专利名称：移载容器稳压系统结构的制作方法
技术领域：
移载容器稳压系统结构
技术领城
本实用新型涉及一种可确保移载容器内、外气压平衡的技术领域，特 别是涉及一种可防止移栽容器内部产生负压的稳压系统，藉以进一步保护 移栽容器内部的物件。
背景技术：
受到半导体制程技术不断开发与成熟化的影响，晶圓的尺寸已由早期
的3吋、4吋、6吋、8吋进展到12吋，至于晶片上的集成电路线径则不断 的微细化，其线径已由早期的0.25微米发展至90~45奈米，而使电子产 品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展，这也代表半导体制程中 所产生的不良率，对于厂商的损失也大幅的扩大，因此如何进一步的提高 制程良率，是各半导体厂商不断思考的方向；
而影响其制程良率的关键在于晶圆(Wafer)表面的微粒附着量与光罩 (Reticle)表面的微粒、雾化等现象。而目前晶圓或光罩于制作、清洗、操 作与储存、运输的过程中，不论是置于移转容器或无尘室的环境中，均存 在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质 会附着于晶圓或光罩的表面，且在经长时间储存或曝光制程的加热后，会 在晶圆或光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，这些现象均会 造成晶圆良率的降低，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对 上也会提高营运的成本；
因此，为了解决这个问题，业界开发有如美国专利第US 4，532,970号 与美国专利第US 4，534，389号的晶圆、光置密闭移转系统，以确保周圓环 境的微粒或有害物质不致进入紧邻光罩与晶圓的环境中。
而由于晶圆或光罩污损的原因除了微粒外，更进一 步包括环境中的水 气、有毒气体、塑胶制移^^器所释出的硫化物和制作过程中的有害物质，其 会造成雾化与结晶的现象，故为了解决这些问题，业界开发有在移载容器 上加装充、填气的结构，可将干净的惰性气体注入该移载容器内以挤出有 害气体，同时进一步提升该移载容器的气密性，以防止外部微粒进入、且 防止干^今隋性气体流失，如我国专矛]^^第223680号及第1262164号等，其 均在透过该移载容器结构的改变，来提高移载容器的气密性，但在结构上 进行气密性的改良是一项重大的工程，不仅需要增加开发、制模与组装的 成本，且受到材质、盖合力与接触面积等因素的影响，其并无法达到完全气密的效果，因此新型人前曾开发一种循环气流的光罩盒，透过同步注气 与排气的循环气流，来保持光罩盒内部的洁净度。
但新型人并未以此自满，仍以寻求更完善产品予客户为志业，进而发 现该循环气流系统在使用过程中可能因光罩盒内部流道与储存光罩的影 响，造成进气量小于排气量的现象，而使该光罩盒的内部空间与外部环境 形成负压，将影响到该光罩盒的开启便利性，甚至无法有效的开启，如在 机台内运转过程中发生此状况，可能造成制程机台当机或损坏的状况，影 响到制程效率。再者当光罩盒内部空间形成负压时，其在开启的瞬间，外 部气流会形成一股向内的强力气流，此强力气流可能刮伤光罩表面或使微 粒或有害物质因气流而扬起，进而附着于光罩表面，造成后续制程中的不 良品，由于此问题同时存在半导体制程中的其他容器中，如密封式的晶圆 容置箱等，故确实有必要做进一步的改良。
由此可见，上述现有的移载容器稳压系统结构在结构与使用上，显然 仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决移载容器稳压系 统结构存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来 一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决 上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种可兼 具体积小、成本低且使用时可具有全方位调整功能的新型的移载容器稳压 系统结构，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
