电流传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路封装领域，尤其涉及一种电流传感器。
【背景技术】
[0002]电流传感器的基本原理是利用电磁感应现象，采用一颗磁传感器来检测通过导线的电流大小。现有技术中，磁传感器通常是制作在半导体芯片上的，并通过封装形成电流检测芯片。而待测电流通常是在芯片封装体内部的引线框架上流过。
[0003]现有技术的缺陷在于，被检测的电流通常会是大电流，而硅片上标准的工作电压只有5V，工作电流也是毫安甚至微安量级。因此待测电流会给磁传感器造成很强的电磁耦合干扰。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种电流传感器，能有效解决待测电流会给磁传感器造成的电磁耦合干扰。
[0005]为了解决上述问题，本实用新型提供了一种电流传感器，包括:芯片，所述芯片中至少包括一磁传感器、多个焊盘以及一电磁屏蔽层，所述电磁屏蔽层覆盖于芯片的表面；弓丨线框架，所述引线框架包括一段弧形导线，当所述弧形导线中通过电流时，所述弧形导线能够在圆弧的中心处形成一耦合磁场的增强区域，所述磁传感器设置于所述增强区域；所述焊盘通过设置在电磁屏蔽层中的窗口与引线框架电学连接。
[0006]可选的，所述电磁屏蔽层的材料是聚酰亚胺，厚度范围是10微米?50微米。
[0007]可选的，所述弧形导线进一步是180度圆弧形，所述磁传感器设置于圆弧形的圆心处。
[0008]可选的，所述窗口中设置金属导电柱，用于连接焊盘与引线框架。
[0009]本实用新型的优点在于，突破了本领域对芯片和电流导线之间不能设置电磁屏蔽的技术偏见，在弧形导线和磁传感器之间设置了通常认为不应当存在的电磁屏蔽层。实践中，所有的电磁屏蔽材料的屏蔽效果都只是部分屏蔽，不会将所有的磁场全部过滤掉，但足以使弧形导线不再对芯片内部的电路产生影响。而磁传感器是磁敏感元件，实践证明部分屏蔽后的磁场仍然能够满足检测需求。
【附图说明】
[0010]附图1所示是本实用新型所述的电流传感器结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型提供的电流传感器的【具体实施方式】做详细说明。
[0012]附图1所示是本实用新型所述的电流传感器结构示意图，所述电流传感器包括芯片100，所述芯片100中至少包括一磁传感器101和多个焊盘(未图示)，且所述芯片100表面进一步设置电磁屏蔽层103，所述电磁屏蔽层103覆盖于芯片100的表面。所述电流传感器还包括引线框架200，所述引线框架200中至少具有一根弧形导线201，当所述弧形导线201中通过电流时，所述弧形导线201能够在圆弧的中心处形成一耦合磁场的增强区域，所述磁传感器101即设置于所述增强区域。
[0013]所述磁传感器101可以是霍尔传感器，或者其他类型的传感器，例如TMR、GMR等。由于电流传感器利用的是电磁耦合原理，通常要保证产生磁场的弧形导线201和芯片100之间电磁通道的通畅。而这样就无法避免弧形导线201所产生的磁场对芯片100内部的电路产生干扰。本【具体实施方式】所采用的技术方案是在弧形导线201和磁传感器101之间设置了通常认为不应当存在的电磁屏蔽层103。实践中，所有的电磁屏蔽材料的屏蔽效果都只是部分屏蔽，不会将所有的磁场全部过滤掉，但足以使弧形导线201不再对芯片100内部的电路产生影响。而磁传感器101是磁敏感元件，实践证明部分屏蔽后的磁场仍然能够满足检测需求。在本【具体实施方式】中，电磁屏蔽层103的材料例如可以是聚酰亚胺(polyimide)，厚度范围例如是10微米?50微米。在其它的【具体实施方式】中，任何一种绝缘的电磁屏蔽材料都可以作为电磁屏蔽层103的材料使用，并根据屏蔽效果调整厚度。
[0014]在本【具体实施方式】中，所述弧形导线201进一步是180度圆弧形，所述磁传感器102设置于圆弧形的圆心处，以获得最大的电磁感应效果。
[0015]本【具体实施方式】中，采用金属导电柱102A?102E通过设置在电磁屏蔽层103中的窗口电学连接焊盘与引线框架。
[0016]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种电流传感器，其特征在于，包括: 芯片，所述芯片中至少包括一磁传感器、多个焊盘以及一电磁屏蔽层，所述电磁屏蔽层覆盖于芯片的表面； 引线框架，所述引线框架包括一段弧形导线，当所述弧形导线中通过电流时，所述弧形导线能够在圆弧的中心处形成一耦合磁场的增强区域，所述磁传感器设置于所述增强区域； 所述焊盘通过设置在电磁屏蔽层中的窗口与引线框架电学连接。
2.根据权利要求1所述的电流传感器，其特征在于，所述电磁屏蔽层的材料是聚酰亚胺，厚度范围是10微米?50微米。
3.根据权利要求1所述的电流传感器，其特征在于，所述弧形导线进一步是180度圆弧形，所述磁传感器设置于圆弧形的圆心处。
4.根据权利要求1所述的电流传感器，其特征在于，所述窗口中设置金属导电柱，用于连接焊盘与引线框架。
【专利摘要】本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种电流传感器，能有效解决待测电流会给磁传感器造成的电磁耦合干扰。为了解决上述问题，本实用新型提供了一种电流传感器，包括：芯片，所述芯片中至少包括一磁传感器、多个焊盘以及一电磁屏蔽层，所述电磁屏蔽层覆盖于芯片的表面；引线框架，所述引线框架包括一段弧形导线，当所述弧形导线中通过电流时，所述弧形导线能够在圆弧的中心处形成一耦合磁场的增强区域，所述磁传感器设置于所述增强区域；所述焊盘通过设置在电磁屏蔽层中的窗口与引线框架电学连接。
【IPC分类】H01L23-552, H01L23-495, G01R19-00
【公开号】CN204575718
【申请号】CN201520127450
【发明人】钟小军
【申请人】上海兴工微电子有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年3月5日