提供触觉反馈的装置和具有该装置的器件的制作方法

本发明涉及一种用于产生主动触觉反馈的器件和装置。在此涉及如下装置，该装置被设计为：如果用户对该器件施加力则对该用户产生反馈。这种器件例如可以被用在按钮中、例如被用在仪器的操纵按钮中。该器件可以产生主动触觉反馈例如以便通知用户由他进行的设定成功地被该器件实现。

背景技术：

相反，器件也可以给出主动触觉反馈，例如移动电话可产生振动报警。也公知的是用于移动电子设备、如笔记本电脑等等的触觉显示器。触觉反馈也可以将力的强度或者材料的表面特性或者刚度或弹性转化成可触觉感知到的感觉。

技术实现要素：

本发明的任务是说明一种经改善的用于产生主动触觉反馈的装置。

该任务通过根据本发明的权利要求1所述的装置来解决。本发明的有利的设计方案从其它权利要求得知。

说明了一种用于产生主动触觉反馈的装置。反馈被称作主动反馈，因为该反馈由该装置本身产生。该反馈被称作触觉反馈，因为用户可以通过其触觉来感知该反馈。

该装置包括压电致动器，用于产生以能触觉地感知到的偏移的形式的反馈。该致动器包括扁平的压电本体，该扁平的压电本体具有近似平面平行的主表面。在本体中设置第一和第二致动电极，通过所述第一和第二致动电极可以引起压电致动器的压电偏移。

该本体被设计为使得该本体识别出被施加到该本体上的力。所施加的力通过压电元件被转化成电信号。该电信号可以直接或者必要时增强地被施加给致动电极。

如果给致动电极施加电压，则该本体产生长度伸展。长度伸展可垂直于法线地进行，其中法线垂直于该本体的主表面。这种长度变化也被称作横向收缩。在此，长度伸展的方向取决于所施加的电压的极性并且取决于压电材料的极化。

优选地，整个致动器的长度变化平行于所施加的力、即沿着制动器的主表面的法线发生。

因为本体在xy平面内的横向收缩对于施加平行于法线的力的用户来说能差地感知到，所以该装置有利地被设计为将本体沿着垂直于法线的方向的长度变化转换成致动器的平行于法线的长度伸展。

该转换通过如下方式来实现：在本体的一个或两个主表面上固定截锥形的金属片，其中钝的“锥尖”分别远离本体。这种金属片在下文也被称作钹（zymbel）。

钹被设计为将本体的垂直于法线的长度伸展转换成平行于法线的长度变化。钹还可以用于：增强本体平行于法线的由于该本体的横向收缩而发生的长度变化。截锥形弯曲或成型的金属片可对横向收缩做出反应并且在此朝着所希望的方向、即平行于法线地变形。在此，该变形可以比朝着同一方向的压电偏移更强。因而，利用在本体的两个主表面上的各一个钹，引起整个装置的能良好感知到的长度变化。

为了钹的金属片能在致动作用的情况下显著地弹性变形，该金属片可具有典型的厚度，该典型的厚度例如在钛的情况下在0.1至0.4mm之间的范围内。

钹具有扁平的边缘区，该扁平的边缘区平放在本体的主表面之一上并且固定在那里。该固定利用粘合剂、优选地基于含环氧化物的粘合剂来实现。

在钹下方围出空腔，在该空腔中，在将钹放上之后或者最迟在粘合剂的热硬化（例如在150℃的情况下）时可能会形成过压。该过压可能会经过仍然柔软的粘合剂层逸出并且在那里导致起泡。为了避免这一点，钹配备有孔。在钹下方围出的空腔通过该孔来与周围环境相连，使得可以实现压力平衡。但是，在没有过压的情况下，在很大程度上避免了起泡。

对比实验已经表明：孔对致动器的特性也丝毫没有施加负面影响。阻止起泡的优点是耐久性改善并且因此致动器的可靠性更高。在没有围出气泡的情况下，粘贴更耐久。

有利地，致动器通过两个钹的截锥形来固定在基座与固定板之间。固定板又与基座保持连接并且借助于预应力来固定。该预应力可以充当拉应力或压应力而且例如分别通过弹簧来调整。

在一个实施方式中，操纵板构造为膜片。膜片被安置为使得该膜片利用朝着基座的方向起作用的预应力将钹以及借此也包括本体固定在基座上。因此，膜片也充当朝着基座的方向施加拉应力或压应力的装置。

