一种离子注入机用护板的制作方法

1.本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机用护板。


背景技术：

2.离子注入机由离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔五部分组成，离子引出是在工艺腔内部，是利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离产生需要的离子，从而通过气流带动离子注入所需区域内，工艺腔长期使用时会粘附较多的离子，需要定期清洁，较为麻烦，所以我们提出一种离子注入机用护板。
3.现有专利(公告号：cn212725222u)，一种离子注入机用护板，包括若干用于遮挡离子注入机工艺腔内壁的单元板，若干所述单元板可拆卸的设于工艺腔内。本实用新型还公开一种离子注入机，包括工艺腔，所述工艺腔内可拆卸的设有护板。
4.在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决；上述装置虽然设置护板，通过护板吸附离子，但仍然需要停机取下护板进行清洁，此时离子注入机无法工作，使得离子注入机的工作效率较低。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种离子注入机用护板，解决了背景技术中所提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用护板，包括离子机工艺腔，离子机工艺腔内壁顶部固定安装有第一导辊体，离子机工艺腔内壁底部固定安装有第二导辊体，第一导辊体和第二导辊体外部活动安装有防护筒体，离子机工艺腔内壁固定安装有第一限位座和第二限位座，第二限位座底部固定安装有马达电机，马达电机的电机轴固定安装有清洗刷体，第二限位座底部固定安装有水密封轴承板，离子机工艺腔内壁底部两侧均开设有通孔，离子机工艺腔外部连通安装有去离子水管和排水管，去离子水管中部固定安装有电磁阀，离子机工艺腔内壁底部固定安装有安装架，安装架外部固定安装有电机。
7.作为本实用新型的一种优选实施方式，防护筒体外壁与第一导辊体和第二导辊体的外部接触。
8.作为本实用新型的一种优选实施方式，第二限位座位于防护筒体的内部，第一限位座位于防护筒体的外部两侧。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，清洗刷体外部与防护筒体的内壁相接触。
10.作为本实用新型的一种优选实施方式，电机的电机轴固定安装有摩擦辊，摩擦辊与防护筒体外壁相接触。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.1.本实用新型通过防护筒体对离子机工艺腔内壁进行防护，当防护筒体内壁粘附
较多的离子时，可通过去离子水管往第二限位座和防护筒体形成的腔体内部充入去离子水，并且配合马达电机带动清洗刷体旋动，可提升防护筒体内壁的清洁质量，使用后的去离子水可从排水管排出，该结构不需要拆卸离子机工艺腔和防护筒体，并且不需要停机便可清理防护筒体内壁粘附的离子，使用较为方便。
13.2.本实用新型通过第二导辊体和第一导辊体对防护筒体进行滚动支撑，电机带动摩擦辊旋动，摩擦辊与防护筒体外壁接触可带动防护筒体旋动，配合去离子水管输送的去离子水以及旋动的清洗刷体，可对防护筒体内壁进行完全清洁，操作简易并且清洁效率高。
附图说明
14.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
15.图1为本实用新型一种离子注入机用护板的主视图；
16.图2为本实用新型一种离子注入机用护板的俯视图；
17.图3为本实用新型一种离子注入机用护板马达电机外部的结构示意图。
18.图中：1、离子机工艺腔；2、第一导辊体；3、防护筒体；4、第一限位座；5、第二限位座；6、马达电机；7、第二导辊体；8、摩擦辊；9、安装架；10、电机；11、去离子水管；12、电磁阀；13、排水管；14、水密封轴承板；15、通孔；16、清洗刷体。
具体实施方式
19.如图1-3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种离子注入机用护板，包括离子机工艺腔1，离子机工艺腔1内壁顶部固定安装有第一导辊体2，离子机工艺腔1内壁底部固定安装有第二导辊体7，第一导辊体2和第二导辊体7外部活动安装有防护筒体3，离子机工艺腔1内壁固定安装有第一限位座4和第二限位座5，第二限位座5底部固定安装有马达电机6，马达电机6的电机轴固定安装有清洗刷体16，第二限位座5底部固定安装有水密封轴承板14，离子机工艺腔1内壁底部两侧均开设有通孔15，离子机工艺腔1外部连通安装有去离子水管11和排水管13，去离子水管11中部固定安装有电磁阀12，离子机工艺腔1内壁底部固定安装有安装架9，安装架9外部固定安装有电机10。
20.本实施例中如图1和图2所示，通过防护筒体3对离子机工艺腔1内壁进行防护，可在防护筒体3内部进行离子发生操作，防护筒体3内壁会逐渐粘附较多的离子，可通过去离子水管11往第二限位座5和防护筒体3形成的腔体内部充入去离子水，马达电机6带动清洗刷体16旋动，配合去离子水可对防护筒体3内壁进行离子清洁，可提升防护筒体3内壁的清洁质量，第二导辊体7和第一导辊体2对防护筒体3进行滚动支撑，电机10带动摩擦辊8旋动，摩擦辊8与防护筒体3外壁接触可带动防护筒体3旋动，配合去离子水管11输送的去离子水以及旋动的清洗刷体16，可对防护筒体3内壁进行完全清洁，不需要拆卸离子机工艺腔1和防护筒体3，并且不需要停机便可清理防护筒体3内壁粘附的离子，使用较为方便。
21.本实施例中，防护筒体3外壁与第一导辊体2和第二导辊体7的外部接触，第二导辊体7和第一导辊体2可对防护筒体3进行滚动支撑，电机10的电机轴固定安装有摩擦辊8，摩擦辊8与防护筒体3外壁相接触，电机10带动摩擦辊8旋动，摩擦辊8与防护筒体3外壁接触可带动防护筒体3旋动。
22.本实施例中，第二限位座5位于防护筒体3的内部，第一限位座4位于防护筒体3的外部两侧，清洗刷体16外部与防护筒体3的内壁相接触，去离子水管11往第二限位座5和防护筒体3形成的腔体内部充入去离子水，马达电机6带动清洗刷体16旋动，配合去离子水可对防护筒体3内壁进行离子清洁。
23.工作原理：通过防护筒体3对离子机工艺腔1内壁进行防护，可在防护筒体3内部进行离子发生操作，防护筒体3内壁会逐渐粘附较多的离子，可通过去离子水管11往第二限位座5和防护筒体3形成的腔体内部充入去离子水，马达电机6带动清洗刷体16旋动，配合去离子水可对防护筒体3内壁进行离子清洁，第二导辊体7和第一导辊体2对防护筒体3进行滚动支撑，电机10带动摩擦辊8旋动，摩擦辊8与防护筒体3外壁接触可带动防护筒体3旋动，配合去离子水管11输送的去离子水以及旋动的清洗刷体16，可对防护筒体3内壁进行完全清洁，使用后的去离子水可从排水管13排出，水密封轴承板14可阻止去离子水接触马达电机6。


