警报装置及其警报方法与流程

1.本技术案主张2020年7月17日申请的美国正式申请案第16/932,399号的优先权及益处，该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。
2.本公开提供一种警报装置及其警报方法。特别是有关于一种晶圆输送系统的警报装置及其警报方法。


背景技术：

3.在半导体制造的产业中，导入了晶圆自动输送系统。然而，在晶圆的自动输送过程中，由于晶圆的自动输送系统未正常运作，晶圆是可因此损坏。所以，需有一种装置及方法，其是可检测可能的故障，且警报晶圆自动输送设备，进行故障预防，防止晶圆在自动输送过程中被损坏，
4.上文的「先前技术」说明仅是提供背景技术，并未承认上文的「先前技术」说明揭示本公开的标的，不构成本公开的先前技术，且上文的「先前技术」的任何说明均不应作为本案的任一部分。


技术实现要素：

5.本公开提供一种晶圆输送的警报装置，警报装置是可包括图像撷取单元、输入/输出单元以及处理单元。图像撷取单元经配置以撷取晶圆输送系统的至少一个图像；输入/输出单元经配置与晶圆输送系统通信；处理单元电性连接到输入/输出单元以及图像撷取单元，且处理单元经配置以：从图像撷取单元取得至少一个图像；以及在至少一个图像中定义第一边界；在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；当判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交时，通过输入/输出单元将警报信号发送到晶圆输送系统。
6.在一实施例中，处理单元还经配置以：在至少一个图像中定义第二边界；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第二边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第二边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
7.在一实施例中，判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交，还包括：判断晶圆的边缘；以及判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
8.在一实施例中，第一边界包括在第一方向上的第一线以及在第二方向上的第二线。第一方向与第二方向不同。
9.在一实施例中，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台，还包括：依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
10.在一实施例中，输入/输出单元还经配置以从用户端接收输入数据，且可依据输入数据定义第一边界。
11.在一实施例中，警报信号是用以警报晶圆输送系统停止输送晶圆载台。
12.本公开另提供一种警报装置，警报装置是可包括图像撷取单元、输入/输出单元以
及处理单元。图像撷取单元，经配置以撷取显示屏幕的至少一个图像，其中显示屏幕显示晶圆输送系统及第一边界；输入/输出单元经配置与晶圆输送系统通信；处理单元与输入/输出单元以及图像撷取单元电性连接，且经配置以：由图像撷取单元取得至少一个图像；在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台以及第一边界；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中与第一边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
13.在一实施例中，显示屏幕还显示第二边界。处理单元还经配置以：在至少一个图像中定义第二边界；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第二边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第二边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
14.在一实施例中，判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交，还包括：判断晶圆的边缘；以及判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
15.在一实施例中，第一边界包括在第一方向上的第一线以及在第二方向上的第二线。第一方向与第二方向不同。
16.在一实施例中，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台，还包括：依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
17.在一实施例中，警报信号是用以警报晶圆输送系统停止输送晶圆载台。
18.本公开另提供一种晶圆输送的警报方法，包括步骤：通过图像撷取单元取得晶圆输送系统的至少一个图像；通过处理单元定义至少一个图像中的第一边界。通过处理单元，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台。通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
19.在一实施例中，警报方法还包括步骤：通过处理单元定义至少一个图像中的第二边界；通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第二边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第二边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
