一种倒片机防护装置的制作方法

[0001]
本申请涉及半导体设备领域，具体而言，涉及一种倒片机防护装置。


背景技术：

[0002]
在半导体工艺制程中，倒片机用取放、翻转操作晶圆。倒片机的上料区域具有一个开放开口。由此，在设备运行过程中人员深入设备内部，易造成人员压伤及撞伤风险。


技术实现要素：

[0003]
为改善、甚至解决上述的倒片机的开口无防护的问题，本申请提出了一种倒片机防护装置。
[0004]
本申请是这样实现的：
[0005]
在第一方面，本申请的示例提供了一种防护装置。
[0006]
该防护装置形成于倒片机的壳体开口，以用于对操作倒片机的使用者进行防护。
[0007]
防护装置包括供电设备、光发生器、光接收器以及控制器。
[0008]
其中光发生器设置于壳体开口的一侧，用于发射光线以形成覆盖壳体开口的光幕。
[0009]
其中光接收器设置于壳体开口的另一侧并与光发生器相对。光接收器被配置为接受由光发生器出射的光线以形成连续光路，且在连续光路被截断时由于未接受到光线而产生遮光信号。
[0010]
其中控制器结合于壳体并与光接收器匹配信号连接，用于在接受到遮光信号时发出用以操作倒片机的停机的控制信号。
[0011]
光发生器、光接收器以及控制器均与供电设备匹配电连接。
[0012]
基于增强设备本身安全性能的需要，在设备上添加安全光栅。
[0013]
当操作人员伸入设备内部时，设备运动部件暂停，大大增强设备安全性能。
[0014]
安全光幕发射器发出的光射到接收器，形成保护光幕。当光幕被遮挡时，接收器产生遮光信号，通过信号电缆传输到控制器。控制器将此信号进行处理，产生控制输出信号，以控制倒片机设备的制动控制回路装置，实现倒片机设备停止运行。
[0015]
结合第一方面，在本申请的第一方面的第一种可能的实施方式中，防护装置包括报警器，与控制器通信连接，并与供电设备电连接。
[0016]
倒片机在停机的同时，还可以结合报警器进行告警，从而可以提醒相应的管理和操作人员进行适应性的操作。
[0017]
结合第一方面的第一种实施方式，在本申请的第一方面的第二种可能的实施方中，报警器包括振动报警器、声音报警器、光报警器或声光报警器。
[0018]
可选地，声音报警器是语音报警器。
[0019]
结合第一方面的第二种实施方式，在本申请的第一方面的第三种可能的实施方中，声光报警器包括响铃装置和闪光装置。
[0020]
结合第一方面的第四种实施方式，在本申请的第一方面的第四种可能的实施方中，响铃装置为蜂鸣器。
[0021]
结合第一方面或第一方面的第一至第四种实施方式，在本申请的第一方面的第五种可能的实施方中，光接收器与控制器通过有线或无线信号连接。
[0022]
结合第一方面，在本申请的第一方面的第六种可能的实施方式中，由光发生器产生并用以组成光幕的光线是可见光。
[0023]
结合第一方面，在本申请的第一方面的第七种可能的实施方式中，倒片机具有停机按钮，防护装置包括第一触发器，控制器被配置为通过第一触发器操作停机按钮。
[0024]
结合第一方面的第七种实施方式，在本申请的第一方面的第八种可能的实施方中，倒片机具有开机按钮，防护装置包括第二触发器，控制器被配置为通过第二触发器操作开机按钮。
[0025]
结合第一方面的第八种实施方式，在本申请的第一方面的第九种可能的实施方中，防护装置包括与控制器电连接的自检设备自检设备被配置为获取倒片机的工作状态和/或第二触发器的操作状态，且同时光发生器也与所述控制器电连接。
[0026]
通过对添加的安全光栅进行改进，当操作人员伸入设备内部时，设备运动部件暂停，而当操作人员把身体伸出设备时，设备自动运行，从而大大增强设备安全性能、增加产能。
附图说明
[0027]
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]
图1为用以供本申请实施例中的防护装置安装的倒片机的壳体的结构示意图；
[0029]
图2示出了本申请实施例中的光发生器的结构示意图；
[0030]
图3示出了本申请实施例的防护装置中供电设备、光发生器、光接收器以及控制器配合连接的结构示意图。