在另一实施方式中，操纵板平行于本体的表面并且借此平行于基座地取向，处在上钹的遮盖面上并且优选地相对于操纵板能自由移动。操纵板在本体上方在至少两个侧面上、更好地在所有侧面上伸出，而且在伸出区域通过弹簧与基座连接，其中这些弹簧在预应力下。以这种方式确保了：对作用于操纵板的压力、例如用户的手指压力可靠地做出反应，而且至少平行于法线起作用的力分量被传递到本体上。操纵板可以被设计为使得该操纵板在操纵/力作用不是垂直地起作用的情况下可以稍稍倾斜，而仍然将力传递到本体上。弹簧拉紧导致：操纵板在偏移之后重新平行于基座或平行于本体的主表面地取向。

在一个替选的实施方案中，本体通过钹来被固定在基座与操纵板之间，其中对操纵板施加朝着基座方向起作用的弹簧压力。该弹簧压力可通过盘簧来产生，所述盘簧支撑在托架上，该托架固定在基座上并且布置为使得该托架以托架端部垂直地立在本体上方。托架也可以是例如具有双弯曲横截面轮廓的支架。下方的扁平部分可固定在基座上，而上方的扁平部分处在本体上方。替代托架，紧固元件也可以构造为具有卷边的套筒，其中该套筒接着同时是用于整个装置的长度伸展的引导。在此，在压应力下处在套筒或托架与操纵板之间的盘簧引起可靠的紧固和在操纵该装置之后或在压电致动器偏移之后朝初始位置的反向引导。

钹还具有如下侧面，该侧面沿着法线的方向立在相应的主表面上方。钹在钝的锥尖上具有遮盖面，该遮盖面近似平行于本体的表面地取向。

因而，钹优选地具有圆形底面，借助于该圆形底面可以与相对于本体的角度无关地对平行于主表面的长度变化最好地做出反应并且通过金属片朝着平行于法线的方向的变形来增强平行于主表面的长度变化。

当识别出有力施加到本体或按照本发明的装置上时，该装置产生触觉反馈。该识别可借助于逆压电效应来实现。被施加到包括致动电极的本体上的力产生电荷移动，该电荷移动可以在电极上作为测量电压被量取。为此，原则上可以使用致动电极。

然而也可能的是：将至少一个单独的测量电极布置在本体中，而且利用该测量电极来检测测量电压，该测量电压由于通过所施加的力引起的逆压电效应而产生。因为测量电压随着所施加的力增加而升高，所以对于所要检测的测量电压来说可以限定阈值，该阈值被分配给所希望的触发力。如果所施加的力达到触发力并且测量电压在此超过该阈值，则与测量电极连接的测量单元识别出这一点。那么，在达到触发力时，通过电压发生器来产生致动电压并且将该致动电压施加到致动电极上。同时，触发其它行动，该其它行动用于运行该装置或与该装置连接的电器件。

因此，该装置实际上是开关，该开关的触发点可通过阈值来设定。同时，该开关产生触觉反馈，例如借助于手指压力来施加力的用户在该触觉反馈方面识别出达到触发力并且借此识别出切换过程。也可能的是：限定多个阈值并且借助于控制装置来产生不同的触觉反馈，使得不同的触发力可以被识别出，被转化成不同的行动并且通过可区分的反馈被传送给用户。

如所说明的那样，致动电极可以用作测量电极。也可以使用第三电极作为测量电极，而且可以量取在测量电极与致动电极之间的测量电压。然而，也可能的是：在本体中设置两个单独的测量电极。

至少一个与致动电极不同的测量电极可在本体中间布置在第一与第二致动电极之间。然而也可能的是：将该至少一个测量电极布置在两个主表面之一附近，使得所有其它第一和第二致动电极都布置在本体中的测量电极的同侧。

有利地，在测量电极之间或在被用作测量电极的电极（这些电极中的至少一个电极可以是致动电极）之间的距离可以被选择得大于在仅仅被用作第一和第二致动电极的电极之间的距离。如果在测量电极（在所述测量电极之间，甚至同样布置压电材料）之间设置比在纯致动电极之间更大的距离，则相同的作用力在压电元件布置在测量电极之间的情况下比在该压电元件在致动电极之间的情况下产生更高的电压。所产生的更高的测量电压具有如下优点：针对该测量电压可以探测更低的阈值，该更低的阈值被分配给触发力。

