一种单位格点几何信息提取方法与流程

技术特征：

1.一种单位格点几何信息提取方法，用于对版图进行分析或可制造性检测；其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1：将版图按照一定大小切割成M1个格点；其中，M1为正整数；

步骤S2：提取各个格点内图形的密度参数；

步骤S3：提取各个格点内图形的周长参数；

步骤S4：提取各个格点内图形的权重线宽参数；

步骤S5：提取各个格点内图形的平均分布几何中心；所述步骤S5具体包括如下步骤：

步骤S51：将各格点内图形按照面积最大原则切分成M2个矩形和/或三角形；其中，M2为正整数；

步骤S52：计算各格点内切分子图形的几何中心；

步骤S53：根据各格点内切分子图形的几何中心，计算各格点内图形的平均几何中心以表征单位格点内图形的分布中心；

步骤S6：将平坦化长度范围内各影响格点图形平均分布中心与目标格点图形平均分布中心的距离作为各自的影响距离引入到影响权重计算中，并据计算所得权重计算出目标格点的有效图形密度参数、有效图形周长参数及有效权重线宽参数。

2.根据权利要求1所述单位格点几何信息提取方法，其特征在于，所述各格点内切分子图形的几何中心按照如下方式获得：矩形的几何中心为其对角线的交点，三角形的几何中心为其各顶点与其对边中点连线的交点。

3.根据权利要求2所述的单位格点几何信息提取方法，其特征在于，所述各格点内图形的平均几何中心，按照如下方式获得：

横坐标：X＝∑X_n*A_n/∑A_n

纵坐标：Y＝∑Y_n*A_n/∑A_n

其中，n的取值为1至M2中的一个值，X_n,Y_n为图形n的几何中心坐标，A_n为图形n的面积。

4.根据权利要求1所述的单位格点几何信息提取方法，其特征在于，所述格点内图形的密度参数提取按照如下方式获得：

密度参数Den＝∑A_n/A_grid

其中，n的取值为1至M1中的一个值，A_n为单位格点内线宽为LW_n的图形的面积，A_grid为单位格点的面积。

5.根据权利要求1所述的单位格点几何信息提取方法，其特征在于，所述格点内图形的周长参数的提取按照如下方式获得：

周长参数Per＝∑P_n

其中，n的取值为1至M1中的一个值，P_n为单位格点内线宽为LW_n的图形的周长。

6.根据权利要求1所述的单位格点几何信息提取方法，其特征在于，所述权重线宽参数的提取按照如下方式获得：

权重线宽参数LW_weighted＝∑LW_n*A_n/∑A_n

其中，n的取值为1至M1中的一个值，An为单位格点内线宽为LW_n的图形的面积，A_grid为单位格点的面积。