一种晶粒检测机之跳晶感应模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶粒检测机，尤其涉及一种晶粒检测机之跳晶感应模块。
【背景技术】
[0002 ]晶粒(D i e )是以半导体材料制作而成未经封装的一小块集成电路本体，通常情况下，集成电路是以大批方式经光刻等多项步骤，制作在大片的半导体晶元上，然后再分割成方型小片，这一方型小片就称为晶粒，每个晶粒就是一个集成电路的复制品。
[0003]晶粒检测机是用于检测的晶粒品质优劣的机台，其包括上料模块、扫描检测模块、置换模块以及出料区。在检测之前，晶粒需被放置在托盘内，如图1所示的，托盘内含有多个小格，每个小格内放置一个晶粒。在检测时，将放置有晶粒的托盘推入上料模块，上料模块将托盘移动至扫描检测模块，扫描检测模块对托盘内的晶粒进行扫描，显示器中会显示不良的晶粒和良的晶粒;接着，托盘进入置换区，置换模块将不良的晶粒替换为良的晶粒;最后，装有全部良的晶粒的托盘进入出料区，并堆叠在一起，人员手动将托盘取走。
[0004]然而，在自动检测过程中，晶粒可能存在未准确放置在托盘上的小格内的现象(业内俗称跳晶)，即晶粒部分体积或全部体积露出小格，当托盘在出料区堆叠时，会出现跳晶压伤的现象，因而现有的检测机台的检测精度较低，工作效率较低，且造成了不必要的资源的浪费。
【实用新型内容】
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶粒检测机之跳晶感应模块，可以侦测出跳晶，避免了托盘堆叠而造成的跳晶压伤。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0007]—种晶粒检测机之跳晶感应模块，该晶粒检测机包括上料模块、扫描检测模块、置换模块、跳晶感应模块、出料模块以及控制器，该跳晶感应模块设置于所述置换模块和出料模块之间，该跳晶感应模块包括侦测跳晶机构和归零传感器，所述侦测跳晶机构包含两块基座以及位于两基座之间用于容许托盘通过的传送通道，所述基座的外侧固设有一侦测传感器，所述侦测传感器与所述控制器连接，所述基座上开设有一用于容许侦测传感器发射的光线通过的条形槽。
[0008]优选的，所述侦测传感器为对照式传感器。
[0009]优选的，所述归零传感器设于所述传送通道上方，所述归零传感器用于根据每个托盘的上表面定义相应的一个基准位置，其与所述控制器相连接。
[0010]优选的，所述托盘由其上表面向下开设有复数个用于放置晶粒的凹槽，所述凹槽的深度尚于晶粒的厚度。
[0011]与现有技术相比，本实用新型的优点至少在于:
[0012]I)通过侦测传感器可以检测出跳晶的存在，具体的，当晶粒未准确的放置在托盘的凹槽内，即晶粒部分体积或全部体积放置在托盘的上表面，侦测传感器发射的光线被跳晶阻断，机台报警，从而提高了检测机台的检测精度和工作效率，且避免了不必要的资源的浪费；
[0013]2)归零传感器对每个托盘进行基准面定义，可以有效降低误判的可能性，提升人员的作业效率，降低报警频率，符合量产需求。
【附图说明】
[0014]为了更清楚地说明本实用新型结构特征和技术要点，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0015]图1为本实用新型实施例所公开的托盘的结构示意图；
[0016]图2为本实用新型实施例所公开的晶粒检测机的结构示意图；
[0017]图3为本实用新型实施例所公开的晶粒检测机之跳晶感应模块的结构示意图；
[0018]图4为本实用新型实施例所公开的晶粒检测机之跳晶感应模块的主视图。
[0019]附图标记说明:1_上料模块，2-扫描检测模块，3-置换模块，4-跳晶感应模块，41-侦测跳晶机构，411-基座，411a-条形槽，412-传送通道，413-侦测传感器，42-归零传感器，5-出料模块，6-控制器，7-托盘，71 -凹槽，8-不良品堆叠区，9-晶粒。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。
[0021]参见图1-2所示，本实用新型提供了一种晶粒检测机之跳晶感应模块，该晶粒检测机包括上料模块1、扫描检测模块2、置换模块3、出料模块5、设置于置换模块3和出料模块5之间的跳晶感应模块4以及控制器6，跳晶感应模块4包括侦测跳晶机构41及归零传感器42，在检测前，取出托盘7，该托盘7由其上表面向下开设有复数个用于放置晶粒的凹槽71，且凹槽71的深度高于晶粒的厚度，利用机械手臂将晶粒放置于托盘7上的凹槽71内。在检测时，将放置有晶粒9的托盘7推入上料模块I，上料模块I将托盘7移动至扫描检测模块2，扫描检测模块2对托盘7内的晶粒进行扫描，以分辩不良的晶粒和良的晶粒;接着，托盘7进入置换模块3，置换模块3设有机械手臂31将托盘7上不良的晶粒替换为良品的晶粒，不良的晶粒放置于另一托盘7;紧接着，载有均为良品晶粒的托盘7送入跳晶感应模块4进行跳晶的检测，若有跳晶存在，人员手动拿走并作处理;最后，无跳晶的托盘7进入出料模块5进行堆叠，另一方面，而经置换模块3替换而载满不良的晶粒的托盘7，亦会经由跳晶感应模块4送入不良品堆置区8。
