同的元件。
[0196] 参考图15至图26,根据第二实施例的指纹传感器可以包括基板100、第一电极310、 第二电极320和压电层400。
[0197] 参考图15,第一电极310、第二电极320和压电层400可以设置在基板100上。由于第 一电极310和第二电极320与根据第一实施例的指纹传感器的第一电极和第二电极相同或 相似，所以将省略其细节。
[0198] 参考图16至图19,压电层400可以至少包括两层。具体地说，压电层400可以包括第 一压电层410和第二压电层420。
[0199] 第一压电层410和第二压电层420可设置在基板100上。
[0200] 第一压电层410可设置在第一电极310上。
[0201 ] 参考图16，第一压电层410可设置在基板100的整个表面上。例如，第一压电层410 可以在围绕着第一电极310的同时设置在基板100的整个表面。换句话说，第一压电层410可 以和第一电极的上表面和侧面接触。
[0202] 此外，第二压电层420可设置在第一压电层410上，第二压电层420可以和第一压电 层410接触。
[0203] 第一压电层410和第二压电层420可包括互不相同的材料。
[0204] 例如，第一和第二压电层410和420中的至少一个可包括压电薄膜。例如，第一和第 二压电层410和420中的至少一个可包括透明压电薄膜、半透明压电薄膜或不透明压电薄 膜。
[0205] 第一和第二压电层410和420中的至少一个可包括不同的压电材料。例如，第一和 第二压电层410和420中的至少一个可包括单晶陶瓷、多晶陶瓷、高分子材料、薄膜材料，以 及多晶材料和高分子材料的复合材料。
[0206] 优选地，第一压电层410可包括多晶陶瓷的压电材料，并且第二压电层420可包括 高分子材料的压电材料。
[0207]例如，第一压电层410可包括PZT基材料。此外，第二压电层420可包括聚偏氟乙烯 (PVDF)压电材料。
[0208] PZT基压电材料可具有优良的传输特性，而聚偏氟乙烯(PVDF)压电材料可具有宽 共振频带特性，所以包括第一和第二压电层410和420的压电层400可具有宽共振频带特性 和优良的传输特性。
[0209]第一压电层410和第二压电层420可设置为互不相同的厚度。例如，第一压电层 410可以比第二压电层420厚度薄。
[0210] 第一压电层410可以以约Ο.?μπι到约Ιμπι的厚度设置在基板100上。具体地说，第一 压电层410可以以约0.3μηι到约0.8μηι的厚度设置在基板100上。具体地说，第一压电层410可 以以约0.4μπι到约0.6μπι的厚度设置在基板100上。
[0211]如果第一压电层410具有小于约0. Ιμπι的厚度，则第一压电层410可能不具有充分 的传输特性。如果第一压电层410具有超过约IMi的厚度，则指纹传感器的整体厚度可能会 增加。
[0212] 参考图17至图19,第一压电层410可以对应于第一电极310和第二电极320中的至 少一个来设置。
[0213] 例如，参考图17和图18,第一压电层410可以在与第一电极310延伸的方向相同的 方向中延伸。换句话说，第一压电层410可以只设置在第一电极310上。换句话说，第一压电 层410可以设置在与第一电极310所在的区域重叠的区域。
[0214]因此，基板100在其上设置有只设置了第一压电层410的区域和设置了第一和第二 压电层410和420的区域。
[0215] 参考图17到19,第一压电层410可设置在第一电极310的第一电极310与第二电极 320重叠的区域上。换句话说，第一压电层410可设置在节点区域N上。换句话说，第一压电层 410可设置在第一电极310的对应于节点区域N的区域上。
[0216] 第一压电层410只设置在节点区域N上以在指纹传感器被弯曲或折叠时减少在第 一压电层410内产生的应力，从而避免从第一压电层410发生开裂。因此，指纹传感器的可靠 性能够得到提尚。
[0217] 尽管图16至图19示出了包含PZT的压电层410设置在基板100上，并且包含聚偏氟 乙烯(PVDF)的压电层420设置在第一压电层410上，本实施例并不局限于此。换句话说，包含 聚偏氟乙烯(PVDF)的第二压电层420可设置在基板100上，并且包含PZT的第一压电层410可 设置在第二压电层420上。
[0218] 下面，将参考图20至图26描述根据第二实施例的另一个实例的指纹传感器。在根 据第二实施例的另一个实例的指纹传感器的以下描述中，和根据第二实施例的指纹传感 器的以上描述相同或类似的描述将被省略，并且相同的参考标号将被分配给相同的元件。
[0219] 参考图20和图21，在根据第二实施例的另一个实例的指纹传感器中，第一电极和 第二电极可设置在互不相同的位置。
[0220]例如，第一电极310可设置在盖基板500的一个表面上。此外，第二电极320可设置 在压电层400的一个表面上。第二电极可设置在第一压电层410或第二压电层420的一个表 面上。
[0221 ] 和第一实施例一样，第一电极310和第二电极320可包括在互不相同的方向中的至 少一个第一电极图案和至少一个第二电极图案。节点区域N可形成在第一和第二电极图案 相互交叉的区域内。此外，超声波信号可在节点区域N发射或接收。
[0222]此外，压电层400可包括互不相同的材料，并且可包括具有互不相同的厚度的第一 压电层410和第二压电层420。此外，和第一实施例一样，第一压电层410可设置在基板100的 整个表面上，可以和第一电极310重叠，或者可以设置在节点区域N上。
[0223]参考图22至图26，根据第二实施例的又一个实例的指纹传感器，第一电极和第二 电极可设置在互不相同的位置。
[0224] 具体地说，根据又一个实例的指纹传感器，第一电极310和第二电极320可设置在 相同的位置。
[0225] 例如，第一电极310和第二电极320可设置在基板100的同一个表面上。在这种情况 下，第一电极310可以相互连接，并且第二电极320可以不相互连接。
