专利名称：用于监控晶片加工机台的工序进度的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种时间继电器，特别是涉及一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置。
背景技术：
在半导体集成电路制造过程中，晶片在化学机械研磨机台中经过抛光后，要继续经过一系列的清洗步骤，除去在抛光过程中，晶片表面所残留的研磨液，以及微粒等脏污，用以保证晶片后续加工制造过程中的质量，从而完整的完成化学机械研磨的工艺。现有的晶片抛光、清洗均是由自动化机台完成，以美国N0VELLUS公司生产的化学研磨机台IPEC776为例，该机台在晶片加工过程中，由于软件发生故障较多而造成机台程序紊乱，进而导致机台无法动作，且该机台没有防呆报警装置，在设计上存在一定的缺陷，而这种缺陷会使处于机台研磨头下及清洗装置中的晶片长时间被研磨液等化学品腐蚀而导致报废；此夕卜，机台若因故障停止生产而不被察觉，更会导致生产中断，影响进度等严重后果。为解决上述问题，本领域技术人员提出了一种用于晶片加工机台的防呆计时报警装置，该装置包括判断模和报警模块；其中判断模块是用于在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子判断所述机台是否无动作；所述报警模块是用于在当前判断出所述机台无动作时发出报警。判断模块可采用具有判断计时时间是否大于设定值功能的计时器。该防呆计时报警装置虽然在一定程度上解决了机台发生故障而不被察觉的问题，但在对晶片精度要求日益提高的今天，其远远无法满足生产的需求。
实用新型内容鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置， 用于解决现有技术中晶片加工进度不精确的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置。一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，包括:数字输入端口、数字输出端口、继电器模块、报警模块；所述数字输入端口用于输出控制信号给晶片加工机台；所述数字输出端口用于采集晶片加工机台的信号；所述继电器模块与所述数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入所述从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口 ；所述报警模块与所述继电器模块相连，用以接收所述报警信号发出报警。优选地，所述继电器模块包括并联的第一继电器、第二继电器、第三继电器；所述第一继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第一继电器的输出端接地；所述第二继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第二继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第二继电器的报警端与所述报警模块相连；所述第三继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第三继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第三继电器的报警端与所述报警模块相连。优选地，所述数字输出端口包括A3管脚、B3管脚、A4管脚、B4管脚、A5管脚、B5管脚；所述数字输出端口的A3管脚与晶片加工机台的电源相连，所述数字输出端口的B3管脚与所述数字输出端口的A3管脚相连；所述数字输出端口的A4管脚与所述第二继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B4管脚与第二继电器的第I管脚相连；所述数字输出端口的A5管脚与所述第三继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B5管脚与第三继电器的第I管脚相连。优选地，所述第一继电器的一端与所述数字输出端口的B3管脚相连，第一继电器的另一端接地。优选地，所述数字输入端口包括A5管脚、B5管脚、A7管脚、B7管脚；所述数字输入端口的A5管脚与所述第二继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B5管脚与第二继电器的第8管脚相连；所述数字输入端口的A7管脚与所述第三继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B7管脚与第三继电器的第8管脚相连。优选地，所述第二继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第二继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第二继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。优选地，所述第三继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第三继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第三继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。优选地，所述第一继电器为常规继电器；所述第二继电器和第三继电器均为时间继电器。如上所述，本实 用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，具有以下有益效果:利用本实用新型所述的用于监控晶片工机台的工序进度的装置可以实现对晶片加工机台中的传感器状态进行监测，及时准确地逮到没有响应的软件，并通过蜂鸣器及时报警，减少产品在机台中异常停留的时间，降低产品报废的风险；此外，本实用新型还可以对机台内部的电源进行监测，从而获知机台的意外断电跳电。
图1显示为本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置的结构示意图。图2显示为本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置中的继电器模块的内部结构示意图。图3显示为本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置中的一种具体的实现结构示意图。元件标号说明I数字输入端口 ；2数字输出端口；3继电器模块；[0023]31第一继电器；32第二继电器；33第三继电器；4报警模块。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。实施例本实施例提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，如图1所示，该装置包括:数字输入端口 1、数字输出端口 2、继电器模块3、报警模块4 ;所述数字输入端口 I用于输出控制信号给晶片加工机台；所述数字输出端口 2用于采集晶片加工机台的信号；所述继电器模块3与所述数字输入端口 I和数字输出端口 2分别相连，通过输入所述从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口 ；所述报警模块4与所述继 电器模块3相连，用以接收所述报警信号发出报警。进一步，如图2所示，所述继电器模块3包括并联的第一继电器31、第二继电器32、第三继电器33 ;所述第一继电器31的输入端与所述数字输出端口 2相连，第一继电器31的输出端接地；所述第二继电器32的输入端与所述数字输出端口 2相连，第二继电器32的控制端与所述数字输入端口 I相连，第二继电器32的报警端与所述报警模块4相连；所述第三继电器33的输入端与所述数字输出端口 2相连，第三继电器33的控制端与所述数字输入端口 I相连，第三继电器33的报警端与所述报警模块4相连。具体地，所述第一继电器为常规继电器；所述第二继电器和第三继电器均为时间继电器。更进一步，如图3所示，所述数字输入端口 I包括A5管脚、B5管脚、A7管脚、B7管脚；所述数字输出端口 2包括A3管脚、B3管脚、A4管脚、B4管脚、A5管脚、B5管脚。所述数字输出端口的A3管脚与晶片加工机台的电源相连，所述数字输出端口的B3管脚与所述数字输出端口的A3管脚相连；所述数字输出端口的A4管脚与所述第二继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B4管脚与第二继电器的第I管脚相连；所述数字输出端口的A5管脚与所述第三继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B5管脚与第三继电器的第I管脚相连。所述数字输入端口的A5管脚与所述第二继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B5管脚与第二继电器的第8管脚相连；所述数字输入端口的A7管脚与所述第三继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B7管脚与第三继电器的第8管脚相连。[0035]所述第一继电器的一端与所述数字输出端口的B3管脚相连,第一继电器的另一端接地。