有鉴于上述现有的移载容器稳压系统结构存在的缺陷，本设计人基于 从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运
用，积极加以研究创新，以辦'Ji殳一种能让前iia曰日圓iOt罩的移载容器在充、填
气的过程中，有效地保持其内、外部气压的平衡的一賴结构的移载容器稳压 系统结构，能够改进一般现有的移载容器稳压系统结构，使其更具有实用 性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具 实用价值的本实用新型。
发明内容
本实用新型的目的在于，克服现有的移载容器稳压系统结构存在的缺 陷，而提供一种新型结构的移载容器稳压系统结构，所要解决的技术问题 是使其藉以让移载容器在充、填气的过程中。其内、外部的气压保持平衡， 避免影响移载容器的开启。 、本实用新，的另一，的在于，提"一种移载容，稳压系统结构,、所要
晶圓或光罩的表面及洁净度。
本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的移载容器稳压系统结构，该稳压系统包括有一装置及至少一移转容器，其中该装置具有至少一进气回路与至少一排气回路，且装置上设有至少一连接进气回路的进气阀件与至少一连接排气回路
的稳压阀件，其中稳压阀件具有一或多数流道孔；而移转容器并具有一可选择性启闭的容置空间，且移转容器上设有多个连通容置空间与外部环境的气阀，不同气阀并可同时串接前述装置的进气阀件与稳压阀件，其中对应稳压阀件的气阀系跨设于流道孔上，使得稳压阀件可同步吸排移载容器容置空间与外部环境的气体。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可以釆用以下的技术措施来进一步实现。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的装置选自晶圓或光罩的管理系统储存拒、容置拒、运输设备或制程设备的进出料机体。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的装置为一供承置光罩盒的收纳拒，其具有至少一供光罩盒放置的摆置单元，摆置单元具有供支撑光罩盒的承座，且承座上设有至少一对应光罩盒的定位元件，而进气阀件与稳压阀件系设于摆置单元的承座表面。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的移转容器选自供容置晶圓或光罩的密封式箱体或盒体等。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的移转容器的气阀具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与 一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圏可相对远离或紧贴隔片，达到让气阀可受进气阀件与稳压阀件作用选择性导通或密封的功效。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的装置的进气阀件具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端分別具有一较大径的抵顶部与 一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设有 一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圏可相对远离或紧贴隔片，达到让进气阀件可受气阀作用选择性导通或密封。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的装置的稳压阀件具有 一 中空的阀体，且阀体顶面形成有一道4交大径的凸环片，且阀体内部形成有一隔片，而同步跨接移载容器气阀内、外部的流道孔设于隔片上。
前述的移载容器稳压系统结构，其中所述的稳压阀件的隔片顶面并具有向上凸出的推杆，供选择性启闭移载容器气阀的气流通道。本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本实用新型移载容器稳压系统结构可达到相当的技术进步性及实
用性，并具有产业上的广泛利用价值，其至少具有下列优点