20.在一实施例中，判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交的步骤，还包括：通过处理单元判断晶圆载台的边缘；以及通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
21.在一实施例中，第一边界包括在第一方向上的第一线以及在第二方向上的第二线。第一方向与第二方向不同。
22.在一实施例中，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台的步骤，还包括步骤：通过处理单元，依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
23.在一实施例中，警报方法还包括步骤：通过输入/输出单元从用户端接收输入数据；其中可依据输入数据定义第一边界。
24.在一实施例中，警报信号是用以警报晶圆输送系统停止输送晶圆载台。
25.上文已相当广泛地概述本公开的技术特征及优点，而使下文的本公开详细描述得以获得较佳了解。构成本公开的权利要求标的的其它技术特征及优点将描述于下文。本公
开所属技术领域中具有通常知识者应了解，可相当容易地利用下文揭示的概念与特定实施例可作为修改或设计其它结构或制程而实现与本公开相同的目的。本公开所属技术领域中具有通常知识者亦应了解，这类等效建构无法脱离后附的权利要求所界定的本公开的精神和范围。
附图说明
26.参阅实施方式与权利要求合并考量图式时，可得以更全面了解本技术案的揭示内容，图式中相同的元件符号是指相同的元件。
27.图1为依据本公开一些实施例一种警报装置的块状示意图。
28.图2为依据本公开一些实施例图像撷取单元拍摄一晶圆传送系统的图像的示意图。
29.图3a到图3d为依据本公开一些实施例该晶圆输送系统的图像的示意图。
30.图4a到图4c为依据本公开一些实施例该晶圆输送系统的示意图。
31.图5a到图5b为依据本公开一些实施例该晶圆输送系统的示意图。
32.图6为依据本公开一些实施例图像撷取单元拍摄一晶圆输送系统的一显示屏幕的图像的示意图
33.图7a到图7c为依据本公开一些实施例显示该晶圆输送系统的该显示屏幕的图像的示意图。
34.图8为依据本公开一些实施例图像撷取单元拍摄一晶圆输送系统的显示屏幕的图像的示意图。
35.图9a到图9c为依据本公开一些实施例显示一晶圆输送系统的屏幕的图像的示意图。
36.图10为依据本公开一些实施例图像撷取单元拍摄一晶圆输送系统的显示屏幕的图像的示意图。。
37.图11a到图11b为依据本公开一些实施例显示一晶圆输送系统的屏幕的图像的示意图。
38.图12为依据本公开一些实施例一种警报方法的流程示意图。
39.图13a到图13b为依据本公开一些实施例一种警报方法的流程示意图。
40.其中，附图标记说明如下：
41.1：警报装置
42.8：显示屏幕
43.9：晶圆传送系统
44.11：图像撷取单元
45.13：输入/输出单元
46.15：处理单元
47.17：通信总线
48.91：机器手臂
49.92：晶圆载台
50.92e1：边缘
51.92e2：边缘
52.150：警报信号
53.1101：图像
54.1102：图像
55.1103：图像
56.1111：图像
57.1112：图像
58.1112'：图像
59.1121：图像
60.1122：图像
61.1131：图像
62.1132：图像
63.1132'：图像
64.1141：图像
65.1142：图像
66.1142'：图像
67.1151：图像
68.1152：图像
69.b11：第一边界
70.b21：第一边界
71.b22：第二边界
72.b31：第一边界
73.b41：第一边界
74.b51：第一边界
75.b52：第二边界
76.b61：第一边界
77.b311：第一线
78.b312：第二线
79.b611：第一线
80.b612：第二线
81.d31：方向
82.d32：方向
83.d61：方向
84.d62：方向
85.s1201：步骤
86.s1202：步骤
87.s1203：步骤
88.s1204：步骤
89.s1205：步骤
90.s1301：步骤
91.s1302：步骤
92.s1303：步骤
93.s1304：步骤
94.s1305：步骤
95.s1305a：步骤
96.s1305b：步骤
97.s1306：步骤
98.t3：时间
99.t3'：时间
100.t11：时间
101.t12：时间
102.t21：时间
103.t22：时间
104.t22'：时间
105.t31：时间
106.t32：时间
107.t41：时间
108.t42：时间
109.t42：时间
110.t51：时间
111.t52：时间
112.t61：时间
113.t62：时间
具体实施方式
114.本公开的以下说明伴随并入且组成说明书的一部分的图式，说明本公开的实施例，然而本公开并不受限于该实施例。此外，以下的实施例可适当整合以下实施例以完成另一实施例。
115.「一实施例」、「实施例」、「例示实施例」、「其他实施例」、「另一实施例」等是指本公开所描述的实施例可包含特定特征、结构或是特性，然而并非每一实施例必须包含该特定特征、结构或是特性。再者，重复使用「在实施例中」一语并非必须指相同实施例，然而可为相同实施例。
116.为了使得本公开可被完全理解，以下说明提供详细的步骤与结构。显然，本公开的实施不会限制该技艺中的技术人士已知的特定细节。此外，已知的结构与步骤不再详述，以免不必要地限制本公开。本公开的较佳实施例详述如下。然而，除了详细说明之外，本公开亦可广泛实施于其他实施例中。本公开的范围不限于详细说明的内容，而是由权利要求定义。
117.应当理解，以下公开内容提供用于实作本发明的不同特征的诸多不同的实施例或
实例。以下阐述组件及排列形式的具体实施例或实例以简化本公开内容。当然，这些仅为实例且不旨在进行限制。举例而言，元件的尺寸并非仅限于所公开范围或值，而是可相依于制程条件及/或装置的所期望性质。此外，以下说明中将第一特征形成于第二特征「之上」或第二特征「上」可包括其中第一特征及第二特征被形成为直接接触的实施例，且亦可包括其中第一特征与第二特征之间可形成有附加特征、进而使得所述第一特征与所述第二特征可能不直接接触的实施例。为简洁及清晰起见，可按不同比例任意绘制各种特征。在附图中，为简化起见，可省略一些层/特征。
