一种固晶机视觉定位系统的制作方法

1.本实用新型属于固晶机检测机构技术领域，具体是一种固晶机视觉定位系统。


背景技术：

2.固晶机是芯片封装过程中所使用的设备，其中视觉定位是固晶精度的重要保证，目前固晶机的视觉配置有固晶相机和取晶相机，其中固晶相机在吸嘴取晶前对芯片进行定位，固晶相机在固晶前识别基板位置。
3.因此，需要设计一种固晶机视觉定位系统，检测取晶动作和搬运动作过程中对芯片造成的位置偏移。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供了一种固晶机视觉定位系统，可以检测取晶动作和搬运动作过程中对芯片造成的位置偏移。
5.为达到上述目的，本实用新型是一种固晶机视觉定位系统，包括固晶相机、旋转固晶头、取晶相机、上视相机，固晶相机、取晶相机设置在旋转固晶头四周，固晶相机正对于固晶位，取晶相机正对于取晶位，上视相机设置在旋转固晶头下方，上视相机包括反射镜片、光源、镜头、微型相机，反射镜片设置在镜头前侧，镜头的前部设有光源，镜头与微型相机前侧连接，反射镜片所反射的晶圆图像与镜头同光轴。
6.所述的反射镜片呈45
°
倾斜设置。
7.所述的旋转固晶头包括吸嘴、同步轮、同步带、主动轮、调节电机、真空接口，调节电机的轴与主动轮连接，主动轮与同步轮采用同步带连接，吸嘴与同步轮连接，吸嘴穿过同步轮与真空接口连接。
8.所述的镜头前部的四角均设有光源。
9.本实用新型同现有技术相比，通过上视相机检测旋转固晶头吸取过程中对芯片造成的偏移，通过旋转固晶头带动芯片旋转完成芯片位置的修正，可以使固晶精度提高到较高水平。
附图说明
10.图1为本实用新型的工作示意图。
11.图2为本实用新型上视相机的结构示意图。
12.图3为本实用新型上视相机的侧视图。
13.图4为本实用新型旋转固晶头的立体图。
14.图5为本实用新型旋转固晶头的侧视图。
具体实施方式
15.现结合附图对本实用新型做进一步描述。
16.如附图1所示，本实用新型是一种固晶机视觉定位系统，包括固晶相机1、旋转固晶头2、取晶相机3、上视相机4，固晶相机1、取晶相机3设置在旋转固晶头2四周，固晶相机1正对于固晶位5，取晶相机3正对于取晶位6，上视相机4设置在旋转固晶头2下方，结合图2、图3，上视相机4包括反射镜片4-1、光源4-2、镜头4-3、微型相机4-4，反射镜片4-1设置在镜头4-3前侧，镜头4-3的前部设有光源4-2，镜头4-3与微型相机4-4前侧连接，反射镜片4-1所反射的晶圆图像与镜头4-3同光轴。
17.其中，如图2所示，反射镜片4-1呈45
°
倾斜设置在镜头4-3前侧，可以使晶圆入射角与出射角之间的夹角为90度，如图4、图5所示，旋转固晶头2包括吸嘴2-1、同步轮2-2、同步带2-3、主动轮2-4、调节电机2-5、真空接口2-6，调节电机2-5的轴与主动轮2-4连接，主动轮2-4与同步轮2-2采用同步带2-3连接，吸嘴2-1与同步轮2-2连接，吸嘴2-1穿过同步轮2-2与真空接口2-6连接。
18.实施例：取晶相机3搜索定位芯片，取晶位6将芯片顶起，旋转固晶头2将芯片吸起，移动到上视相机4上方，上视相机4对芯片进行拍照检测其偏移量，检测结果传送给旋转固晶头2通过调节电机2-6带动吸嘴2-1转动，对芯片进行旋转矫正，矫正完成后将芯片移动到固晶位5上，固晶相机1预先对固晶位5上的基板完成定位，旋转固晶头2将芯片贴到完成定位的基板上。
19.因此采用本实用新型可以检测取晶动作和搬运动作过程中对芯片造成的位置偏移。


技术特征：
1.一种固晶机视觉定位系统，包括固晶相机（1）、旋转固晶头（2）、取晶相机（3）、上视相机（4），固晶相机（1）、取晶相机（3）设置在旋转固晶头（2）四周，固晶相机（1）正对于固晶位（5），取晶相机（3）正对于取晶位（6），其特征在于：上视相机（4）设置在旋转固晶头（2）下方，上视相机（4）包括反射镜片（4-1）、光源（4-2）、镜头（4-3）、微型相机（4-4），反射镜片（4-1）设置在镜头（4-3）前侧，镜头（4-3）的前部设有光源（4-2），镜头（4-3）与微型相机（4-4）前侧连接，反射镜片（4-1）所反射的晶圆图像与镜头（4-3）同光轴。2.根据权利要求1所述的一种固晶机视觉定位系统，其特征在于：所述的反射镜片（4-1）呈45
°
倾斜设置在镜头（4-3）前侧。3.根据权利要求1所述的一种固晶机视觉定位系统，其特征在于：所述的旋转固晶头（2）包括吸嘴（2-1）、同步轮（2-2）、同步带（2-3）、主动轮（2-4）、调节电机（2-5）、真空接口（2-6），调节电机（2-5）的轴与主动轮（2-4）连接，主动轮（2-4）与同步轮（2-2）采用同步带（2-3）连接，吸嘴（2-1）与同步轮（2-2）连接，吸嘴（2-1）穿过同步轮（2-2）与真空接口（2-6）连接。4.根据权利要求1所述的一种固晶机视觉定位系统，其特征在于：所述的镜头（4-3）前部的四角均设有光源（4-2）。

技术总结
本实用新型属于固晶机检测机构技术领域，具体是一种固晶机视觉定位系统，包括固晶相机、旋转固晶头、取晶相机、上视相机，固晶相机、取晶相机设置在旋转固晶头四周，固晶相机正对于固晶位，取晶相机正对于取晶位，上视相机设置在旋转固晶头下方，上视相机包括反射镜片、光源、镜头、微型相机，反射镜片设置在镜头前侧，镜头的前部设有光源，镜头与微型相机前侧连接，反射镜片所反射的晶圆图像与镜头同光轴。同现有技术相比，通过上视相机检测旋转固晶头吸取过程中对芯片造成的偏移，通过旋转固晶头带动芯片旋转完成芯片位置的修正，可以使固晶精度提高到较高水平。固晶精度提高到较高水平。固晶精度提高到较高水平。


技术研发人员：渠敬国 王世渊 耿爽
受保护的技术使用者：上海赢朔电子科技股份有限公司
技术研发日：2021.09.18
技术公布日：2022/4/6