一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置的制作方法

本实用新型属于半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，具体涉及一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置。

背景技术：

半导体硅棒在经过线切割后的第一个工序就是脱胶清洗，把切割成片的硅棒从工件夹板上完整的取下来，这就需要对硅片进行脱胶处理，在整个脱胶过程中，需要使用不锈钢提篮进行装载切割完成的硅棒。并把装有硅棒的不锈钢提篮放到脱胶水槽中。

现有脱胶工艺为全手动脱胶，在进行4寸，5寸小尺寸硅棒脱胶时，一个人还可以操作，6寸，8寸大尺寸硅棒进行脱胶时，就需要多人进行操作，人力增多，并且不安全。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，解决现有现场大尺寸硅棒脱时装有硅棒的不锈钢提篮的升降移动等问题。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，包括小车，小车上垂直设有升降杆，提篮的上方平行设有两个提手，每个提手上分别设置2个用于抓握的“工”字形的把手，所述升降装置还包括可沿升降杆升降的升降块以及固定于升降块上随升降块上升和下降的2个提篮升降臂，提篮升降臂上开设2个把手定位槽，2个把手定位槽之间的距离等于两个提手之间的垂直距离，两个提篮升降臂通过螺栓及升降块上开设的螺栓孔平行固定于升降块上。

本实用新型所述提篮升降臂上靠近升降块一侧的把手定位槽的深度大于另一侧把手定位槽的深度。

本实用新型所述每个“工”字型把手的长度与提篮升降臂的宽度即把手定位槽的宽度相同。

本实用新型所述螺栓孔为4个，每个提篮升降臂通过螺栓固定于2个螺栓孔内。

本实用新型所述升降块沿升降杆的上下升降采用链条驱动实现。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在设有升降机构的小车上设置提篮升降臂实现对提篮的升降，方便、有效解决了脱胶时存在的人力增多、不安全等问题，减少人员操作，提高产品安全；通过升降臂结构的设置，可与提篮的提手完美配合，减少升降过程中移动、晃动和滑落，保证产品的品质。

附图说明

图1为本实用新型提篮结构示意图；

图2为本实用新型提篮升降臂的结构示意图；

图3为本实用新型一个实施例的使用状态示意图。

图中标记：1、提篮，2、提手，3、把手，4、提篮升降臂，5、把手定位槽，6、厂房地面，7、升降块，8、固定孔，9、小车，10、脱胶水槽，11、轮臂把手，12、升降杆。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式进行详细的阐述和说明。

如图所示，一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，包括小车9，小车9为现有技术，小车9上垂直设有升降杆12，提篮1的上方平行设有两个提手2，每个提手2上分别设置2个用于抓握的“工”字形的把手3，所述升降装置还包括可沿升降杆12升降的升降块7以及固定于升降块7上随升降块7上升和下降的2个提篮升降臂4，提篮升降臂4上开设2个把手定位槽5，2个把手定位槽5之间的距离等于两个提手2之间的垂直距离，两个提篮升降臂4通过螺栓及升降块7上开设的螺栓孔8平行固定于升降块7上。

进一步，所述提篮1、升降杆12以及升降块7均为不锈钢结构。

进一步，所述提篮升降臂4上靠近升降块7一侧的把手定位槽5的深度大于另一侧把手定位槽5的深度，防止不锈钢提篮在移动时滑落。

进一步，所述每个“工”字型把手3的长度与提篮升降臂4的宽度即把手定位槽5的宽度相同，防止不锈钢提篮左右移动。

进一步，所述螺栓孔8为4个，每个提篮升降臂4通过螺栓固定于2个螺栓孔8内。

进一步，由于提篮升降臂4上靠近升降块7一侧的把手定位槽5的深度大于另一侧把手定位槽5的深度，因此提篮升降臂4的厚度根据实际需要由靠近升降块7一侧向另一侧逐渐减小，由此可以节约不锈钢资源，同时降低装置的重量，操作起来较为省力。

进一步，所述升降块7沿升降杆12的上下升降采用链条驱动实现，且在升降块7上设有用于摇动使升降块7升降的轮臂把手11。链条驱动实现升降属于现有技术，本领域技术人员可以根据实际情况设计实现。

本实用新型工作过程：

在进行大尺寸硅棒脱胶时，把提篮升降臂4通过升降杆12上的螺栓孔8安装到小车9上。把装有需要脱胶的硅棒放入不锈钢提篮1中，把小车9推到提篮1处，摇动小车9的轮臂把手11，使提篮1的把手3准确嵌入把手定位槽5中。之后，把小车推到脱胶水槽10处，摇动轮臂把手11，把不锈钢提篮1放入脱胶水槽10，并退出小车9。反之亦然。

技术特征：

1.一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，包括小车（9），小车（9）上垂直设有升降杆（12），提篮（1）的上方平行设有两个提手（2），每个提手（2）上分别设置2个用于抓握的“工”字形的把手（3），其特征在于：所述升降装置还包括可沿升降杆（12）升降的升降块（7）以及固定于升降块（7）上随升降块（7）上升和下降的2个提篮升降臂（4），提篮升降臂（4）上开设2个把手定位槽（5），2个把手定位槽（5）之间的距离等于两个提手（2）之间的垂直距离，两个提篮升降臂（4）通过螺栓及升降块（7）上开设的螺栓孔（8）平行固定于升降块（7）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，其特征在于：所述提篮升降臂（4）上靠近升降块（7）一侧的把手定位槽（5）的深度大于另一侧把手定位槽（5）的深度。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，其特征在于：所述每个“工”字型把手（3）的长度与提篮升降臂（4）的宽度即把手定位槽（5）的宽度相同。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，其特征在于：所述螺栓孔（8）为4个，每个提篮升降臂（4）通过螺栓固定于2个螺栓孔（8）内。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，其特征在于：所述升降块（7）沿升降杆（12）的上下升降采用链条驱动实现。

技术总结
一种用于硅片脱胶用提篮的升降装置，涉及半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，包括小车，小车上垂直设有升降杆，提篮的上方平行设有两个提手，每个提手上分别设置2个用于抓握的“工”字形的把手，所述升降装置还包括可沿升降杆升降的升降块以及固定于升降块上随升降块上升和下降的2个提篮升降臂，提篮升降臂上开设2个把手定位槽，2个把手定位槽之间的距离等于两个提手之间的垂直距离，两个提篮升降臂通过螺栓及升降块上开设的螺栓孔平行固定于升降块上。本实用新型有益效果：通过在设有升降机构的小车上设置提篮升降臂实现对提篮的升降，方便、有效解决了脱胶时存在的人力增多、不安全等问题，减少人员操作，提高产品安全。

技术研发人员：王晓飞;张明亮;张亮
受保护的技术使用者：麦斯克电子材料有限公司
技术研发日：2019.11.04
技术公布日：2020.06.30