118.此外，为易于说明，本文中可能使用例如「之下(beneath)」、「下面(below)」、「下部的(lower)」、「上方(above)」、「上部的(upper)」等空间相对关系用语来阐述图中所示的一个元件或特征与另一(其他)元件或特征的关系。所述空间相对关系用语旨在除图中所绘示的取向外亦囊括元件在使用或操作中的不同取向。所述装置可具有其他取向(旋转90度或处于其他取向)且本文中所用的空间相对关系描述语可同样相应地进行解释。
119.图1为依据本公开一些实施例一种警报装置1的块状示意图。如图1所示，警报装置1是可包括图像撷取单元11、输入/输出单元13以及处理单元15。输入/输出单元13可与晶圆传送系统9通信。图像撷取单元11、输入/输出单元13以及处理单元15是可通过通信总线17电性连接，且在后详细描述之间相互作用。
120.请参考图2，图2为根据依据本公开一些实施例一图像撷取单元11拍摄晶圆传送系统的图像的示意图。特别地是，晶圆传送系统9是可包括一机器手臂91。机械手臂91其是可携带装载有晶圆(未示出)的晶圆载台92，且可输送晶圆载台92。当晶圆输送系统9输送晶圆载台92时，图像撷取单元11其是可撷取晶圆输送系统9的图像。
121.请参考图3a，图3a为依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t11撷取晶圆输送系统9的图像1101。处理单元15是可由图像撷取单元11取得图像1101，以进行进一步的处理。
122.具体来说，在取得图像1101之后，处理单元15是可定义在图像1101中的一第一边界b11。然后，处理单元15是可在图像1101中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1101中的第一边界b11相交。
123.通过图像1101，处理单元15是可判断晶圆载台92未图像1101中的第一边界b11相交。因此，图像撷取单元11是可在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
124.请参考图3b，图3b是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t12撷取晶片传送系统9的图像1102。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1102以进行进一步处理。
125.具体来说，在取得图像1102之后，处理单元15是可定义在图像1102中的第一边界b11。应当注意，在一些实施例中，图像1101和1102是可具有相同的尺寸，且第一边界b11可被定义在图像1101与1102中的相同位置。
126.然后，处理单元15是可在图像1102中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1102中的第一边界b11相交。
127.如图像1102所示，晶圆载台92相对于机械手臂91略微偏移，但晶圆载台92是仍保持平衡在机械手臂91上。因此，处理单元15是可以判断晶圆载台92未与图像1102中的第一
边界b11相交，意即，晶圆载台92的传输是进行中，未被中断。因此，图像撷取单元11可以在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
128.请参考图3c，图3c是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t13撷取晶圆输送系统9的图像1103。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1103以进行进一步的处理。
129.具体来说，在取得图像1103之后，处理单元15是可定义在图像1103中的第一边界b11。应当注意，在一些实施例中，图像1101和1103是可具有相同的尺寸，且第一边界b11可被定义在图像1101与1103中的相同位置。
130.然后，处理单元15是可在图像1103中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92与图像1103中的第一边界b11是否相交。
131.通过图像1103，处理单元15是可判断晶圆载台92未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1103中的第一边界b11相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15是可通过图1所示的输入/输出单元13将一警报信号150发送到晶圆输送系统9。
132.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
133.在一些实施例中，晶圆载台92的边缘是可做为判断晶圆载台92与撷取图像中的第一边界b11是否相交。请参考图3d，图3d是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t13'撷取晶圆输送系统9的图像1103'。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1103'以进行进一步处理。
134.具体来说，在取得图像1103'之后，处理单元15是可定义在图像1103'中的第一边界b11。应当注意，在一些实施例中，图像1101和1103'是可具有相同的尺寸，且第一边界b11可被定义在图像1101与1103'中的相同位置。
135.然后，处理单元15是可在图像1103'中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92。再者，处理单元15是可判断晶圆载台边缘92，然后判断晶圆载台边缘92是否与图像1103'中的第一边界b11相交。
