一种可铜线键接的封装体结构及其制作方法

文档序号:6996037阅读:182来源:国知局
专利名称:一种可铜线键接的封装体结构及其制作方法
技术领域
本发明涉及一种半导体器件的封装体结构及其制作方法,特别涉及ー种可铜线键接的切割DFN封装体结构及其制作方法。
背景技术
现有ー种切割DFN(Dual Flat No-lead)封装体,包含在引线框架上相互电性隔离的第一载片台和第二载片台,用于承载两种不同的FET芯片,或者承载ー个FET芯片和ー个IC控制芯片;还包含延伸至引线框架外相对两侧的若干引脚,用来与外部元器件连接。其中一些所述引脚与所述第一、第二载片台分隔且无电性连接;所述芯片上的电极与该些引脚的电气连接,往往通过连接引线的键接实现。或者,一个载片台上的芯片电极,与另ー个载片台的电气连接,也通过连接引线的键接实现。现在使用铜线键接作为半导体封装中的电气连接十分普遍。然而,由于上述切割DFN封装体在封装完成前,仅使用底部贴胶连接所述第一、第二载片台,使得该引线框架的強度不够,不足以支持用铜线作为上述连接引线进行键接。此时若使用铜线键接,往往会因打线力量太大,致使第一、第二载片台发生震动,而使铜线没有与芯片上的电极正确键接,影响了半导体器件的可靠性,也降低了生产效率。

发明内容
本发明的目的是提供一种可铜线键接的封装体结构及其制作方法,通过改进切割DFN封装体的制作方法,増加引线框架的強度,以支持铜线键接的进行,提高产品质量和生
产效率。为了达到上述目的,本发明的技术方案是提供一种可铜线键接的封装体结构,其特征在于,包含引线框架,其设置有若干载片台,和延伸至所述封装体结构外的若干引脚,以及若干加强筋,其连接相邻的所述载片台;每对相邻载片台之间连接有至少ー个所述加强筋;若干半导体芯片,对应设置在所述若干载片台上;在所述芯片之间,或所述芯片与所述引脚之间,或所述芯片与所述载片台之间,通过铜线键接形成电气连接。所述可铜线键接的封装体结构还包含塑封体,使所述若干载片台及其承载的所述若干芯片封装在所述塑封体内部,并覆盖至所述加强筋的顶面;所述载片台的未连接芯片的底面,以及所述若干引脚暴露在所述塑封体的底面外。所述加强筋在所述塑封体封装后去除,使相邻的所述载片台相互电气隔绝。所述加强筋,其高度低于其连接的所述相邻载片台的高度;所述加强筋底面与所述载片台底面在同一平面上。所述引线框架上的其中一些所述引脚,由所述若干载片台引出;所述芯片的底面与所述载片台的顶面固定连接,使所述芯片设置的若干底部电极,与所述载片台电性连接,并通过该些引脚与外部元器件连接。 所述引线框架上的另ー些所述引脚,与所述若干载片台分隔且无电性连接;所述芯片设置的若干顶部电极,与该些引脚通过铜线键接形成电性连接,并通过该些引脚与外部元器件连接。
一种可铜线键接的封装体结构的制作方法,包含以下步骤步骤I、形成引线框架上连接相邻载片台的若干加强筋;相邻载片台之间形成有至少ー个所述加强筋;步骤2、半导体芯片对应连接在载片台上;芯片之间,或芯片与引脚之间,或芯片与载片台之间通过铜线键接形成电性连接;步骤3、封装帯芯片及键接铜线的引线框架;塑封封装材料覆盖在芯片、载片台的顶部,以及所述加强筋的顶面上,并固化形成塑封体;使载片台的底面、加强筋底面和若干引脚暴露在所述塑封体外;步骤4、从封装体结构的底面,切割去除所述加强筋,在相邻载片台之间形成间隔空隙,实现相邻载片台的电气隔离。所述步骤I中所述加强筋,是在相邻载片台之间的对应位置,通过半腐蚀所述引线框架的上半部分形成的。所述步骤2中还包含,将所述芯片底面与所述载片台的顶面固定连接,使所述芯片的若干底部电极,与所述载片台电性连接,并通过由所述若干载片台引出的若干引脚与外部元器件连接。所述步骤2中还包含,将与所述若干载片台分隔且无电性连接的若干引脚,与所述芯片的若干顶部电极,通过铜线键接形成电性连接。与现有技术相比,本发明所述可铜线键接的封装体结构及其制作方法,其优点在干本发明通过半腐蚀引线框架,形成了与载片台一体的,用于连接相邻载片台的至少ー个加强筋;其在封装完成前,都能有效增强引线框架的整体強度。因而,使该引线框架的強度,足以支持在芯片之间、芯片与载片台之间、芯片与引脚之间使用铜线键接,有效提高产品质量和生产效率。