[0226] 参考图23,第一电极310和第二电极320可设置在基板100的一个表面上，并且第一 压电层410可设置在第一电极310和第二电极320上。
[0227] 此外，和第一实施例一样，第一压电层410可设置在基板100的整个表面上，和第一 电极310重叠，或者设置在节点区域N上。
[0228] 此外，第二压电层420可设置在第一压电层410上。
[0229]和上文描述的第一实施例一样，第一压电层410和第二压电层420可具有互不相同 的厚度和/或互不相同的压电材料。
[0230]第一压电层410和第二压电层420可形成为在其内有孔H。具体地说，第一压电层 410和第二压电层420可形成为在其内有孔H以暴露第二电极320的一个表面。
[0231] 连接电极325设置在第二压电层420上。具体地说，连接电极325可通过孔H将第二 电极320相互连接。
[0232] 在这种情况下，第一电极310和连接电极325可设置在相互重叠的位置。换句话说， 第一电极310和第二电极320可通过连接电极325设置在第一压电层410和第二电极420的上 面和下面。用于发射超声波信号的节点区域N可形成在第一电极310和连接电极325重叠的 位置。
[0233] 参考图24,第一压电层410和第二压电层420可设置在基板100上。具体地说，第一 压电层410和第二压电层420可设置在基板100的一部分上。例如，第一压电层410和第二压 电层420可覆盖第一电极310。
[0234] 此外，连接电极325可设置在第二压电层420上。具体地说，连接电极325可设置在 第二压电层420上，用于将和第一电极310相邻并且设置在基板100同一个表面上的第二电 极320相互连接。
[0235] 在这种情况下，第一电极310可以和连接电极325重叠。换句话说，第一和第二电极 310和320可通过连接电极325设置在第一压电层410和第二压电层420的上面和下面。用于 发射超声波信号的节点区域N可形成在第一电极310和连接电极325相互重叠的位置。换句 话说，第一压电层410和第二压电层420可在基板100上和节点区域N重叠。
[0236] 尽管图22和图23示出了压电层设置在第一和第二电极上，本实施例不局限于此。 换句话说，第一和第二电极可设置在压电层上。
[0237] 参考图25,连接电极325设置在基板100上。第一压电层410和第二压电层420可设 置为围绕连接电极325。第一压电层410和第二压电层420可形成为在其内有孔以暴露连接 电极325-个表面。
[0238] 第一和第二电极310和320可设置在第二压电层420上。例如，第一电极310可设置 在第二压电层420上，并且第二电极320可设置在具有孔的第二压电层420上。第二电极320 可以和连接电极325连接，使得第二电极320可相互连接。
[0239] 在这种情况下，第一电极310和连接电极325可设置在相互重叠的位置。换句话说， 第一电极310和第二电极320可通过连接电极325设置在第一压电层410和第二压电层420 的上面和下面。用于发射超声波信号的节点区域N可以形成在第一电极310和连接电极325 重叠的位置。
[0240] 参考图26,连接电极325可设置在基板100上，并且第一压电层410和第二压电层 420可设置在连接电极325上。第一压电层410和第二压电层420可设置在连接电极325的一 个区域上。换句话说，第一压电层410和第二压电层420可以部分地设置在连接电极325上。
[0241] 第一和第二电极310和320可设置在第二压电层420上。例如，第一电极310可设置 在第二压电层420上，并且第二电极320可以在和连接电极325接触的同时设置在第二压电 层420上。第二电极320的一个表面可和第一压电层410接触。因此，相互间隔的第二电极320 可通过连接电极325相互连接。
[0242] 在这种情况下，第一电极310可和连接电极325重叠。换句话说，第一和第二电极 310和320可通过连接电极325设置在第一压电层410和第二压电层420的上面和下面，并且 用于发射超声波信号的节点区域N可形成在第一电极310和连接电极325重叠的位置。换句 话说，第一压电层410和第二压电层420在和节点区域N重叠的同时设置在连接电极325上。
[0243] 参考图27至图28,根据第三实施例的指纹传感器可以包括基板100、第一电极310、 第二电极320、压电层400、中间层600和盖基板500。
[0244] 由于第一电极310、第二电极320和压电层400与第一实施例的指纹传感器的第一 电极、第二电极和压电层相同或类似，其细节将被省略。
[0245] 参考图28至图30,中间层600可设置在压电层400上。可以在中间层600的至少一个 表面上形成图案。
[0246] 例如，中间层600可以具有一个表面和与该一个表面相对的相对表面。具体地说， 中间层600可具有与压电层400直接或间接地接触的一个表面，以及与盖基板500直接或间 接地接触的相对表面。
[0247] 在中间层600的一个表面和相对表面中的至少一个上可以设置多个突出部分。
[0248] 参考图28，突出部分650可以只设置在中间层600的一个表面上。换句话说，突出部 分650可设置在一个表面上，所述一个表面是中间层600和压电层400之间的边界表面。
[0249] 此外，参考图29,突出部分650可以只设置在中间层600的相对表面上。换句话说， 突出部分650可设置在相对表面上，所述相对表面是中间层600和盖基板500之间的边界表 面。
[0250] 此外，参考图30,突出部分可设置在中间层600的一个表面和相对表面上。换句话 说，突出部分650可设置在一个表面和相对表面上，所述一个表面是中间层600和压电层400 之间的边界表面，所述相对表面是中间层600和盖基板500之间的边界表面。
[0251] 突出部分6