136.通过图像1103'，处理单元15是可判断晶圆载台92未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92的边缘92e1与图像1103'中的第一边界b11相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
137.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
138.请参考图4a，图4a是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t21撷取晶圆输送系统9的图像1111。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1111以进行进一步的处理。
139.具体来说，在取得图像1111的后，处理单元15是可定义在图像1111中的一第一边界b11以及一第二边界b21。然后，处理单元15是可在图像1111中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1111中的第一边界b21或第二边界b22相交。
140.通过图像1111，处理单元15是可判断晶圆载台92未图像1111中的第一边界b21或
第二边界b22相交。因此，图像撷取单元11可以在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
141.请参考图4b，图4b是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t22撷取晶圆输送系统9的图像1112。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1112以进行进一步处理。
142.具体来说，在取得图像1112之后，处理单元15是可定义在图像1112中的第一边界b11以及第二边界b21。应当注意，在一些实施例中，图像1111和1112是可具有相同的尺寸，且第一边界b21及第二边界b22可被定义在图像1111与1112中的相同位置。
143.然后，处理单元15是可在图像1112中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1112中的第一边界b21或第二边界b22相交。
144.通过图像1112，处理单元15是可判断晶圆载台92是由于撞击移位，离开机械手臂91的表面，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1112中的第二边界b22相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
145.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
146.请参考图4c，图4c是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t22'撷取晶圆输送系统9的图像1112'。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1112'以进行进一步处理。
147.具体来说，在取得图像1112'之后，处理单元15是可定义在图像1112'中的第一边界b21以及第二边界b22。应当注意，在一些实施例中，图像1111和1112'是可具有相同的尺寸，且第一边界b21及第二边界b22可被定义在图像1111与1112'中的相同位置。
148.然后，处理单元15是可在图像1112'中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1112'中的第一边界b21或第二边界b22相交。
149.藉图像1112'，处理单元15是可判断晶圆载台92未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1112'中的第一边界b21相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
150.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
151.请参考图5a，图5a是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t31撷取晶圆输送系统9的图像1121。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1121以进行进一步处理。
152.具体来说，在取得图像1121之后，处理单元15是可定义在图像1121中的一第一边界b31。然后，处理单元15是可在图像1121中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1121中的第一边界b31相交。
153.在一些实施方式中，是可依据晶圆载台92的输送路线来定义第一边界b31。特别地是，晶圆载台92可先沿一第一方向d31输送，然后沿一第二方向d32输送。第一方向d31不同于第二方向d32的传送。因此，第一边界b31是可包括在第一方向d31上的第一线b311以及在
第二方向d32上的第二线b312。
154.通过图像1121，处理单元15是可判断晶圆载台92未与图像1121中的第一边界b31相交。因此，图像撷取单元11可以在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
155.请参考图5b，图5b是依据本公开一些实施例晶圆输送系统9的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11可以在时间t32撷取晶圆输送系统9的图像1122。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1122以进行进一步处理。
