专利名称：一种竖式石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种竖式石英舟，属于石英加工领域。
背景技术：
太阳能电池以其环保、可再生，正被应用越来越广泛。太阳能电池是采用硅片通过离子扩散制成的，扩散工艺一般采用扩散炉。传统的扩散炉采用石英舟水平装载多片硅片后横向送入扩散腔，离子从扩散腔的侧面送入，沉积于硅片表面。传统工艺中，离子从石英舟的一端送入，因石英舟为横向的，硅片水平排列，因此靠近离子送入端的硅片接触的离子密度高于远离离子送入端的硅片，造成扩散后不同硅片之间沉积离子的量不同，扩散不均勻，产品一致性差。
实用新型内容本实用新型为解决现有技术问题，提供一种扩散均勻、效果好的石英舟。本实用新型的技术方案是一种竖式石英舟，包括水平设置于下端的下底盘，以及设置于上端的上底盘，以及至少三根固定连接于所述下底盘和上底盘之间的竖杆；所述竖杆、上底盘和下底盘围成载物腔，所述载物腔的一个侧面设置有开口部。石英舟采用竖式，硅片竖直排列，所有硅片与离子送入端之间的水平距离相同，所有硅片所处位置的离子密度相同，沉积后所有硅片均勻，一致性好。作为优选，所述竖杆的内侧面开有载物槽。作为优选，所述载物槽位于所述开口部的一端向相对侧倾斜向下。倾斜设置有载物槽装载硅片不易滑落，减小意外产生，提高成品率。作为优选，所述竖杆为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。作为优选，所述上底盘上设置有把环。把环的设置便于操作人员抓取石英舟，同时也可避免操作人员抓取石英舟时因不小心接触硅片而带来的污染。作为优选，所述上底盘与下底盘相互平行。作为优选，相邻所述竖杆之间设置有加强片。作为优选，所述加强片的横截面呈弧形，且弧形的凸起面向外侧；加强片的内侧设
置有载物槽。综上所述，本实用新型具有以下优点1、石英舟中硅片竖直排列，接触的离子密度相同，扩散一致性好；2、竖式的石英舟充分利用扩散炉的扩散腔内有效空间，提高了同一扩散腔的扩散量，大大降低的扩散成本，提高效益。
图1为本实用新型实施例一结构示意图；图2为图1的A-A剖面图。[0019]图中，1、上底盘，2、下底盘，3、支撑脚，4、竖杆，5、载物槽，6、加强片，7、把环，8、开口部。
具体实施方式
下面以实施例对本实用新型作进一步说明。实施例一一种竖式石英舟，如图1、2所示，上端设置有上底盘1，上底盘1与下底盘2相互平行，上底盘1上设置有把环7，下底盘2和上底盘1之间固定连接有四根竖杆4，竖杆4呈梯形分布，且位于同一圆周上；竖杆4、上底盘1和下底盘2围成载物腔，载物腔的一个侧面设置有开口部8，除开口部8外，相邻的竖杆4之间设置有加强片6，加强片6的横截面呈弧形，且弧形的凸起面向外侧，竖杆4和加强片6的内侧面开有载物槽5，载物槽位5于开口部的一端向相对侧倾斜向下。其中，加强片6面向载物腔的侧面视为内侧，反之，则视为外侧。实施例二 与实施例一的不同之处在于，上底盘1与下底盘2之间设置有三根竖杆4。
权利要求1.一种竖式石英舟，其特征在于包括水平设置于下端的下底盘(2)，以及设置于上端的上底盘(1)，以及至少三根固定连接于所述下底盘(2)和上底盘(1)之间的竖杆(4);所述竖杆(4)、上底盘(1)和下底盘(2)围成载物腔，所述载物腔的一个侧面设置有开口部(8)。
2.根据权利要求1所述竖式石英舟，其特征在于所述竖杆(4)的内侧面开有载物槽(5)。
3.根据权利要求2所述竖式石英舟，其特征在于所述载物槽(5)位于所述开口部(8) 的一端向相对侧倾斜向下。
4.根据权利要求1或2或3所述竖式石英舟，其特征在于所述竖杆(4)为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。
5.根据权利要求1所述竖式石英舟，其特征在于所述上底盘(1)上设置有把环(J)。
6.根据权利要求1所述竖式石英舟，其特征在于所述上底盘(1)与下底盘(2)相互平行。
7.根据权利要求1所述竖式石英舟，其特征在于相邻所述竖杆(4)之间设置有加强片(6)。
8.根据权利要求7所述竖式石英舟，其特征在于所述加强片(6)的横截面呈弧形，且弧形的凸起面向外侧；加强片(6)的内侧设置有载物槽(5)。
专利摘要一种竖式石英舟，包括水平设置于下端的下底盘，以及设置于上端的上底盘，以及至少三根固定连接于所述下底盘和上底盘之间的竖杆；所述竖杆、上底盘和下底盘围成载物腔，所述载物腔的一个侧面设置有开口部。本实用新型石英舟中硅片竖直排列，接触的离子密度相同，扩散一致性好；竖式的石英舟充分利用扩散炉的扩散腔内有效空间，提高了同一扩散腔的扩散量，大大降低的扩散成本，提高效益。
文档编号H01L21/673GK202230995SQ201120332590
公开日2012年5月23日 申请日期2011年9月6日 优先权日2011年9月6日
发明者宋伟宏, 沈根法, 计斌, 陆建国 申请人:湖州奥博石英科技有限公司