为了产生可感知到的偏移，按照本发明的装置需要确定数目个相叠地堆叠的压电元件，这些压电元件交替地布置在第一与第二致动电极之间。这样，在第一与第二致动电极之间分别构造出压电元件。在本体的总高度相同的情况下或在各个压电元件的总层厚度相同的情况下，通过压电元件的数目可以设定致动电压，该致动电压对于达到确定的长度伸展来说是必需的。在两个致动电极之间的大的层厚度需要高电压来进行偏移。当起压电作用的层的总高度一致时，多个小的、被堆叠的压电元件需要更小的电压并且仍然产生相同的伸展。

优选地，第一和第二致动电极交替地布置并且朝向外分别与外部触点连接，该外部触点对于第一和第二致动电极来说布置在本体的不同的侧面。接着，可以将致动致动电压施加到两个外部触点上。

相对应地，也可以使至少一个测量电极与外部触点连接。然而，唯一一个压电元件足以识别所施加的力，在该压电元件的两个电极之间，由于逆压电效应而产生测量电压。

被用在按照本发明的装置中的本体具有朝着其法线的方向的尺寸，该尺寸相对于垂直于所述法线的尺寸小。因此，涉及扁平的本体。

例如，本体朝垂直于法线的方向的最大伸展可以是本体的沿着法线的方向测量的高度的至少十倍那么大。本体的长度也可以是本体的高度的20倍以及更多。

本体由于压电效应引起的长度伸展相对小并且只是总压电有效高度的大约百分之0.1。通过钹，使长度伸展的沿着法线方向的程度增强。

当多个按照本发明的装置重叠地堆叠时，按照本发明的装置的总伸展可以进一步被增强。因此，数目为两个以及更多个本体相叠地堆叠，这些本体在主表面上分别配备有钹。优选地，这些具有钹的本体借助于盘簧固定在操纵板与基座之间。这些弹簧可以处在拉应力或压应力下并且因而朝着基座的方向对操纵板进行拉或者压。在多个本体重叠地堆叠的情况下，操纵板是特别有利的，因为该操纵板同时是对本体的被改善的紧固并且这样防止了不同的本体重叠的堆的侧面倾斜。

然而，还更好并且更有利的是：重叠地堆叠的本体以套筒的方式被引导，在该套筒中，操纵板可以沿法线的方向自由移动。同时，套筒的在该套筒的远离基座的侧面上的卷边可以用于：使处在压应力下的弹簧夹紧在该边缘与操纵板之间。但是，操纵板也可以在套筒中在预应力下通过处在拉伸下的盘簧来被移动。套筒的所提到的伸出的上边缘可以用作针对平行于法线的长度伸展的挡块。

按照本发明的装置可以构造为操纵按钮，利用操纵按钮可以切换电器件的功能。那么，在达到并且识别出所限定的触发力时进行切换过程，其中该切换过程或者直接由测量单元进行或者由连接在该测量单元上的控制单元进行。控制单元也可包括电压发生器。

附图说明

在下文，本发明依据实施例和所属的附图进一步予以阐述。这些附图仅仅是示意性地来阐述并且没有按正确比例。因而，为了更好的理解，各个尺寸可以被放大或被缩小地来呈现。

图1以示意性横截面示出了充当致动器的本体。

图2示出了配备有被粘贴的钹的本体。

图3a示出了在操纵板与基座之间借助于拉弹簧来拉紧的本体。

图3b示出了在操纵板与基座之间借助于压弹簧来拉紧的本体。

图4以俯视图示出了按照本发明的装置的空间图示。

图5示出了具有测量单元和发生器的本体。

图6a和6b依据经过本体的示意性横截面示出了致动电极和测量电极的两种不同的布局。

图7示出了按照本发明的具有被通孔打通的本体的装置。

图8示出了按照本发明的装置，其中多个本体重叠地堆叠和固定。

图9示出了按照本发明的具有本体的装置，其中膜片在上钹上方拉紧。

具体实施方式

图1示出了简单的压电本体gk，该压电本体具有第一和第二致动电极e1、e2。本体gk例如以压电层的重叠堆叠的形式来产生，这些压电层分别印刷有电极材料或者被印刷电极材料。这些层优选地被用作陶瓷绿膜并且被印刷用于致动电极的能烤漆的电极糊。在将所希望的数量的层重叠堆叠之后，紧接着将这些层共同烧结成单体块、即本体。致动器（=具有致动电极的本体）包括压电陶瓷、例如基于pzt（锆钛酸铅）的压电陶瓷。pzt陶瓷还可以附加地包含nd和ni。可替换地，pzt陶瓷还可以附加地具有nd、k以及必要时cu。替选地，压电层可具有包含pb(zrxti1-x)o3+ypb(mn1/3nb2/3)o3的成分。压电层可以被极化为使得通过在第一与第二内部电极之间施加交变电压以及与此相关联的压电效应来引起本体的长度变化。