156.具体来说，在取得图像1122之后，处理单元15是可定义在图像1122中的第一边界b31。应当注意，在一些实施例中，图像1121和1122是可具有相同的尺寸，且第一边界b11可被定义在图像1101与1102中的相同位置。
157.然后，处理单元15是可在图像1122中识别晶圆输送系统9的晶圆载台92，且判断晶圆载台92是否与图像1122中的第一边界b31相交。
158.通过图像1122，处理单元15可判断晶圆载台92是未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1122中的第一边界b21的第二线b312相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
159.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
160.在一些实施例中，输入/输出单元13是可配置由用户端接收输入数据，且可依据输入数据是定义边界b11、b21、b22或b31。特别地是，输送晶圆载台92的机械手臂91的运输路线在不同情况下是可不同，因此用户可因应不同状况调整，调整停止晶圆载台92输送的边界。
161.在一些实施方式中，输入数据是可包括一边界的位置、长度以及坐标数据。在一些实施方式中，输入数据是由用户直接绘制的线。
162.请参考图6，图6为依据本公开一些实施例，图像撷取单元11拍摄晶圆输送系统9的显示屏幕8的示意图。特别地是，在一些实施例中，当晶圆输送系统9输送晶圆载台92时，另一个图像撷取单元(未示出)是可用在撷取晶圆输送系统9的图像，且在显示屏幕上显示撷取的图像。在此实施例中，一第一边界b41是可被显示在显示屏幕8上。
163.请参考图7a，图7a为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t41撷取拍摄显示屏幕8的图像1131。处理单元15是可由图像撷取单元11取得图像1131以进行进一步的处理。
164.在取得图像1131后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1131中的第一边界b41，且判断晶圆载台92是否与图像1131中的第一边界b41相交。
165.依据图像1131，处理单元15可判断晶圆载台92未与图像1131中的第一边界b41相交。因此，图像撷取单元11可以在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
166.请参考图7b，图7b为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t42撷取拍摄显示屏幕8的图像1132。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1132以进行进一步的处理。
167.在取得图像1132后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1132中的第一边界b41，且判断晶圆载台92是否与图像1132中的第一边界b41相交。
168.藉图像1132，处理单元15是可判断晶圆载台92未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1132中的第一边界b11相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
169.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
170.在一些实施例中，晶圆载台92的边缘是可做为判断晶圆载台92是否与撷取图像中的第一边界b41相交。请参考图7c，图7c为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t42'撷取拍摄显示屏幕8的图像1132'。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1132'以进行进一步的处理。
171.在取得图像1132'后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1132'中的第一边界b41。再者，处理单元15是可判断晶圆载台92的边缘92e2是否与图像1132'中的第一边界b41相交。
172.通过图像1132'，处理单元15是可判断晶圆载台92未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92的边缘92e2与图像1132'中的第一边界b41相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
173.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
174.请参考图8，图8为依据本公开一些实施例，图像撷取单元11拍摄晶圆输送系统9的显示屏幕8的示意图在此实施例中，一第一边界b51以第二边界b52及是可被显示在显示屏幕8上。
175.请参考图9a，图9a为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t51撷取拍摄显示屏幕8的图像1141。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1141以进行进一步处理。
176.在取得图像1141后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1141中的第一边界b51与第二边界b51，且判断晶圆载台92是否与图像1141中的第一边界b51或与第二边界b52相交。