技术特征：
1.一种离子注入机用护板，包括离子机工艺腔(1)，其特征在于：所述离子机工艺腔(1)内壁顶部固定安装有第一导辊体(2)，所述离子机工艺腔(1)内壁底部固定安装有第二导辊体(7)，所述第一导辊体(2)和第二导辊体(7)外部活动安装有防护筒体(3)，所述离子机工艺腔(1)内壁固定安装有第一限位座(4)和第二限位座(5)，所述第二限位座(5)底部固定安装有马达电机(6)，所述马达电机(6)的电机轴固定安装有清洗刷体(16)，所述第二限位座(5)底部固定安装有水密封轴承板(14)，所述离子机工艺腔(1)内壁底部两侧均开设有通孔(15)，所述离子机工艺腔(1)外部连通安装有去离子水管(11)和排水管(13)，所述去离子水管(11)中部固定安装有电磁阀(12)，所述离子机工艺腔(1)内壁底部固定安装有安装架(9)，所述安装架(9)外部固定安装有电机(10)。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板，其特征在于：所述防护筒体(3)外壁与第一导辊体(2)和第二导辊体(7)的外部接触。3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板，其特征在于：所述第二限位座(5)位于防护筒体(3)的内部，第一限位座(4)位于防护筒体(3)的外部两侧。4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板，其特征在于：所述清洗刷体(16)外部与防护筒体(3)的内壁相接触。5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板，其特征在于：所述电机(10)的电机轴固定安装有摩擦辊(8)，摩擦辊(8)与防护筒体(3)外壁相接触。

技术总结
本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体公开了一种离子注入机用护板，包括离子机工艺腔，离子机工艺腔内壁顶部固定安装有第一导辊体，离子机工艺腔内壁底部固定安装有第二导辊体，第一导辊体和第二导辊体外部活动安装有防护筒体，离子机工艺腔内壁固定安装有第一限位座和第二限位座。本实用新型通过防护筒体对离子机工艺腔内壁进行防护，当防护筒体内壁粘附较多的离子时，可通过去离子水管往第二限位座和防护筒体形成的腔体内部充入去离子水，并且配合马达电机带动清洗刷体旋动，可提升防护筒体内壁的清洁质量，使用后的去离子水可从排水管排出，该结构不需要拆卸离子机工艺腔和防护筒体，并且不需要停机便可清理防护筒体内壁粘附的离子。附的离子。附的离子。


技术研发人员：张玲
受保护的技术使用者：扬州信尚电子科技有限公司
技术研发日：2021.12.29
技术公布日：2022/6/3