作为匹配值，根据X’值对最强干涉数据库、最弱干涉数据库、I/η波长干涉数据库进行y’进行查询，如果存在y’使|y_y’ I〈Δ，再区分y’所在的数据库，如果y’在最强干涉数据库内，则认为此位置为最强相长干涉位置，如果y’在最弱干涉数据库内，则认为此位置为最弱相消干涉位置，如果y’在I/η波长干涉数据库内，则认为此位置为I/η波长干涉位置。
[0037]作为进一步的优选方案，所述匹配阈值△的大小保证在进行数据查询时，当满足y-y’ <Δ时，y’为唯一值。当匹配阈值Λ较大时，可能会出现一组X值和y值匹配到两组或者多组X’值和y’值，给测量带来不便，所以先匹配阈值Δ，使在测量过程中一组X值和y值最多匹配一组X’值和y’值，方便测量。
[0038]作为进一步的优选方案，所述匹配阈值△的大小按照实际测量的精度要求进行设定，当需要高精度的测量值时，采用较小的匹配阈值，当不需要高精度测量值时，采用较大的匹配阈值。
[0039]作为进一步的优选方案，设Δ =5%。
[0040]在本申请的测量方法中，通过设置匹配阈值Λ，根据实际测量精度的需要设置匹配阈值△的大小，以此方便测量过程中，数据的匹配选择，降低测量难度。
[0041]与现有技术相比，本实用新型的有益效果:
[0042]本申请的磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，首先通过设置多光束、微动阶梯平面反射镜以及角反射镜提高激光干涉仪的测量精度，同时通过设置反射测量光电探测器，激光干涉测量环境发生变化后，可以通过对移动平面反射镜反射激光强度进行测量，激光干涉状态不再直接由干涉测量光电探测器组的信号大小确定，而是由反射测量光电探测器与干涉测量光电探测器组共同决定，可以大大提高激光干涉仪的抗干扰能力。
[0043]本申请其他实施方案的有益效果:
[0044]本申请的激光干涉仪，不仅能够确定最强相长干涉的位置，而且还能够确定最弱相消干涉的位置及I/η波长干涉位置，所以，使得本申请的激光干涉仪不仅能够抗环境干扰，而且还提高了测量精度；并且，本申请的测量方法、标定方法、多光束激光源、微动阶梯平面反射镜之间相互配合，进一步的提高了本申请激光干涉仪的测量精度。
【附图说明】
:
[0045]图1为本实用新型激光干涉仪结构的光路示意图；
[0046]图2为微动阶梯平面反射镜移动后的结构示意图；
[0047]图3为磁性微位移平台的结构示意图，
[0048]图中标记:
[0049]1-激光源，2-微动阶梯平面反射镜，3-移动平面反射镜，4-干涉测量光电探测器组，5-分光镜组，6-反射测量光电探测器组，7-第一激光束组，8-第二激光束组，9-反射激光束组，10-磁性微位移平台，21-反射平面，41-干涉测量光电探测器，41a-标定干涉测量光电探测器，51-第一分光镜，52-第二分光镜，61-反射测量光电探测器，61a-标定反射测量光电探测器，101-支撑平台，102-位移装置，103-第一位移件，104-斜面，105-第二位移件，106-约束装置，107-磁性件，11-处理系统。
【具体实施方式】
[0050]下面结合试验例及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本【实用新型内容】所实现的技术均属于本实用新型的范围。
[0051]实施例1，如图所示，一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源1、微动阶梯平面反射镜2、干涉测量光电探测器组4、移动平面反射镜3、分光镜组5和磁性微位移平台10，所述微动阶梯平面反射镜设置在所述磁性微位移平台10上，所述激光源I向所述分光镜组5射出Z束激光束，其中Z为大于或者等于2的正整数，所述干涉测量光电探测器组4包括有ζ个干涉测量光电探测器，每一个干涉测量光电探测器41与一束激光束相对应，所述微动阶梯平面反射镜2的反射面包括有ζ个反射平面21，ζ个所述反射平面21呈阶梯型布置，每一个反射平面21与一束激光束相对应，各激光束