支架(202)安装在X轴底座(201)上，X轴伺服电机(203)通过X轴联轴器(204)联接X轴丝杠(205)并安装在X轴电机支架(202)上;X轴丝杠(205)穿过Y轴联接支架(206)并与其螺纹联接;X轴导轨(208)安装在X轴底座(201)上，X轴导轨滑块(207)安装在X轴导轨(208)上并能沿其滑动，Y轴联接支架(206)安装在X轴导轨滑块(207)上带动直线X轴导轨滑块(207)做直线运动;所述的Y轴机构(3)安装在Y轴联接支架(206)上； 所述的Y轴机构(3)包括:Y轴底座(301)、Y轴电机支架(302)、Y轴伺服电机(303)、Y轴联轴器(304)、Y轴丝杠(305)、Z轴联接支架(306)、Y轴导轨滑块(307)和Y轴导轨(308); Y轴电机支架(302)安装在Y轴底座(301)上，Y轴伺服电机(303)通过Y轴联轴器(304)联接Y轴丝杠(305)并安装在Y轴电机支架(302)上;Y轴丝杠(305)穿过Z轴联接支架(306)并与其螺纹联接;Y轴导轨(308)安装在Y轴底座(301)上，Y轴导轨滑块(307)安装在Y轴导轨(308)上并能沿其滑动，Z轴联接支架(306)安装在Y轴导轨滑块(307)上带动直线Y轴导轨滑块(307)做直线运动;所述的Z轴机构(4)安装在Z轴联接支架(306)上； 所述的Z轴机构(4)包括:Z轴底座(401)、Ζ轴电机支架(402)、Ζ轴伺服电机(403)、Ζ轴联轴器(404)、Ζ轴丝杠(405)、旋转机构联接支架(406)、Ζ轴导轨滑块(407)和Z轴导轨(408) ;Ζ轴电机支架(402)安装在Z轴底座(401)上，Z轴伺服电机(403)通过Z轴联轴器(404)联接Z轴丝杠(405)并安装在Z轴电机支架(402)上;Z轴丝杠(405)穿过旋转机构联接支架(406)并与其螺纹联接；Z轴导轨(408)安装在Z轴底座(401)上，Z轴导轨滑块(407)安装在Z轴导轨(408)上并能沿其滑动，旋转机构联接支架(406)安装在Z轴导轨滑块(407)上带动直线Z轴导轨滑块(407)做直线运动;所述的旋转机构(5)安装在旋转机构联接支架(406)上； 所述的旋转机构(5)包括:旋转机构电机支架(501)、旋转机构伺服电机(502)、旋转机构联轴器(503)、旋转机构传动轴(504)、旋转机构挡圈轴套(505)和检测器联接支架(506);旋转机构电机支架(501)安装在旋转机构联接支架(506)上，旋转机构伺服电机(502)安装在旋转机构电机支架(501)上，旋转机构伺服电机(502)通过旋转机构联轴器(503)联接旋转机构传动轴(504)，旋转机构挡圈轴套(505)安装在旋转机构传动轴(504)上;检测器联接支架(506)安装在旋转机构传动轴(504)上并与旋转机构挡圈轴套(505)固连在一起，随旋转机构挡圈轴套(505)—起做旋转运动，旋转角度大于180度;衍射光强检测器安装在检测器联接支架(506)上。
【专利摘要】本发明公开了一种三坐标四自由度衍射光强测量平台，包括底座、X轴机构、Y轴机构、Z轴机构、旋转机构和光强检测器，X轴机构安装在底座上，Y轴机构安装在X轴机构上，Z轴机构安装在Y轴机构上、旋转机构安装在Z轴机构上，光强检测器安装在旋转机构上。本发明可以测量由衍射元件带来的光轴偏转的光谱测量，弥补了传统衍射测量仪器的不足，采用上位机控制，相比于手动调节提高了测量的准确度及精确度，可以应用于教学演示及实验研究，为教育教学及科研研究带来很大帮助。
【IPC分类】G09B23/22, G01J1/04
【公开号】CN105527019
【申请号】CN201610007023
【发明人】张立国, 徐婧, 金梅, 刘晓飞, 刘宁
【申请人】燕山大学
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2016年1月7日