通过前述技术手段的展现，使得本实用新型的装置在透过稳压阀件排出移载容器内部气体时，可防止移载容器内部空间因排气量大于进气量而产生负压，而不致影响到移载容器的开启，且避免晶圆或光罩表面因瞬间强力气流而污损，其可降低整体的制程成本，而能增进厂商的竟争力与经济效益。
综上所述，本实用新型新颖的移载容器稳压系统结构，尤指一种可避免移载容器因负压而不易开启的的稳压系统，该系统包括有一装置及至少一设于装置上的移转容器，其中装置上设有至少一连接进气回路的进气阀件及至少一连接排气回路的稳压阀件，而移转容器则具有对应装置进气阀件与稳压阀件的气阀，其中稳压阀件上具有可连通移载容器内部空间的流道孔，且该流道孔并可同步连接移载容器的外部空间，使得装置在透过稳压阀件排出移栽容器内部气体时，防止移载容器内部空间因排气量大于进气量而产生负压，而影响到移载容器的开启，且避免移载容器因负压而于开启时产生强力的瞬间进气流动，而伤及移载容器内部物件的表面。本实用新型具有上述诸多优点及实用价值，其不论在产品结构或功能上皆有较大的改进，在技术上有显着的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的移载容器稳压系统结构W增进的突出多项功效，从而更加适于实用，并具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
图l是本实用新型较佳实施例的装置外观立体图。
图2是本实用新型较佳实施例的装置局部与移载容器的外观示意图，
其说明本实用新型的构成及其相对关系。
图3是本实用新型较佳实施例中装置的进气阀件与稳压阀件的局部分
解及剖面示意图。
图4是本实用新型较佳实施例中移载容器的分解示意图。
图5是本实用新型较佳实施例中移载容器的气阀分解及剖面示意图。
图6是本实用新型较佳实施例在实际使用时保持移载容器内部稳压的
剖视图。及稳压阀件接合前的局部剖面示意图。
图8是本实用新型较佳实施例在实际使用中移载容器气阀与进气阀件及稳压阀件接合后的局部剖面示意图。
图9是本实用新型另 一较佳实施例的装置与移载容器的外观示意图。
1:装置10:收纳柜
11:进气回路12:排气回路
15:摆置单元16:承座
17:定位元件18:感应开头
20:进气阀件21:阀体
22:隔片23浮动杆
24:颈部25弹簧
26:密封垫圏27抵顶部
270:透孔271:推杆30:稳压阀件31阀体
32:凸环片33隔片
34:流道孔35推杆
40:进出料机体5:移载容器
50:光罩盒51底座
52:承抵块53贴抵块
55:壳罩60气阀
61:阀体62隔片
63:浮动杆644氐顶部
65:颈部66弹簧
67:密封垫圈70晶圓容置
75:箱门
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的移载容器稳压系统结构其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚的呈现。为了方便说明，在以下的实施例中，相同的元件以相同的编号表示。
本实用#賴是一种移^^,级系乡衫吉构，请参阅图l、图2所示，该稳压系统包括有一装置1与至少一设于装置1上的移载容器5，其中装置1选自晶圆或光罩的管理系统储存拒、容置拒、运输设备或制程设备的进出料机
体等，而移载容器5具有一可选择性启闭的容置空间，该移载容器5选自容置晶圓或光罩的密封式箱体或盒体等，且装置1与移载容器5间具有可选择性充填与排出的气流回路；
本实用新型的移载容器5以光罩盒50为主要实施例，而装置1则以供容置前述光罩盒50的收纳拒10为主要实施例，至于该较佳实施例的详细构成，则请进一步参阅图l、图2及图3所显示，该装置1的收纳拒10具有连接厂务端的进气回路11与排气回路12，且收纳拒10内具有至少一供承置光罩盒50的摆置单元15，摆置单元15具有供支撑光罩盒50的承座16，且承座16上设有至少一对应光罩盒50的定位元件17，让光罩盒50可有效限位于摆置单元15的承座16上，再者承座16另设有感应开关18,供检知与记录光罩盒50,再者摆置单元15的承座16上设有至少一连接进气回路11的进气阀件20与至少一连接排气回路12的稳压阀件30;