177.通过图像1141，处理单元15是可判断晶圆载台92未与图像1141中的第一边界b51或第二边界b52相交。因此，图像撷取单元11可以在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
178.请参考图9b，图9b为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t52撷取拍摄显示屏幕8的图像1142。处理单元15是可由图像撷取单元11取得图像1142以进行进一步的处理。
179.在取得图像1142后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1142中的第一边界b51与第二边界b52，且判断晶圆载台92是否与图像1142中的第一边界b51或与第二边界b52相交。
180.通过图像1142，处理单元15是可判断晶圆载台92是由于撞击移位，离开机械手臂91的表面，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1142中的第二边界b52相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15是可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
181.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
182.请参考图9c，图9c为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t42'撷取拍摄显示屏幕8的图像1142'。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1142'以进行进一步的处理。
183.在取得图像1142'后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1142'中的第一边界b51与第二边界b52，且判断晶圆载台92是否与图像1142'中的第一边界b51或与第二边界b52相交。
184.藉图像1142'，处理单元15是可判断晶圆载台92未在机械手臂的定位上，且处理单元15判断晶圆载台92与图像1142'中的第一边界b51相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
185.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
186.请参考图10，图10为依据本公开一些实施例，图像撷取单元11拍摄晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像的示意图。在一些实施例中，一第一边界b61是可被显示在显示屏幕8上。
187.在一些实施方式中，是可依据晶圆载台92的输送路线来定义第一边界b61。特别地是，晶圆载台92可先沿一第一方向d61输送，然后沿一第二方向d62输送。第一方向d61不同于第二方向d62的传送。因此，第一边界b61是可包括在第一方向d31上的第一线b611以及在第二方向d62上的第二线b612。
188.请参考图11a，图11a为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t61撷取拍摄显示屏幕8的图像1151。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1151以进行进一步处理。
189.在取得图像1141后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1151中的第一边界b61，且判断晶圆载台92是否与图像1151中的第一边界b61相交。
190.通过图像1151，处理单元15是可判断晶圆载台92未与图像1121中的第一边界b31相交。因此，图像撷取单元11可以在晶圆载台92的传输期间持续进行撷取晶圆运输系统9的图像。
191.请参考图11b，图11b为依据本公开一些实施例显示晶圆输送系统9的显示屏幕8的图像的示意图。详细来说，图像撷取单元11是可在时间t62撷取拍摄显示屏幕8的图像1152。处理单元15可以从图像撷取单元11取得图像1152以进行进一步的处理。
192.在取得图像1152后，处理单元15可识别晶片输送系统9的晶圆载台92与图像1152中的第一边界b61，且判断晶圆载台92是否与图像1152中的第一边界b61相交。
193.通过图像1152，处理单元15可判断晶圆载台92是未在机械手臂的定位上，且处理
单元15判断晶圆载台92与图像1152中的第一边界b61的第二线b612相交。因此，晶圆载台92的输送将停止。因此，处理单元15可通过图1所示的输入/输出单元13将警报信号150发送到晶圆输送系统9。
194.然后，在一些实施例中，晶圆输送系统9可通过警报信号150，是以停止传送晶圆载台92，其是防止在自动传送期间，装载在晶圆载台92中的晶圆被损坏。
195.在一些实施例中，边界b41、b51、b52或b61是可由用户自行调整。特别地是，输送晶圆载台92的机械手臂91的运输路线在不同情况下是可不同，因此用户可因应不同状况调整，调整停止晶圆载台92输送的边界。
196.在一些实施例中，是可用晶圆载台92的部份特征来识别晶圆载台92。举例来说，是可依据晶圆载台92的标记、颜色或形状来识别晶圆载台92。在一些实施例中，是可用边界特征来实现对边界的识别。举例来说，例如，可依据边界的颜色或形状来识别边界。
197.本公开一些实施例包括一警报方法，且其流程图如图12所示。一些实施例的警报方法被用在警报装置(例如，前述实施例的警报装置)警报装置是可包括一图像撷取单元、一输入输出单元以及一处理单元。警报方法的步骤，详述如下。