[0022]参见图3所示，侦测跳晶机构41包括两块基座411以及位于基座411之间用于容许托盘7通过的传送通道412，基座411的外侧固设一侦测传感器413，而侦测传感器413与控制器6连接(参见图2)，基座411上开设有一用于容许侦测传感器413发射的光线通过的条形槽411a。优选的，侦测传感器413为对照式传感器。当放置有晶粒9托盘7通过时，侦测传感器413发射光线经条形槽411a通过，若存在跳晶，光线被阻断，机台报警，并在显示器上显示跳晶的情况(包括跳晶个数和跳晶在托盘7上的具体位置)，人员手动将具有跳晶的托盘7取走并作处理，若不存在跳晶，托盘7进入出料模块5进行堆叠。
[0023]参见图4所示，由于跳晶的高度从几十微米至几百微米不等，且托盘7本身在加工的过程中存在高度差异，托盘7高度差异的数值一般在100微米内，若侦测传感器413以统一定义的基准面为准，则误判的可能性非常高，不符合量产需求，因而需要对每个托盘7定义一个基准位置L，故而跳晶感应模块4还设置了归零传感器42，该归零传感器42设于传送通道412上方，用于根据每个托盘7的上表面定义相应的一个基准位置L，归零传感器42与控制器6(参见图2)相连接，当每个托盘7经过基座411上的条形槽411a的起始位置时，归零传感器42会依据每个托盘7的上表面定义一个基准位置L，然后侦测传感器413进行侦测，当超出该基准位置时L，机台报警侦测到跳晶；当该托盘7完全通过该条形槽411a的位置时，归零传感器42定义的上一个基准位置L会归零，当下个托盘7经过时，归零传感器42会重新定义新的基准位置L。故归零传感器42可以有效降低误判的可能性，提升人员的作业效率，降低报警频率，符合量产需求。
[0024]综上所述，本实用新型提供的晶粒检测机之侦测跳晶机构，通过侦测传感器413能够侦测出跳晶的存在，通过归零传感器42可以降低误判的可能性，提升人员的作业效率。
[0025]上述【具体实施方式】，仅为说明本实用新型的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上所述内容并不限制本实用新型的保护范围，凡是依据本实用新型的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种晶粒检测机之跳晶感应模块，该晶粒检测机包括上料模块、扫描检测模块、置换模块、跳晶感应模块、出料模块以及控制器，其特征在于，该跳晶感应模块设置于所述置换模块和出料模块之间，该跳晶感应模块包括侦测跳晶机构和归零传感器，所述侦测跳晶机构包含两块基座以及位于两基座之间用于容许托盘通过的传送通道，所述基座的外侧固设有一侦测传感器，所述侦测传感器与所述控制器连接，所述基座上开设有一用于容许侦测传感器发射的光线通过的条形槽。2.根据权利要求1所述的一种晶粒检测机之跳晶感应模块，其特征在于，所述侦测传感器为对照式传感器。3.根据权利要求1所述的一种晶粒检测机之跳晶感应模块，其特征在于，所述归零传感器设于所述传送通道上方，所述归零传感器用于根据每个托盘的上表面定义相应的一个基准位置，其与所述控制器相连接。4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种晶粒检测机之跳晶感应模块，其特征在于，所述托盘由其上表面向下开设有复数个用于放置晶粒的凹槽，所述凹槽的深度高于晶粒的厚度。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶粒检测机之跳晶感应模块，该晶粒检测机包括上料模块、扫描检测模块、置换模块、跳晶感应模块、出料模块以及控制器，该跳晶感应模块设置于所述置换模块和出料模块之间，该跳晶感应模块包括侦测跳晶机构和归零传感器，所述侦测跳晶机构包含两块基座以及位于两基座之间用于容许托盘通过的传送通道，所述基座的外侧固设有一侦测传感器，所述侦测传感器与所述控制器连接，所述基座上开设有一用于容许侦测传感器发射的光线通过的条形槽。本实用新型通过侦测跳晶机构可以检测出跳晶的存在，通过归零传感器对每个托盘进行基准面定义，可以有效降低误判的可能性，提升人员的作业效率，降低报警频率，符合量产需求。
【IPC分类】H01L21/67, G01R31/28
【公开号】CN205280897
【申请号】CN201620034841
【发明人】蔡俊杰
【申请人】京隆科技(苏州)有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2016年1月14日