本体布置在基座bs上，该基座例如形成电器件的表面。各个层的堆叠方向对应于本体的表面法线n。被施加在压电致动器上的力f以其垂直于表面或平行于法线n地作用的分量来起作用。只有该力被转化成电压，该电压能在致动电极e1、e2上量取或能在该附图中未示出的测量电极上量取。

为了产生触觉反馈，在第一致动电极e1与第二致动电极e2之间施加致动电压，该致动电压导致本体gk的长度变化。通过压电本体的相对应的极化，可以平行于法线地、即与所施加的力f反向地实现由此造成的的长度变化，使得该长度变化可以被用户最好地感知到。

图2依据示意性横截面示出了整个装置沿着法线的方向的长度伸展可以如何被增强。在本体gk的两个主表面上分别安装有构造为截锥形的金属片的钹kb1、kb2。为此，扁平地实施的可以扁平地平放在本体gk的主表面上的边缘区与该本体固定连接。该边缘区借助于粘合剂层ks粘贴在本体gk上。优选地，钹借助于环绕着其整个边缘区的环形封闭的粘合剂层ks粘贴在本体上。优选地，为了进行粘贴，使用含环氧化物的粘合剂，该含环氧化物的粘合剂能热硬化。接着，例如可以在大约150℃的情况下实现该硬化。

通过特殊的造型、尤其是通过截锥体的侧面和遮盖面，将本体gk的横向收缩直接转化成钹的变形，该变形平行于法线n地延伸。

钹粘贴在一个或者优选地两个主表面上。每个钹都具有优选地布置在中间的孔，以便使在钹下方围出的空腔与周围环境之间的压力平衡变得可能。孔具有足够的直径，该直径例如为0.1mm至0.7mm、优选地0.3至0.5mm。

钹的金属片可包括钛作为材料或者由钛组成。尤其是对于用于产生主动触觉反馈的装置的这里在当前情况下的应用来说，钛具有重要的优点。钛还具有如下热膨胀系数，所述热膨胀系数与本体的热膨胀系数非常接近。由此，该金属片与本体的连接部在温度改变时没有显著承受机械负荷。例如，不仅该金属片而且该本体都可具有在8到9ppm/k之间的热膨胀系数。

图3a示出了按照本发明的装置的实施方式，其中具有两个钹kb1、kb2的压电致动器或本体gk固定在基座bs与操纵板bp之间。通过盘簧fz来进行固定，所述盘簧处在拉应力下，借助于所述盘簧，操纵板bp朝着基座bs的方向被拉动并且这样将本体gk固定。以这种方式，陶瓷本体gk可以无阻碍地移动，而且可以省去本体的陶瓷在基座bs上或者在所要移动的表面上的刚性固定。这允许充分利用两个截锥形的钹kb的转化能力，而且在此同时降低损坏陶瓷或本体的风险。通过经由弹簧fz的拉紧，始终确保截锥形的金属片与操纵板或与基座的直接接触并且在使用寿命和其中该装置运行的运行条件期间保证截锥形的金属片与操纵板或与基座bs的直接接触。

操纵板bp例如是矩形的并且由铝来构造。该操纵板具有对于作用的力来说足够的机械稳定性或厚度。但是，该操纵板也可以由其它材料构造，例如由金属、塑料、陶瓷、玻璃或木材来构造。在此，该操纵板被构造为使得触觉反馈可以尽可能无干扰地或没有衰减地被传递。这以材料具有一定的硬度或高的弹性模量（e-modul）为前提。

操纵板bp具有比本体gk更大的底面而且优选地在所有侧面都伸出超过该本体的边缘。利用至少两个弹簧fz来实现可靠的固定。然而有利的是：使用数目更多的弹簧fz，以便能够实现对称的拉紧。这些弹簧fz接着在操纵板的周向内均匀分布。