图I至图4是本发明可铜线键接的封装体结构的制作方法的步骤俯视图;图5至图8是本发明可铜线键接的封装体结构的制作方法的步骤在A-A向的侧剖视图;其中,图I是本发明中所述引线框架的结构俯视图;图2是本发明中芯片贴片与铜线键接的俯视图;图3是本发明中塑封体封装后在图7中B-B向的俯剖视图;图4是本发明中去除加强筋形成封装体成品后在图8中B-B向的俯剖视图;图5是图I在A-A向的侧剖面图;图6是图2在A-A向的侧剖面图;图7是图3在A-A向的侧剖面图;图8是图4在A-A向的侧剖面图。
具体实施方式
以下结合附图,通过优选的具体实施例,详细说明本发明。本发明所提供的封装体结构及制作方法,可适用于所有的半导体芯片,包括FET芯片及IC控制芯片等等。在以下所提供的各具体实施例的详细描述中,以MOSFET芯片为例来详细说明本发明的各项优点及有益效果。但应当注意的是,这些具体描述及实例并非用来限制本发明的范围。配合參见图3、图4及图7、图8所示,本发明所述可铜线键接的封装体,是一切割DFN封装体,其包含设置在引线框架10上分别承载2个MOSFET芯片的第一载片台11、第二载片台12,以及延伸至引线框架10外相对两侧的若干引脚;还包含塑封体60,将所述第一、第二载片台及所述高端和低端MOSFET芯片封装在其内部,而使所述第一、第二载片台的底面,以及所述若干引脚暴露在所述塑封体60的底面外。如图I、图5所示,与现有封装结构最大的不同在干,为了提高所述引线框架10的整体強度,所述引线框架10上设置有若干间隔设置的加强筋20,来连接所述第一、第二载 片台。所述若干加强筋20,是在所述第一、第二载片台之间对应位置,通过半腐蚀所述引线框架10的上半部分形成的;即是说,所述若干加强筋20仅从所述封装体底面向上的位置连接所述第一、第二载片台,所述若干加强筋20的上表面低于所述第一、第二载片台的上表面。该加强筋20会在封装完成后,从所述封装体的底部切割去除,使所述第一载片台11与第二载片台12相互电气隔离。如图2、图6所示,所述第一、第二载片台上的两个MOSFET芯片可以是2个N型或2个P型的MOSFET芯片;令其中一个为高端MOSFET芯片41,另ー个为低端MOSFET芯片42。所述高端和低端MOSFET芯片均具有底部漏极(图中未示出)、顶部源极412、422和顶部栅极 411、422。对应地,在所述引线框架10上设置有与第一、第二载片台分隔且无电性连接的若干引脚,包含高端源极引脚32、高端栅极引脚31、低端源极引脚35和低端栅极引脚34 ;以及所述引线框架10上设置的从第一、第二载片台引出的若干引脚,包含高端漏极引脚33、低端漏极引脚36。其中,所述高端栅极引脚31、高端源极引脚32和低端漏极引脚36,位于所述引线框架10的同一侧;所述高端漏极引脚33、低端栅极引脚34和低端源极引脚35,位于所述引线框架10上与上述相対的ー侧。所述高端MOSFET芯片41粘接在所述第一载片台11上,使其底部漏极与第一载片台11形成电性连接,通过高端漏极引脚33与外部元器件连接;而其顶部源极412和顶部栅极411通过若干铜线50键接,分别与高端源极引脚32、高端栅极引脚31形成电性连接。类似的,低端MOSFET芯片42粘接在第二载片台12上,使其底部漏极与第二载片台12形成电性连接,通过低端漏极引脚36引出;而其顶部源极422和顶部栅极421通过若干铜线50键接,分别与低端源极引脚35、低端栅极引脚34形成电性连接。所述高端MOSFET芯片41的顶部源极412,还与所述第二载片台12通过铜线50键接,即所述高端MOSFET芯片41的顶部源极412与所述低端MOSFET芯片42的底部漏极形成电性连接。