所述第二继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第二继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第二继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。所述第三继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第三继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第三继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。具体地，所述报警模块可采用蜂鸣器。下面以图3所不的结构对cup up sensor和mega door sensor进行监测为例，详细说明本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置的工作过程。设晶片加工机台内部的电源为+24VDC，报警模块采用的外部电源为+24VDC，蜂鸣器的工作电压为+24VDC，本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置的工作电压为+24VDC。首先,对DO (Digital output,数字输出)端口的设置描述如下:A3、B3对应D105-33,用于追踪进程的开始和结束(process begin andcomplete),主要通过控制Timer Relay的电源开关来实现,具体过程为:当Process begin时，D105-33的D0=1，此时第一继电器通电，即本实用新型所述的装置上电；当Processcomplete时，D105-33的DO=O,此时第一继电器断电，即本实用新型所述的装置断电；A4、B4 对应 D105-34，第二继电器用于追踪 HCLU CUPupsensor 的信号 D101-31 ;当CUPup 时 DI=1，此时 D105-34 的 DO=I，第二继电器重置；当 CUP down 时 DI=0，此时 D105-34的DO=O,第二继电器 开始计时。A5、B5对应D105-35，第三继电器用于追踪Mega door open sensor的信号D1014-21，当 door open 时 DI=I，此时 D105-35 的 DO=I，第三继电器重置；当 door close 时D1=0，此时D105-35的D0=0，第三继电器开始计时。其次，对DI (Digital input，数字输入)端口的设置描述如下:A5、B5对应D105-25，当超过设定时，第二继电器的8、9管脚会导通，此时相对应的DI端口的A5、B5管脚被触发，同时第二继电器的5、6管脚导通使报警模块报警。A7、B7对应D105-27，当超过设定时，第三继电器的8、9管脚会导通，此时相对应的DI端口的A7、B7管脚被触发，同时第三继电器的5、6管脚导通使报警模块报警。利用本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置对cup upsensor和mega door sensor状态进行监测,可以非常及时准确地逮到Mirra Mesa软件没有响应，通过蜂鸣器报警告知设备工程师设备有异常状况，减少产品在设备中异常停留的时间，从而降低减少产品报废的风险。此外，本实用新型还可以对机台内部的电源进行监测，从而获知机台的意外断电跳电。综上所述，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下 所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求1.一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于，所述用于监控晶片加工机台的工序进度的装置包括: 数字输入端口，用于输出控制信号给晶片加工机台； 数字输出端口，用于采集晶片加工机台的信号； 继电器模块，与所述数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入所述从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口 ； 报警模块，与所述继电器模块相连，用以接收所述报警信号发出报警。
2.根据权利要求1所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述继电器模块包括并联的第一继电器、第二继电器、第三继电器；所述第一继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第一继电器的输出端接地；所述第二继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第二继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第二继电器的报警端与所述报警模块相连；所述第三继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第三继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第三继电器的报警端与所述报警模块相连。
3.根据权利要求2所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述数字输出端口包括A3管脚、B3管脚、A4管脚、B4管脚、A5管脚、B5管脚；所述数字输出端口的A3管脚与晶片加工机台的电源相连，所述数字输出端口的B3管脚与所述数字输出端口的A3管脚相连；所述数字输出端口的A4管脚与所述第二继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B4管脚与第二继电器的 第I管脚相连；所述数字输出端口的A5管脚与所述第三继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B5管脚与第三继电器的第I管脚相连。
4.根据权利要求3所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述第一继电器的一端与所述数字输出端口的B3管脚相连,第一继电器的另一端接地。
5.根据权利要求2所述的 用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述数字输入端口包括A5管脚、B5管脚、A7管脚、B7管脚；所述数字输入端口的A5管脚与所述第二继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B5管脚与第二继电器的第8管脚相连；所述数字输入端口的A7管脚与所述第三继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B7管脚与第三继电器的第8管脚相连。
6.根据权利要求3所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述第二继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第二继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第二继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。
7.根据权利要求3所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述第三继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第三继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第三继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。
8.根据权利要求2至7任意一项所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于:所述第二继电器和第三继电器均为时间继电器。
专利摘要本实用新型提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，包括数字输入端口、数字输出端口、继电器模块、报警模块；数字输入端口用于输出控制信号给晶片加工机台；数字输出端口用于采集晶片加工机台的信号；继电器模块与数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口；报警模块与继电器模块相连，用以接收报警信号发出报警。利用本实用新型可以实现对晶片加工机台中的传感器状态进行监测，及时准确地逮到没有响应的软件，通过蜂鸣器及时报警，减少产品在机台中异常停留的时间；还可以对机台内部的电源进行监测，从而获知机台的意外断电跳电。
文档编号H01L21/66GK203103270SQ20122060370
公开日2013年7月31日 申请日期2012年11月15日 优先权日2012年11月15日
发明者唐强, 张健 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司