其中进气阀件20具有一中空的阀体21，且阀体21内部中段形成有一具较小通孔的隔片22,又阀体21内设有一可相对隔片22通孔滑动的浮动杆23，该浮动杆23两端分别具有一可穿出隔片22的颈部24与一较大径的抵顶部27,其中颈部24上束设有一可选择性封闭隔片22通孔的密封垫圈26，而浮动杆23的抵顶部270与隔片22间顶撑有一弹簧25,让浮动杆23的密封垫圏26可利用弹簧25的压缩相对远离或紧贴隔片22，达到让气流选择性流通的目的，再者前述抵顶部27上具有至少一透孔270，而抵顶部27顶面具有向上凸出的推杆270，供选择性启闭光罩盒50的对应气流通道(如图7、图8所示);
而稳压阀件30具有一中空的阀体31，且阀体31顶面形成有一道较大径的凸环片32，且阀体31内部形成有一隔片33,该阀体31的隔片33邻近凸环片32内缘处形成有一或多个流道孔34，且前述流道孔34并可同时跨越光罩盒50对应气流通道的内部与外部(如图6、图8所示)，且隔片33顶面并具有向上凸出的推杆35,供选择性启闭光罩盒50的对应气流通道如(图7、图8所示);
而移载容器5的光罩盒50则如图4、图5所示，该光罩盒50具有一承置光罩的底座51，且底座51顶面并设有组设呈倒平底U字型支撑体的两承抵块52与一贴抵块53,供支撑与抵顶光罩，又底座51上覆设有一壳罩55，供光罩盒50形成可选择性启闭的密封环境，又光罩盒50在底座51底面设有多个连通前述密封环境的气阀60,且气阀60并分别对应前述收纳拒10摆置单元15的进气阀件20与稳压阀件30;
又该气阀60具有一中空的阀体61,且阀体61内部中4殳形成有一具较小通孔的隔片62，又阀体61内设有一可^J^"隔片62通孔滑动的浮动杆63，该浮动杆63两端分别M^^^^径的:MJ贞部64与一可穿出隔片62的颈部65,其中颈部65上束设有一可选择性封闭隔片62通孔的密封垫圈67，而浮动杆63的抵顶部64与隔片62间顶撑有一弹簧66，让浮动杆63的密封垫圈67可利用弹簧66的压缩相对远离或紧贴隔片62，而浮动杆63的抵顶部64并对应前述进气阀件20与稳压阀件30的推杆27135,达到让气阀60可受进气阀件20与稳压阀件30作用选择性导通的目的(如图7、图8所示)；
藉此，组构成一可有效保持移载容器内、外部环境气压平衡的稳压系
统
通过前述的设计，本实用新型在实际使用时，则如图6、图7及图8所揭示者，当移载容器5中容置有光罩30的光罩盒50未置于装置1的收纳拒IO摆置单元15上时，该光罩盒50底座51的不同气阀60由于未受任何外力的推抵，因此气阀60中的浮动杆63受弹簧66回复预力顶撑而向下定位，使浮动杆63上的密封垫圏67贴抵于隔片62，让光罩盒50容置光罩的内部空间呈气密状(如图7所示)。而收纳拒10的进气阀件20亦未受任何外力的推抵，因此进气阀件20中的浮动杆23受弹簧25回复预力顶撑而向下定位，使浮动杆23上的密封垫圈26贴抵于隔片62，让收纳柜10的进气回路ll(如图1所示)无法由进气阀件20排出气体；
反之，如图8所示，当光罩盒50置于摆置单元15的承座16上时，该光罩盒50底座51的不同气阀60适可与承座16上的进气阀件20与稳压阀件30相对接合，其中气阀60的浮动杆63受到进气阀件20的推杆271的推抵，使进气阀件20与气阀60的浮动杆2363同步压缩弹簧2566，使进气阀件20与气阀60的浮动杆2363上的密封垫圈2667远离隔片2262，让进气回路11内的洁净空气可由进气阀件20与气阀60注入光罩盒50的内部空间。且光罩盒50对应稳压阀件30的气阀60浮动杆63受稳压阀件30的推杆35的推抵，使该气阀60的浮动杆63压缩弹簧66,而令气阀60的浮动杆63上的密封垫圈67远离隔片62，让光罩盒50内的空气可经气阀60与稳压阀件30由收纳柜10的排气回路12(如图l)排出，且由于该稳压阀件30的阀体31流道孔34同时跨越于气阀60的外部，使稳压阀件30可同步吸入光罩盒50外部的气体(如图8所示)，如此即可避免因排气量大于进气量而让光罩盒50内部空间形成负压现象，使光罩盒50在未开启前，其内、外环境的气压保持平衡，不致影响光罩盒50的开启，且进一步不致发生外部气流瞬间向内强力流动的现象，防止其刮伤光罩盒50内部光罩表面或使微粒与有害物质因气流而扬起，进而附着于光罩表面，以提升整体制程的效率与良率。
