多探针时序测试点测机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体测试、LED测试、集成电路测试领域，尤其涉及一种点测机。
【背景技术】
[0002]点测机是一种用于集成电路，LED晶圆，二极管晶圆等半导体电性测试设备。点测机测试电性是半导体制造工艺当中的一个不可或缺的工序，近年来，随着光电、半导体产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，在晶圆大批量生产中，往往在一片晶圆同时制作成百上千个芯片，通过点测机进行晶圆切割前的电性测试。
[0003]随着技术的发展，晶圆的尺寸也越来越大，同时一片晶圆内所集成的芯片也越来越多，这就需要更多的测试时间来完成一片晶圆的测试。
[0004]传统的测试方式是使用I台点测机+测试仪表，点测机是使用一种X、Y两轴叠加的方式，上部为X轴组件，下部为Y轴组件，X轴组件上叠加Θ轴轴和Z轴组件，由X轴组件、Y轴组件带动Θ轴组件做前后左右的移动，由Θ轴组件提供晶圆旋转，进行对位，Z轴组件负责晶圆上下移动，测试探针组件，晶圆测试时测试探针组件不动，由Z轴上下移动使测试探针组件与晶圆接触与分离，但是由于传统点测机测试探针只有一根，故每次机械部分移动结束，只能测试一颗芯片，然后就再次进行机械部分的移动，这就致使整个测试效率比较低下，导致机械部分磨损较大，寿命相对较短。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种测试效率高、且能够减小机械部分磨损的多探针时序测试点测机，以克服现有技术存在的不足。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0007]一种多探针时序测试点测机，包括测试探针组件、Y轴组件、设于Y轴组件上的X轴组件、设于X轴组件上的Z轴组件以及设于Z轴组件上的θ轴组件，所述Θ轴组件具有吸盘，其特征在于:其特征在于:所述测试探针组件有多个，分布在所述吸盘四周，所述测试探针组件的测试探针指向所述吸盘。
[0008]所述吸盘上方设有固定板，所述固定板中间具有暴露所述吸盘的洞口，多个所述测试探针组件固定在洞口边缘。
[0009]所述X轴组件由X轴板和驱动所述X轴板的X轴直线往复驱动机构构成；所述Y轴组件由Y轴板和驱动Y轴板的Y轴直线往复驱动结构构成；所述Y轴板水平设置，所述X轴板水平设置在Y轴板上并与Y轴板垂直。
[0010]所述Z轴组件由Z轴块和驱动所述Z轴块的Z轴直线上下驱动机构构成，所述Z轴块垂直设置在X轴板上。
[0011]所述Θ轴组件由吸盘和驱动所述吸盘自转的角度调整机构构成，所述Θ轴组件设置在Z轴块上。
[0012]所述测试探针组件还包括相对于Θ轴组件组件进行上、下、前、后、左、右调节的运动机构，所述运动机构设置在固定板上，所述测试探针设置在运动机构上。
[0013]所述测试探针组件有2个或者3个或者5个。
[0014]采用上述技术方案，本实用新型进行一次机械移动可以按时序完成晶圆片上多个点的测试，能够有效地提升设备的产能，减少设备测试移动的次数，延长设备的使用寿命，充分满足了高效、延长设备使用寿命的目的，市场前景广阔。
【附图说明】
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明:
[0016]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]如图1所示，本实施例的多探针时序测试点测机，包括X轴组件101、Y轴组件102、Z轴组件103、Θ轴组件104、固定板100以及测试探针组件110-Α，110-Β(本实施例仅以2点测试为例，但本专利不限制为2点)。:
[0018]X轴组件101由X轴板106和驱动X轴板106的X轴直线往复驱动机构构成，该X轴板106水平设置。
[0019]Y轴组件102与X轴组件101水平垂直结合布置，由Y轴板105和驱动Y轴板的Y轴直线往复驱动机构构成。X轴板106水平设置于Y轴板105上，X轴板106与Y轴板105
相互垂直。
[0020]Z轴组件103垂直于X轴板，由Z轴块和驱动Z轴块Z轴直线上下运动机构构成。
[0021]Θ轴组件104由吸盘107和驱动吸盘107自转的角度调整机构构成。Θ轴组件104设于Z轴组件103的Z轴块上。
[0022]测试探针组件110-AU10-B由相对于Θ轴组件104进行上、下、前、后、左、右调节的调节机构120-Α、120-Β和测试探针121-Α、121-Β构成。