[0031]
图标：100-光发生器；101-光幕；102-出射点；103-光线；200
-ꢀ
壳体；201-开口；202-第一侧壁；203-第二侧壁；300-供电设备；400
-ꢀ
光接收器；500-控制器。
具体实施方式
[0032]
本申请基于此提出了一种倒片机防护装置，用以增强设备(倒片机) 的安全性能，以便减少人员被压伤撞伤等情况的发生。该装置可形成光栅，当光栅被遮挡时，设备停止。进一步，基于工作效率、设备利用率方面的考虑，防护装置还可以被设计，从而使得光栅未被遮挡时，设备继续运行。
[0033]
以下就示例中的防护装置进行详细说明。
[0034]
该防护装置应用于倒片机，从而起到对操作者在操作时予以防护。
[0035]
参阅图1，倒片机具有壳体200，且内部的主要倒片设备设置在壳体内部。并且，壳体设置有一个开口201。开口作为操作人员和其它各种相关设备、装置、器件进出倒片机的
通道。
[0036]
本申请示例中的防护装置设置在壳体的开口。其具体的设置方式可以是各种可选的方式，本申请不对其做具体限定。例如，焊接、栓接、粘结、卡接，等等。防护装置中的不同部件的连接方式可以自由地组合、调整，根据倒片机的壳体构造进行选择。
[0037]
参阅图2和图3，防护装置包括供电设备300、光发生器100、光接收器400以及控制器500。其中，供电设备作为电能的供体向光发生器、光接收器以及控制器供电。光发生器、光接收器以及控制器均与供电设备匹配电连接。相应地，供电设备通过电线/电缆分别与光发生器、光接收器以及控制器的相应电线接头电连接(控制器与供电设备通过电缆连接的线路未绘示)。光发生器、光接收器以及控制器共同形成敏感的光路系统(一种光电装置)，在光路被切断或阻断时，可以使倒片机停止/暂停作业，从而确保设备的使用安全。
[0038]
其中的供电设备可以是电源适配器，用以将市电或者其它各种蓄电池的调节、控制为各设备匹配使用的电压、电流等。或者，供电设备为连接插头的电源线，直插市电，并通过该电源线向各个用电设备供电。进一步地，供电设备还可以配备可调电源或逆变器，等等。
[0039]
光发生器100，是用于出射光线的设备。光发生器连接在壳体开口的一侧(第一侧壁202)。光发生器能够在通电的情况下，发射光线以形成覆盖壳体开口的光幕。光发生器的具体构造根据其类型而有所不同。具体而言，光发生器可以是出射不可见光线或者可见光线。例如，光发生器是红外线的设备，或者其可以选择出射红光、蓝光或绿光的设备。
[0040]
光发生器可以通过投射光线103形成光网/光幕101。一种构造方式中，其具有多个光出射点102，并且这些光出射点沿倒片机的壳体的开口的边缘依次间隔地排列。当开口的一侧为直线型边时，则其投射的光线为多个间隔地排布的线性光。当开口的一侧为弯折的边缘时，则其投射的光线为多个间隔地且纵横交叉排布的线性光，即形成网格状光网。
[0041]
从结构而言，光发生器被选择为条状结构的灯带结构。其具有底板和固定在底板上的光源。底板可以是硬质或软质材料制作而成。光源可以是量子点光源或发光二极管光源。因此，光发生器通过胶水粘结在壳体的开口处的壁体上。
[0042]
光接收器400，是与光发生器匹配工作的设备。光接收器与光发生器相对地设置，光接收器投射的出射光线进入到光接收器。光接受器设置于壳体开口的另一侧(第二侧壁203)并与光发生器相对。对应于光发生器光线出射点，光接收器具有相应数量的光线出光点，从而在数量上一一对应且位置上位于同一直线。作为敏感元件，光接收器连接有电路结构，从而能够在接受到光线照射和未接受到光线照射两种状态之间做出相应的动作。例如，当光发生器和光接收器之间不存在遮挡物时，光发生器的出射光线直接到达光接收器。此时，光接收器可以通过电路输出第一信号(例如高电平)。当光发生器和光接收器之间存在遮挡物时，光发生器的出射光线无法到达光接收器，因此，光接收器可以通过电路输出第二信号(例如低电平)。因此，光接收器被设计来接受由光发生器出射的光线，从而形成连续光路。而当在该连续光路被截断时，由于光接收器未接受到光线，从而会产生遮光信号。
[0043]