又本实用新型另有一实施例，其如图9所示，本实用新型的移载容器5可为容置晶圓的晶圆容置箱70,该晶圓容置箱70并具有可选择性启闭的箱门75，而装置1则可选自制程设备的进出料机体40，其一样具有前述的功效与效能。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1、一种移载容器稳压系统结构，其特征在于其包括一装置及至少一移转容器，其中该装置具有至少一进气回路与至少一排气回路，且装置上设有至少一连接进气回路的进气阀件与至少一连接排气回路的稳压阀件，其中稳压阀件具有一或多数流道孔；而移转容器并具有一可选择性启闭的容置空间，且移转容器上设有多个连通容置空间与外部环境的气阀，不同气阀并可同时串接前述装置的进气阀件与稳压阀件，其中对应稳压阀件的气阀跨设于流道孔上，使得稳压阀件可同步吸排移载容器容置空间与外部环境的气体。
2、 根据权利要求l所述的移载容器稳压系统结构，其特征在于其中所 述的装置选自晶圓或光罩的管理系统储存拒、容置拒、运输设备或制程设 备的进出料机体。
3、 根据权利要求l所述的移载容器稳压系统结构，其特征在于其中所 述的装置为一供承置光罩盒的收纳拒，其具有至少一供光罩盒放置的摆置 单元，摆置单元具有供支撑光罩盒的承座，且承座上设有至少一对应光罩 盒的定位元件，而进气阀件与稳压阀件是设于摆置单元的承座表面。
4、 根据权利要求1所述的移载容器稳压系统结构，其特征在于其中所 述的移转容器选自供容置晶圓或光罩的密封式箱体或盒体。
5、 根据权利要求1或4所述的移载容器稳压系统结构，其特征在于其 中所述的移转容器的气阀具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具 较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动 杆两端分别具有一较大径的抵顶部与 一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设 有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑 有一弹簧，让浮动杆的密封垫圈可相对远离或紧贴隔片，达到让气阀可受进气阀件与稳压阀件作用选择性导通或密封的功效。
6、 根据权利要求1或2或3所述的移载容器稳压系统结构，其特征在 于其中所述的装置的进气阀件具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有 一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该 浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿出隔片的颈部，且颈部上 束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间 顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圈可相对远离或紧贴隔片，达到让进气阀件受气阀作用选择性导通或密封。
7、 根据权利要求1或2或3所述的移载容器稳压系统结构，其特征在 于其中所述的装置的稳压阀件具有一中空的阀体，且阀体顶面形成有一道 较大径的凸环片，且阀体内部形絲一隔片，而同步跨接移载容器气阀内、外部的流道孔设于隔片上。
8、根据权利要求7所述的移载容器稳压系统结构，其特征在于其中所 述的稳压阀件的隔片顶面并具有向上凸出的推杆，供选择性启闭移载容器 气阀的气流通道。
专利摘要本实用新型是有关于一种移载容器稳压系统结构，尤指一种可避免移载容器因负压而不易开启的稳压系统，该系统包括有一装置及至少一设于装置上的移转容器，其中装置上设有至少一连接进气回路的进气阀件及至少一连接排气回路的稳压阀件，而移转容器则具有对应装置进气阀件与稳压阀件的气阀，其中稳压阀件上具有可连通移载容器内部空间的流道孔，且该流道孔并可同步连接移载容器的外部空间，使得装置在透过稳压阀件排出移载容器内部气体时，防止移载容器内部空间因排气量大于进气量而产生负压，而影响到移载容器的开启，且避免移载容器因负压而于开启时产生强力的瞬间进气流动，而伤及移载容器内部物件的表面。
文档编号H01L21/67GK201278344SQ20082012700
公开日2009年7月22日 申请日期2008年6月19日 优先权日2008年6月19日
发明者蔡铭贵, 陈俐殷, 黄柏凯 申请人:亿尚精密工业股份有限公司