利用按照图3b的另一实施方式来实现类似于利用按照图3a的实施方式的优点。在该实施方式中，具有两个钹kb的本体gk同样在压力下固定在操纵板bp与基座bs之间，其中借助于盘簧fd，用于固定的压力然而从上方作用于操纵板bp。盘簧fd在压应力下在操纵板与紧固托架hb之间夹紧。紧固托架hb伸出超过操纵板bp而且在那里形成弹簧fd的起点。

在图3b中，以横截面示出了托架。对于每个弹簧来说都可以使用单独的紧固托架。然而有利的是：使用托架锁扣板，该托架锁扣板具有在图3b中示出的或类似的横截面，多个弹簧fd可以作用于该托架锁扣板。

还更好的是：在横截面方面形成托架锁扣板hb的支架绕着操纵板圆形地环绕，使得操纵板在紧固托架敞开的情况下好像在套筒中那样被紧固。该实施方案具有如下优点：甚至在偏移强烈时仍始终确保可靠的紧固。按照图3a的实施方案的处在拉压力下的弹簧fz也许可能过度拉伸，这导致更弱的或者减弱的固定，而在按照图3b的实施方案的情况下，通过紧固托架hb来设置挡块，该挡块防止了操纵板bp向上的过于强烈的移位。

图4以斜俯视图示出了按照本发明的装置的三维图示。有利地，本体gk具有方形底面，而截锥形的金属片kb具有圆形底面，该圆形底面以其边缘区固定在本体gk的表面中央。在侧面mf的区域内，截锥形的金属片向上延伸而且径向地逐渐变细，使得遮盖面df同样具有圆形底面。遮盖面df可以是平的，但是可具有手指形的指向本体的方向的凹陷部，以便使用户的手指形状适配。

图5以示意性横截面示出了本体gk。示出了致动电极e1、e2，所述致动电极作为内部电极彼此平行地并且平行于本体的主表面地彼此间距离相同地来取向。未示出特殊的测量电极，该测量电极可具有与相邻的致动电极更大的距离。同样未示出致动电极与外部触点的连接，这些致动电极可通过这些外部触点并联。为此，内部电极可以接片形地延长直至本体的边缘，而且在那里可以与两个连接触点之一接触。对于第一和第二致动电极来说朝向不同的连接触点交替地实现这样将内部电极引出到本体gk的边缘，使得通过总共两个连接触点就可以接触全部第一和第二致动电极。

本体的内部电极中的至少两个内部电极与测量单元me连接，该测量单元可以识别出如下电压，该电压通过对本体的主表面垂直地施加力来产生作用并且通过在压电陶瓷中的逆压电效应来产生。电压发生器gen与第一和第二致动电极e1、e2的两个外部触点连接。如果测量单元me识别出达到触发力，该触发力在超过所产生的测量电压中表现出来，则由电压发生器gen产生致动电压并且将致动电压施加到第一和第二致动电极上。该致动电压又导致本体的偏移，该偏移被用户识别为触觉反馈。

为了增强感知，被施加到致动电极上的电压可以以不同的、连续的脉冲的形式来调制。那么，该脉冲的连续频率被选择为使得反馈能作为振动被用户感知到。也可能的是：给致动电极施加适当的频率的交变电压。还可能的是：在测量单元和与该测量单元连接的控制单元中限定多个阈值，这些阈值随后可以产生不同的反馈。不同的反馈可以在脉冲的频率方面或通常在脉冲的长度、连续频率或数目方面有区别。接着，与此并行地，该装置可以根据所达到的阈值来触发不同的行动。

图6a示出了测量电极me1在本体gk中的可能的布局，使得所有致动电极都布置在测量电极me1的一侧。接着，测量电极me1可以布置在本体gk的主表面附近。

图6b依据示意性横截面示出了测量电极me1如何在本体gk的中间布置在致动电极e1、e2之间。在测量电极me1与致动电极e2之间可以设置比在不同的极性的致动电极e1、e2之间更大的距离。第一致动电极e1与第一外部触点ak1连接，第二致动电极e2与第二外部触点ak2连接。

图7示出了本发明的另一实施方式，其中陶瓷本体gk、即本体的压电材料在中间打通，优选地以圆柱形通孔l的形式来打通。截锥形的金属片kb的边缘区以距孔的边缘足够的距离来粘贴在本体的主表面上。该孔具有如下优点：压电致动器的构造在致动电极之间的电容被减小而且这样致动器的功能在高长度伸展不发生变化的情况下以更低的功率变得可能。