由此，控制器通过对光接收器所产生的信号，就可以通过内部逻辑判断而可以判断出是否有异物遮挡倒片机的壳体开口。控制器结合 (栓接)于壳体，并且并与光接收器匹配信号连接。光接收器与控制器通过有线或无线信号连接。有线连接例如可以是通过电缆连接。而对于无限连接的方式则可以通过蓝牙通信协议、红外线通信协议、近场通信协议，
等等。相应地，光接收器可以配备对应硬件通信设备。
[0044]
基于本申请防护设备的作用，在控制器接受到由光接受器产生的遮光信号时，其可以发出用以操作倒片机的停机的控制信号。进一步，控制器也可以在遮挡倒片机的壳体开口的遮挡物离开时，执行操作使倒片机继续工作(恢复开机/复机)。
[0045]
为了实现通过控制器操作倒片机，倒片机具有停机按钮和开机按钮防，并且相应地，护装置包括第一触发器和第二触发器。控制器则可以通过两个触发器，分别对应地操作停机按钮和开机按钮。例如触发器是继电器，其通过继电器的输出部分/执行机构操作停机和开机按钮。
[0046]
进一步地，除了能够执行开机和关机操作之外，防护装置还可以进行告警，以便使相应需要了解该情况的人员知晓。对应于此，防护装置包括报警器，且该报警器与控制器通信连接。
[0047]
作为一些具体可选的示例，报警器包括振动报警器、声音报警器、光报警器或声光报警器。其中的声音报警器是语音报警器。声光报警器则包括响铃装置和闪光装置，而响铃装置则可选择为蜂鸣器。
[0048]
对于控制器的具体实现方式，控制器可以是各种能够进行一定数据存储和处理的电子元器件或其集合。例如，中央处理器(cpu)、微控制单元(mcu)、可编辑逻辑控制器(plc)、可编程自动化控制器(pac)、工业控制计算机(ipc)、现场可编程门阵列 (field-programmable gate array，fpga)、专门应用的集成电路芯片 (asic芯片，application specific integrated circuit)，等等。
[0049]
此外，为了实现更高效的工作和低的能耗，防护装置包括与控制器电连接的自检设备。自检设备被用以获取倒片机的工作状态和用于执行倒片机开机的第二触发器的操作状态中的一者或两者。
[0050]
例如，当自检设备被用于检测倒片机的开机状态时，其可以检测到倒片机处于工作状态，从而可以由控制器获得倒片机处于工作状态，并进而使光发生器、光接收器工作，以便更倒片机壳体的开口进行安全设置，避免操作者进入在开机状态下的倒片机。
[0051]
例如，当自检设备被用于检测倒片机的开机状态和第二触发器的操作状态时。此时，控制器可以利用自检设备所反馈上述两个状态，对应地控制倒片机。
[0052]
具体而言，当自检设备获得开机状态为倒片机处于停机状态，且第二触发器并未进行过作动时(即并未触发过倒片机的开机按钮)。则上述两个状态结合表示倒片机处于非工作状态(未被人为开机)，由此，光发生器、光接收器可以停止工作，从而避免不必要的耗电。
[0053]
当自检设备获得开机状态为倒片机处于停机状态，且第二触发器已经进行过作动时(即触发过倒片机的开机按钮)。则上述两个状态结合表示倒片机处于非正常工作状态(认为开机，但是由于操作员进入壳体开口导致的暂时停机)，由此，光发生器正常工作、光接受器也正常工作。
[0054]
基于前述内容，防护设备通过设置自检设备可以实现节能，避免浪费电能。即，倒片机未工作时，防护设备停止；当倒片机工作时，但是其基于设计的防护功能被触发而停机时，防护设备继续正常工作。其中防护设备是否工作，主要是指光接收器、光发生器工作与否，例如是否通电。并且，这样的工作与否状态可以由控制器操控。同时，当光接收器、光发
生器未工作时，控制器也可以对应地操作控制防护设备中的其它各个器件关停，如告警器。
[0055]
通过这样的结构和功能设计，具有防护装置的倒片机能够实现人员进入设备光栅被遮挡，设备停止。另外，倒片机由防护装置提供的防护功能还可以通过如下方式使用：在叠片升降机的工作过程中，当安全光栅(光幕)被遮挡时，该叠料升降机暂停；当未遮挡时，其继续运行。
[0056]
以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。