一种匀胶机用硅片传送臂的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造用设备领域，特别是一种匀胶机用硅片传送臂。


背景技术：

2.匀胶机是用于硅片匀胶的主要设备。其主要功能就是实现在硅片正面和/或背面涂布设定好的光刻胶。此设备为全自动设备，因此需要一个机械手臂将硅片从硅片筐中取出，其工作原理为：将整体手臂安装在运行主轴上，主轴上的真空孔与手臂上的真空孔相对应，当手臂到达硅片下方，接触到硅片中心后，真空阀门打开。手臂将硅片吸住，进而运行主轴的带动下将硅片传送到下一位置。原机械手臂要靠真空吸附硅片，吸附硅片的位置是需要和硅片中心接触，这在实际工艺生产中就出现了问题：被接触表面划伤，特别是双面匀胶工艺中，需要一面涂布光刻胶之后，再次翻转硅片，实现另一面的光刻胶涂布。这期间之前被涂布的光刻胶就必须与手臂接触，光刻胶受损，进而导致中心区域的产品出现问题，影响产品的最终良率，损失大约1％-4％。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种匀胶机用硅片传送臂，成功的避免了手臂与硅片大面积的接触，避免了产品良率损失。
4.为达到以上目的，提供以下技术方案：
5.一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一的两端内侧各设有一个凸起一，所述圆弧段二的两端内侧各设有一个凸起二，所述凸起一、凸起二的宽度均与连接段的宽度相同，所述位于连接段侧的凸起一、凸起二的底部均与连接段固定连接。
6.优选地，所述固定部、圆弧段一、圆弧段二的上平面为同一平面a，所述凸起一、凸起二的上平面为同一平面b，所述平面b的高度小于平面a的高度。
7.优选地，所述圆弧段一与圆弧段二的中心为同一中心，且圆弧段一与圆弧段二的直径相同。
8.本实用新型的有益效果为：
9.本实用新型通过其结构设计，硅片与传送臂接触时，硅片的边缘四点面与传送臂接触，而且因为硅片边缘无产品，这样涂布光刻胶没有被破坏，不影响产品良率，而且本实用新型应用时不需要真空，避免了真空系统的故障问题，应用简便迅捷。
附图说明
10.图1为本实用新型的主视图；
11.图2本实用新型的俯视图；
12.图3为本实用新型的立体图；
13.图中所示附图标记为：1-固定部、2-圆弧段一、3-连接段、4-圆弧段二、5-凸起一、6-凸起二、7-通孔、8-平面a、9-平面b。
具体实施方式
14.以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
15.如图1～3所示，一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，其中本体采用陶瓷制成，本体由固定部1和托举部组成，固定部1用于与匀胶机的主轴相连，托举部用于托举传送硅片，固定部1与托举部固定连接，固定部1的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔7，通孔7用于穿过螺栓连接主轴，托举部由圆弧段一2、连接段3、圆弧段二4依次相连组成，圆弧段一2与圆弧段二4的中心为同一中心，且圆弧段一2与圆弧段二4的直径相同，圆弧段一2的两端内侧各设有一个凸起一5，圆弧段二4的两端内侧各设有一个凸起二6，凸起一5、凸起二6的宽度均与连接段3的宽度相同，位于连接段3侧的凸起一5、凸起二6的底部均与连接段3固定连接。其中，固定部1、圆弧段一2、圆弧段二4的上平面为同一平面a8，凸起一5、凸起二6的上平面为同一平面b9，平面b9的高度小于平面a8的高度，这样凸起一5、凸起二6自然形成一个凹陷，用于限制硅片的位移，且凸起一5、凸起二6形成四点对硅片的外缘进行支撑，便于对硅片进行传输。
16.实施例
17.实际应用时通过螺栓连接通孔7，固定本体，使本体水平，此传送臂采用承载硅片边缘的形式(硅片边缘无产品)，将硅片从片筐中取出，置于凸起一5与凸起二6上表面，圆弧段一2与圆弧段二4能够对硅片的位移起到限制作用，送到下一位置。成功的避免了手臂与硅片大面积的接触。避免了产品良率损失。
18.本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。


技术特征：
1.一种匀胶机用硅片传送臂，其特征在于，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一的两端内侧各设有一个凸起一，所述圆弧段二的两端内侧各设有一个凸起二，所述凸起一、凸起二的宽度均与连接段的宽度相同，所述位于连接段侧的凸起一、凸起二的底部均与连接段固定连接。2.根据权利要求1所述的一种匀胶机用硅片传送臂，其特征在于，所述固定部、圆弧段一、圆弧段二的上平面为同一平面a，所述凸起一、凸起二的上平面为同一平面b，所述平面b的高度小于平面a的高度。3.根据权利要求1所述的一种匀胶机用硅片传送臂，其特征在于，所述圆弧段一与圆弧段二的中心为同一中心，且圆弧段一与圆弧段二的直径相同。

技术总结
本实用新型是一种匀胶机用硅片传送臂，结构包括本体，所述本体由固定部和托举部组成，所述固定部与托举部固定连接，所述固定部的端部为圆弧形，且其表面设有三个呈正三角形排列的通孔，所述托举部由圆弧段一、连接段、圆弧段二依次相连组成，所述圆弧段一的两端内侧各设有一个凸起一，所述圆弧段二的两端内侧各设有一个凸起二，所述凸起一、凸起二的宽度均与连接段的宽度相同，所述位于连接段侧的凸起一、凸起二的底部均与连接段固定连接，本实用新型能够成功的避免了手臂与硅片大面积的接触，避免了产品良率损失。免了产品良率损失。免了产品良率损失。


技术研发人员：徐会刚 王僖
受保护的技术使用者：吉林瑞能半导体有限公司
技术研发日：2022.01.14
技术公布日：2022/6/9