图8示出了另一实施方式，其中多个装置（所述装置分别包括配备有两个截锥形的金属片kb的本体gk）垂直地重叠地堆叠，使得全部本体的侧边都彼此对齐，即底面百分之百被覆盖。即使未示出，在该实施例中也特别有利的是：借助于操纵板并且利用盘簧相对基座bs来固定这些重叠地堆叠的装置，该堆平放在该基座上。这里有利的是：也在侧面通过紧固托架来固定本体，或通过相对应地靠近的紧固托架或其它挡块来限制这些本体的侧面打滑。以这种方式也确保了：本体能运动得最大；长度伸展未受阻碍；而且各个装置的长度伸展相加地加到在基座b的表面上方垂直地平行于法线n的总偏移。

图9示出了按照本发明的装置的另一实施例，该装置具有本体gk。膜片mb在上钹上方拉紧。该膜片被实施得薄并且柔韧。通过该拉紧和弹性，该膜片施加相对基座bs起作用的力，该力对应于弹簧力。膜片mb是对于用户来说可见的并且可操作的表面。这具有如下优点：操作表面无缝隙。

膜片和基座彼此固定连接。这例如可以通过螺丝拧紧来实现（在该附图中未示出）。该膜片也可以通过框架rn来张紧，该框架固定在基座上。借此，获得平坦的操作表面。同时，薄的膜片确保了：触觉反馈未被该膜片减弱。而该基座被构造为刚性体。

所示出的结构保证了：在操纵该装置时，仅仅使膜片变形并且借此使针对用户的触觉反馈的强度最大。附加地，该膜片的弹簧作用可通过厚度或在膜片mb与基座bs之间的连接的变化来优化。

该膜片有利地构造为使得该膜片具有如下刚性，该刚性在致动器的刚性的1%-50%的范围内。

为了防止致动器在运行时的打滑，该致动器可以附加地被固定在后壁（和/或膜片）上。可能的固定方式是借助于粘贴层ks对致动器的固定。

除了尤其是在图4中示出的具有矩形或方形底面的本体gk的实施方式之外，也可能的是：实施具有圆形底面的本体。如果将本体从面积更大的堆切下，这利用直的截面来实现，所述直的截面导致矩形的或方形的本体，则方形或矩形的实施方案仅具有方法技术上的优点。与此相应地，本体可具有在10mm与30mm之间的侧面长度，该侧面长度也可对应于圆形地实施的本体的尺寸。该本体可沿法线的方向具有在0.5mm与2mm之间的高度。

钹kb可以被确定参数为使得当没有对器件施加力时并且当在第一致动电极与第二致动电极之间没有电压时，在遮盖面df的中间区域与本体gk的表面之间的距离约为0.5mm。

优选地，该装置的结构是对称的，使得上方的截锥形的金属片和下方的截锥形的金属片在它们的尺寸和布局方面是彼此对称的。钹kb具有相对于本体的底面的最大水平伸展，使得在平放在本体的主表面上的边缘区之内，围住最大的面积。那么，布置在两个金属片之间的致动器体积也最大。以这种方式实现了：最大地检测横向收缩或以最大的强度将横向收缩转换成所希望的偏移。

本发明可以只依据少量实施例来呈现并且因而并不限于根据这些实施例的准确实施。在本发明的范围内，致动电极的数目、连接触点的数目或重叠地堆叠的本体的数目任意地变化。底面的成型以一级近似地也对该装置的有效性不重要。触觉反馈可以以所希望的方式来实现而且偏移可以相对应地被调整。触发力还可以几乎任意地被设定，使得可能仅需要轻微的触摸直至有力的压力，从而达到所希望的触发力。

附图标记列表

aa致动偏移

ak外部触点

b孔

bs基座

bp操纵板

df钝的锥尖=遮盖面

e1、e2第一和第二致动电极

f被施加到致动器上的力

fd、fs具有压预应力或拉预应力的弹簧

gen电压发生器

gk压电本体

hb紧固托架

kb截锥形的金属片/钹

ks粘合剂层

l在本体中的孔

me测量单元

me1、me2第一和第二测量电极

mf金属片的侧面

mn膜片

n相对于主表面的法线

of1、of2本体的主表面

rb金属片的边缘区

rn框架。