如图7、图8所示,所述塑封体60,在封装时向下覆盖至所述加强筋20的顶面,形成位于所述第一、第二载片台之间空隙上半部分61的塑封体部分;而在所述加强筋20切割去除后,该上半部分61的塑封体部分保留,而利用所述第一、第二载片台之间空隙的下半部分62,实现所述第一、第二载片台的电气隔离。配合參见图I至图4,图5至图8所示,上述可铜线键接的封装体的制作方法,包含以下步骤步骤I、形成所述引线框架10上连接第一、第二载片台的至少ー个加强筋20 ;具体的,所述切割DFN封装体的引线框架10上,形成有第一载片台11、第二载片台12,与第一载片台11或第二载片台12相连接或不相连接的若干引脚,尤其还形成有连接在所述第一、第二载片台之间的至少ー个加强筋20。在所述第一、第二载片台之间的对应位置,通过半腐蚀所述引线框架10的上半部分,形成所述加强筋20。与所述第一载片台11相分隔的所述高端栅极引脚31、高端源极引脚32,以及从所述第二载片台12引出的所述低端漏极引脚36,位于所述引线框架10的同一侧;所述引线框架10上与之相対的ー侧,形成有从所述第一载片台11引出的所述高端漏极引脚33,以及与所述第二载片台12分隔的所述低端栅极引脚34、低端源极引脚35。步骤2、芯片贴片及铜线50键接;步骤2. I、高端MOSFET芯片41粘接在所述第一载片台11上,使其底部漏极与第一载片台11形成电性连接,通过低端漏极引脚36引出;而其顶部源极412和顶部栅极411通过若干铜线50键接,分别与高端源极引脚32、高端栅极引脚31形成电性连接。步骤2. 2、低端MOSFET芯片42粘接在第二载片台12上,使其底部漏极与第二载片台12形成电性连接,通过低端漏极引脚36引出;而其顶部源极422和顶部栅极421通过若干铜线50键接,分别与低端源极引脚35、低端栅极引脚34形成电性连接。步骤2. 3、高端MOSFET芯片41的顶部源极,与所述第二载片台12通过铜线50键接,即所述高端MOSFET芯片41的顶部源极412与所述低端MOSFET芯片42的底部漏极形成电性连接。步骤3、封装帯芯片及键接铜线50的引线框架10 ;塑封封装材料覆盖在所述高端和低端的MOSFET芯片上,所述第一、第二载片台的顶部,以及所述加强筋20的顶面上,固化形成所述塑封体60。此时,所述第一、第二载片台的底面、加强筋20的底面,以及所述若干引脚均暴露在所述塑封体60的底面之外。步骤4、切割去除加强筋20 ;从封装体的底面开始,将所述加强筋20切割去除,在所述第一、第二载片台之间形成间隔空隙62,实现该第一、第二载片台的电气隔离。至此,完成所述切割DFN封装体的制作过程。除了封装如上述实施例中所述两个MOSFET芯片,本发明还可以封装用第一、第二载片台分别承载的一 MOSFET芯片和ー IC控制芯片,或其他两种相同或不相同的芯片。由于本发明通过半腐蚀引线框架,形成了与第一、第二载片台一体的,用于连接第一、第二载片台的至少ー个加强筋;在封装完成前,都能有效增强引线框架的整体強度。因而,该引线框架的強度,足以支持在芯片之间、芯片与载片台之间、芯片与引脚之间使用铜线键接,有效提高产品质量和生产效率。尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍,但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后,对于本发明的 多种修改和替代都将是显而易见的。因此,本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
权利要求
1.一种可铜线键接的封装体结构,其特征在于,包含 引线框架(10),其设置有若干载片台,和延伸至所述封装体结构外的若干引脚,以及 若干加强筋(20),其连接相邻的所述载片台;每对相邻载片台之间连接有至少一个所述加强筋(20); 若干半导体芯片,对应设置在所述若干载片台上; 在所述芯片之间,或所述芯片与所述引脚之间,或所述芯片与所述载片台之间,通过铜线(50)键接形成电气连接。
