一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及测量实验设备领域，特别是设及一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔 室。
【背景技术】
[0002] 当电子与原子碰撞时，入射电子与祀原子内部的电子和原子核之间的相互作用主 要是库仑相互作用。入射电子与祀原子之间可W进行动量和能量交换，碰撞前后的总动量 和总能量分别守恒，由于进行了动量交换，被散射的电子将从碰撞中屯、W不同角度射出；由 于进行了能量交换，被散射的电子将损失或获得一定的动能。电子与原子的碰撞一般可分 为无福射碰撞和有福射碰撞两大类。
[0003] 负离子与四氣化碳碰撞过程会发生W下一些反应：
[0005] 在反应的过程当中除了会产生散射离子、反冲离子，也会产生电子，包括从负离子 上脱附出来的和从祀分子上电离出来的，但是目前我们的系统无法探测电子。
【发明内容】
[0006] 本发明主要解决的技术问题是提供一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其设 计合理，结构简单，解决了同时探测反冲离子和反冲电子的问题。
[0007] 为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是提供一种用于负离子与气体 碰撞的碰撞腔室，包括腔室本体;所述腔室本体上设有反冲离子探测口、电子探测口、分子 累安装口、注气针阀安装口、系统连接口、进气口、真空规接口和飞行时间谱仪检测口；所述 分子累安装口开设于所述腔室本体的下侧;所述注气针阀安装口、飞行时间谱仪检测口均 开设于所述腔室本体的上侧;所述注气针阀安装口和分子累安装口设置于同一竖直轴线 上;所述飞行时间谱仪检测口位于注气针阀安装口的侧边。
[000引优选的是，所述飞行时间谱仪检测口设有两个;沿着腔室本体的流道方向，两个飞 行时间谱仪检测口分别位于所述注气针阀安装口的前、后两侧。
[0009] 优选的是，所述系统连接口贯穿所述腔室本体形成竖直平面上的法向流道。
[0010] 本发明的有益效果是:提供一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，将现有技术 中安装分子累的地方安装一个探测器，用于探测电子;将分子累安装在原来的注气针阀处， 处于整个腔室的下面，便于安装也较稳当。
【附图说明】
[0011] 图1是本发明一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室的结构示意图；
[0012] 附图中各部件的标记如下：1、腔室本体;2、反冲离子探测口；3、电子探测口；4、分 子累安装口；5、注气针阀安装口；6、系统连接口；7、进气口；8、真空规接口；9、飞行时间谱仪 检测口。
【具体实施方式】
[0013] 下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，W使本发明的优点和特征能 更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0014] 请参阅附图1，本发明实施例包括：
[0015] -种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，包括腔室本体1;所述腔室本体1上设有 反冲离子探测口 2、电子探测口 3、分子累安装口 4、注气针阀安装口 5、系统连接口 6、进气口 7、真空规接口 8和飞行时间谱仪检测口 9;腔室本体1的两端，一端为所述反冲离子探测口 2， 另一端为电子探测口 3;运里的电子探测口 3原来用于安装分子累，现在用来安装电子探测 仪便于探测电子。而分子累安装口开设于所述腔室本体的下侧，该分子累安装口用于安装 分子累，替换现有技术中此位置安装的注气针阀；而注气针阀则安装到腔室本体1的上侧位 置；因此，所述注气针阀安装口5、飞行时间谱仪检测口9均开设于所述腔室本体的上侧;所 述注气针阀安装口 5和分子累安装口 4设置于同一竖直轴线上;所述飞行时间谱仪检测口 9 位于注气针阀安装口 5的侧边。所述飞行时间谱仪检测口 9设有两个;沿着腔室本体1的流道 方向，两个飞行时间谱仪检测口9分别位于所述注气针阀安装口5的前、后两侧。所述系统连 接口 6贯穿所述腔室本体1形成竖直平面上的法向流道。本碰撞腔室，将原来安装分子累的 地方安装一个探测器，用于探测电子;将分子累安装在原来的注气针阀处，处于整个腔室的 下面，便于安装也较稳当；而且在腔室的上方开口，安装注气针阀。
[0016] W上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发 明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领 域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1. 一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其特征在于:包括腔室本体（1);所述腔室 本体（1)上设有反冲离子探测口（2)、电子探测口（3)、分子栗安装口（4)、注气针阀安装口 (5) 、系统连接口（6)、进气口（7)、真空规接口（8)和飞行时间谱仪检测口（9);所述分子栗安 装口（4)开设于所述腔室本体（1)的下侧;所述注气针阀安装口（5)、飞行时间谱仪检测口 (6) 均开设于所述腔室本体(1)的上侧;所述注气针阀安装口（5)和分子栗安装口（4)设置于 同一竖直轴线上;所述飞行时间谱仪检测口（9)位于注气针阀安装口（5)的侧边。2. 根据权利要求1所述的一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其特征在于:所述飞 行时间谱仪检测口（9)设有两个;沿着腔室本体（1)的流道方向，两个飞行时间谱仪检测口 (9)分别位于所述注气针阀安装口（ 5)的前、后两侧。3. 根据权利要求1或2所述的一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，其特征在于:所 述系统连接口（6)贯穿所述腔室本体(1)形成竖直平面上的法向流道。
【专利摘要】本发明一种用于负离子与气体碰撞的碰撞腔室，涉及测量实验设备领域，其包括腔室本体；所述腔室本体上设有反冲离子探测口、电子探测口、分子泵安装口、注气针阀安装口、系统连接口、进气口、真空规接口和飞行时间谱仪检测口；所述分子泵安装口开设于所述腔室本体的下侧；所述注气针阀安装口、飞行时间谱仪检测口均开设于所述腔室本体的上侧；所述注气针阀安装口和分子泵安装口设置于同一竖直轴线上；所述飞行时间谱仪检测口位于注气针阀安装口的侧边。通过上述方式，该碰撞腔室将原来安装分子泵的地方安装一个探测器，用于探测电子；将分子泵安装在原来的注气针阀处，处于整个腔室的下面，便于安装也较稳当。
【IPC分类】H01J49/02, H01J49/40
【公开号】CN105632876
【申请号】CN201610130407
【发明人】孙安, 范义奎, 张力平
【申请人】江苏德佐电子科技有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2016年3月8日