[0023]在吸盘107的上方设有固定板100，该固定板100中间具有暴露吸盘107的圆形洞口。其中，测试探针组件110-AU10-B固定在固定板100的洞口边缘，测试探针121-Α、121-Β分别固定在调节结构上120-Α、120-Β，使测试探针相对于Θ轴组件104可做上、下、
前、后、左、右移动。
[0024]可以理解的是，上述X轴直线往复驱动机构、Y轴直线往复驱动机构、Z轴直线上下运动机构可以为滚珠丝杆机构或者直线电机或皮带传动机构或直线气缸机构，角度调整机构可以为电机齿轮机构。
[0025]使用时，晶圆片放置于吸盘107上，可通过Θ轴组件做角度调整，并可在Z轴组件103的带动下做上下方向的运动，Z轴组件103由固定在X轴板106之上，并由X轴组件101的带动下做直线前后运动，X轴组件101由固定在Y轴板105之上，并由Y轴组件102的带动下做直线左右运动，测试探针组件110-AU10-B固定在固定板100之上，并通过运动机构120-Α、120-Β调整好相对Θ轴组件之吸盘107的位置，使得测试探针组件110_Α、110_Β便可相对于晶圆片做上下、左右、前后、旋转四轴运动，在机械机构移动完成后，由该设备内的控制系统控制测试探针组件110-Α对其对应位置的晶圆片上的芯片的进行测试，测试探针组件110-Α完成测试后，再控制测试组件110-Β对其对应位置的晶圆片上的芯片的进行测试，测试组件IlO-B完成测试后，这样移动一次就可以实现两点测试，然后再进行下一轮的机械移动并完成下一轮两个点的测试。
[0026]本实施例仅以配置两个测试探针组件，可以理解的是，测试探针组件可以为3个，5个甚至更多。
[0027]由于本实用新型由于采用多组测试探针组件，能够有效地提升设备的产能，减少设备测试移动的次数，延长设备的使用寿命，充分满足了高效、延长设备使用寿命的目的，市场前景广阔。
[0028]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本实用新型所提出的权利要求的保护范围内，利用本实用新型所揭示的技术内容所作出的局部更动或修饰的等效实施例，并且未脱离本实用新型的技术特征内容，均仍属本实用新型技术特征的范围内。
【主权项】
1.一种多探针时序测试点测机，包括测试探针组件、Y轴组件、设于Y轴组件上的X轴组件、设于X轴组件上的Z轴组件以及设于Z轴组件上的Θ轴组件，所述Θ轴组件具有吸盘，其特征在于:所述测试探针组件有多个，分布在所述吸盘四周，所述测试探针组件的测试探针指向所述吸盘。
2.根据权利要求1所述的多探针时序测试点测机，其特征在于:所述吸盘上方设有固定板，所述固定板中间具有暴露所述吸盘的洞口，多个所述测试探针组件固定在洞口边缘。
3.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试点测机，其特征在于:所述X轴组件由X轴板和驱动所述X轴板的X轴往复驱动机构构成；所述Y轴组件由Y轴板和驱动Y轴板的Y轴往复驱动结构构成；所述Y轴板水平设置，所述X轴板水平设置在Y轴板上并与Y轴板垂直。
4.根据权利要求3所述的多探针时序测试点测机，其特征在于:所述Z轴组件由Z轴块和驱动所述Z轴块的Z轴上下驱动机构构成，所述Z轴块垂直设置在X轴板上。
5.根据权利要求4所述的多探针时序测试点测机，其特征在于:所述Θ轴组件由吸盘和驱动所述吸盘自转的角度调整机构构成，所述Θ轴组件设置在Z轴块上。
6.根据权利要求2所述的多探针时序测试点测机，其特征在于:所述测试探针组件还包括相对于Θ轴组件组件进行上、下、前、后、左、右调节的运动机构，所述运动机构设置在固定板上，所述测试探针设置在运动机构上。
7.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试点测机，其特征在于:所述测试探针组件有2个或者3个或者5个。
【专利摘要】本实用新型公开了一种多探针时序测试点测机，包括测试探针组件、Y轴组件、设于Y轴组件上的X轴组件、设于X轴组件上的Z轴组件以及设于Z轴组件上的θ轴组件，所述θ轴组件具有吸盘，所述测试探针组件有多个，分布在所述吸盘四周，所述测试探针组件的测试探针指向所述吸盘。本实用新型进行一次机械移动可以按时序完成晶圆片上多个点的测试，能够有效地提升设备的产能，减少设备测试移动的次数，延长设备的使用寿命，充分满足了高效、延长设备使用寿命的目的，市场前景广阔。
【IPC分类】H01L21-66
【公开号】CN204361056
【申请号】CN201520043171
【发明人】丁波, 李轶, 陈瀚, 侯金松
【申请人】上海微世半导体有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2015年1月21日