2.如权利要求I所述可铜线键接的封装体结构,其特征在于,还包含塑封体(60),使所述若干载片台及其承载的所述若干芯片封装在所述塑封体¢0)内部,并覆盖至所述加强筋(20)的顶面;所述载片台的未连接芯片的底面,以及所述若干引脚暴露在所述塑封体(60)的底面外。
3.如权利要求2所述可铜线键接的封装体结构,其特征在于,所述加强筋(20)在所述塑封体¢0)封装后去除,使相邻的所述载片台相互电气隔绝。
4.如权利要求I或3所述可铜线键接的封装体结构,其特征在于,所述加强筋(20),其高度低于其连接的所述相邻载片台的高度;所述加强筋(20)底面与所述载片台底面在同一平面上。
5.如权利要求I所述可铜线键接的封装体结构,其特征在于,所述引线框架(10)上的其中一些所述引脚,由所述若干载片台引出;所述芯片的底面与所述载片台的顶面固定连接,使所述芯片设置的若干底部电极,与所述载片台电性连接,并通过该些引脚与外部元器件连接。
6.如权利要求5所述可铜线键接的封装体结构,其特征在于,所述引线框架(10)上的另一些所述引脚,与所述若干载片台分隔且无电性连接;所述芯片设置的若干顶部电极,与该些引脚通过铜线(50)键接形成电性连接,并通过该些引脚与外部元器件连接。
7.一种可铜线键接的封装体结构的制作方法,其特征在于,包含以下步骤 步骤I、形成引线框架(10)上连接相邻载片台的若干加强筋(20);相邻载片台之间形成有至少一个所述加强筋(20); 步骤2、半导体芯片对应连接在载片台上;芯片之间,或芯片与引脚之间,或芯片与载片台之间通过铜线(50)键接形成电性连接; 步骤3、封装带芯片及键接铜线(50)的引线框架(10); 塑封封装材料覆盖在芯片、载片台的顶部,以及所述加强筋(20)的顶面上,并固化形成塑封体¢0);使载片台的底面、加强筋(20)底面和若干引脚暴露在所述塑封体¢0)外; 步骤4、从封装体结构的底面,切割去除所述加强筋(20),在相邻载片台之间形成间隔空隙,实现相邻载片台的电气隔离。
8.如权利要求7所述可铜线键接的封装体结构的制作方法,其特征在于,所述步骤I中所述加强筋(20),是在相邻载片台之间的对应位置,通过半腐蚀所述引线框架(10)的上半部分形成的。
9.如权利要求7所述可铜线键接的封装体结构的制作方法,其特征在于,所述步骤2中还包含,将所述芯片底面与所述载片台的顶面固定连接,使所述芯片的若干底部电极,与所述载片台电性连接,并通过由所述若干载片台引出的若干引脚与外部元器件连接。
10.如权利要求9所述可铜线键接的封装体结构的制作方法,其特征在于,所述步骤2中还包含,将与所述若干载片台分隔且无电性连接的若干引脚,与所述芯片的若干顶部电极,通过铜线(50)键接形成电性连接。
全文摘要
一种可铜线键接的封装体结构及其制作方法,包含引线框架,其设置有若干载片台,和延伸至所述封装体结构外的若干引脚,以及若干加强筋,其连接相邻的所述载片台;每对相邻载片台之间连接有至少一个所述加强筋;若干半导体芯片,对应设置在所述若干载片台上;在所述芯片之间,或所述芯片与所述引脚之间,或所述芯片与所述载片台之间,通过铜线键接形成电气连接。在优选例中,由于通过半腐蚀引线框架,形成了与第一、第二载片台一体的,用于连接第一、第二载片台的至少一个加强筋;在封装完成前,都能有效增强引线框架的整体强度。因而,该引线框架的强度,足以支持在芯片与载片台之间、芯片与引脚之间使用铜线键接,有效提高产品质量和生产效率。
文档编号H01L21/56GK102651360SQ20111005040
公开日2012年8月29日 申请日期2011年2月24日 优先权日2011年2月24日
发明者安荷·叭剌, 薛彦迅, 鲁军 申请人:万国半导体股份有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1