经所述分光镜组5后分为第一激光束组7和第二激光束组8，所述第一激光束组7射向所述微动阶梯平面反射镜2，经所述微动阶梯平面反射镜2反射后再次射向所述分光镜组5，再经所述分光镜组5后射向所述干涉测量光电探测器组4，所述第二激光束组8射向所述移动平面反射镜3，经所述移动平面反射镜3反射后再次射向所述分光镜组5，经所述分光镜组5后相对应的与射向所述干涉测量光电探测器组4的第一激光束组7发生干涉，形成干涉激光束组，干涉激光束组的各干涉光束分别射向各自对应的所述干涉测量光电探测器41，所述磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器组6，所述反射测量光电探测器组6包括有ζ个反射测量光电探测器61，所述第二激光束组8在由所述移动平面反射镜3射向所述分光镜组5后还形成有反射激光束组9，所述反射激光束组9的各激光束分别对应的射向一个所述反射测量光电探测器61 ;
[0052]所述磁性微位移平台10，包括有支撑平台101和设置在所述支撑平台101上的位移装置102，所述支撑平台101上设置有第一位移件103，所述第一位移件103与所述位移装置102连接，所述位移装置102带动所述第一位移件103沿所述支撑平台101运动，所述第一位移件103具有一相对于其位移方向倾斜的斜面104，所述第一位移件103的斜面104上滑动设置有第二位移件105，所述第一位移件103与第二位移件105之间贴紧配合，所述支撑平台101上还设置有约束装置106，所述约束装置106限制所述第二位移件105沿所述第一位移件103位移方向上的运动，使得当第一位移件103被所述位移装置102带动而产生位移时，所述第二位移件105被所述第一位移件103带动而产生位移，所述第二位移件105的位移方向与所述第一位移件103的位移方向相垂直，所述第一位移件103的斜面104与其位移方向的夹角为A度，O < A < 45，所述第一位移件103与所述支撑平台101之间还设置有具有磁性的磁性件107，所述第二位移件105具有磁性，所述第二位移件105与所述磁性件107为异性相吸状态，所述微动阶梯平面反射镜设置2在所述第二位移件105上，随第二位移件105运动。
[0053]作为进一步的优选方案，所述分光镜组5包括有第一分光镜51和第二分光镜52，所述激光源I射出的ζ束激光束先射到第一分光镜51，经第一分光镜51反射形成第一激光束组7，经第一分光镜51透射形成第二激光束组8，第一激光束组7射向所述微动阶梯平面反射镜2，经反射后再次射向所述第一分光镜51，然后再透射过所述第一分光镜51，所述第二激光束组8射向所述第二分光镜52，经所述第二分光镜52透射后射向所述移动平面反射镜3，经所述移动平面反射镜3反射后再射向所述第二分光镜52，经所述第二分光镜52透射后射向所述第一分光镜51，并且与从所述第一分光镜51透射出的第一激光束组7发生干涉，形成干涉激光束组后射向所述干涉测量光电探测器组4，由所述移动平面反射镜3射向所述第二分光镜52的所述第二激光束组8还被所述第二分光镜52反射形成所述反射激光束组9。
[0054]本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器组6可以测量移动平面反射镜3反射激光束组9的强度，根据反射激光束组9的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的；
[0055]并且，在本实施例中，微动阶梯平面反射镜2设置在磁性微位移平台10上，支撑平台101上设置位移装置102和第一位移件103，位移装置102带动第一位移件103运动，第一位移件103具有一相对于其位移方向倾斜的斜面104，当位移装置102提供一定的位移值带动第一位移件103时，由于约束装置106的存在，此时，第二位移件105在垂直于第一位移件103位移方向上将产生一定的位移值，第二位移件105的位移值与位移装置102提供的位移值相关，还与第一位移件103斜面104的倾斜程度