198.执行步骤s1201，通过图像撷取单元取得晶圆输送系统的至少一个图像。执行步骤s1202，通过处理单元定义该至少一个图像中的一第一边界。执行步骤s1203，通过处理单元，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台。执行步骤s1204，通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
199.如果判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交，执行步骤s1205，处理单元将警报信号由输入/输出单元发送到晶圆输送系统，是以晶圆运输系统停止输送晶圆。如果判断晶圆载台不与至少一个图像中的第一边界相交，则步骤s1201重复进行。
200.本公开一些实施例包括一警报方法，且其流程图13a及图13b中所示的一些实施例的警报方法被用在警报装置(例如，前述实施例的警报装置)。警报装置是可包括一图像撷取单元、一输入输出单元以及一处理单元。警报方法的步骤，详述如下。
201.执行步骤s1301，通过输入/输出单元从用户接收输入数据。输入数据是可包括用于定义所撷取图像中的边界的参数。执行步骤s1302，通过图像撷取单元撷取晶圆传送系统的至少一个图像。
202.执行步骤s1303，通过处理单元定义至少一个图像中的边界。执行步骤s1304，通过处理单元在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台。执行步骤s1305，通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的任何边界相交。
203.如果判断晶圆载台与至少一个图像中的边界之一相交，执行步骤s1306，由处理单元将警报信号通过输入/输出单元发送至晶圆输送系统，且晶圆运输系统停止运输晶圆载台。如果判断晶圆载台不与至少一个图像中的边界相交，则步骤s1302重复进行。
204.在一些实施例中，如图13b所示，步骤s1305是可包括两个子步骤s1305a及s1305b。执行步骤s1305a，通过处理单元判断晶圆载台的边缘。执行步骤s1305b，通过处理单元判断晶圆载台的边缘是否与至少一个图像中的任何边界相交。
205.如果判断晶圆吸盘的边缘与至少一个图像中的边界之一相交，则执行步骤s1306。如果判断晶圆吸盘的边缘不与至少一个图像中的任何边界相交，则重复操作步骤s1302。
206.在一些实施例中，边界中的一个是可包括在第一方向上的一第一线以及在第二方
向上的一第二线。该第一方向与该第二方向是可不同。在一些实施例中，是可依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
207.应当特别理解的是，以上实施例中提到的处理单元可以包括中央处理单元(cpu)、能够执行相关指令的其他硬件电路元件，或者本领域技术人员公知的计算电路的组合。
208.再者，上述实施例中所提的输入/输出单元是可包括用于将信号发送到晶圆输送系统的网络接口。网络接口是可为网络数据发送器与网络数据接收器的组合。输入/输出单元是可包括用于从用户接收输入数据的人机接口设备。
209.再者，上述实施例中提到的通信总线是可包括用在例如图像撷取单元、处理单元以及输入/输出单元类似的元件之间，传输数据的通信接口，且亦可包括一电子总线接口、一光学总线接口或一无线总线接口。然而，以上描述无意限制本公开的硬件实现的实施例。
210.本公开提供一种警报装置，该警报装置是可包括一图像撷取单元、一输入/输出单元以及一处理单元。该图像撷取单元经配置以撷取该晶圆输送系统的至少一个图像；该输入/输出单元经配置与该晶圆输送系统通信；该处理单元电性连接到该输入/输出单元以及该图像撷取单元，该处理单元经配置以：从该图像撷取单元取得该至少一个图像；以及在该至少一个图像中定义一第一边界；在该至少一个图像中识别该晶圆输送系统的一晶圆载台；判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交；当判断该晶圆载台与该至少一个图像中的该第一边界相交时，通过该输入/输出单元将一警报信号发送到该晶圆输送系统。
211.本公开另提供一种警报装置，该警报装置是可包括一图像撷取单元、一输入/输出单元以及一处理单元。该图像撷取单元，经配置以撷取一显示屏幕的至少一个图像，其中该显示屏幕显示一晶圆输送系统及一第一边界；该输入/输出单元经配置与该晶圆输送系统通信；该处理单元与该输入/输出单元以及该图像撷取单元电性连接，且配置以：由该图像撷取单元取得至少一个图像；在该至少一个图像中识别该晶圆输送系统的该晶圆载台以及该第一边界；判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交；以及当判断该晶圆载台与该至少一个图像中与该第一边界相交，则将一警报信号通过该输入/输出单元发送到该晶圆输送系统。
212.本公开另提供一种警报方法，包括：通过一图像撷取单元取得一晶圆输送系统的至少一个图像；通过一处理单元定义该至少一个图像中的一第一边界。通过该处理单元，在至少一个图像中识别该晶圆输送系统的该晶圆载台。通过该处理单元判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交；以及当判断该晶圆载台与该至少一个图像中的该第一边界相交，则将一警报信号通过该输入/输出单元发送到该晶圆输送系统。
213.虽然已详述本公开及其优点，然而应理解可进行各种变化、取代与替代而不脱离权利要求所定义的本公开的精神与范围。例如，可用不同的方法实施上述的许多制程，并且以其他制程或其组合替代上述的许多制程。
214.再者，本技术案的范围并不受限于说明书中所述的制程、机械、制造、物质组成物、手段、方法与步骤的特定实施例。该技艺的技术人士可自本公开的揭示内容理解可根据本公开而使用与本文所述的对应实施例具有相同功能或是达到实质上相同结果的现存或是未来发展的制程、机械、制造、物质组成物、手段、方法、或步骤。据此，此等制程、机械、制造、物质组成物、手段、方法、或步骤是包含于本技术案的权利要求内。