一种产品形貌质量管理电子显微镜的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种产品形貌质量管理电子显微镜，包括聚光镜头、散光像差补偿器、二次电子探测器和样品室，电子枪下端设置有会聚光圈，所述会聚光圈一侧设置有对准线圈，所述对准线圈下端设置有所述聚光镜头，所述散光像差补偿器一侧设置有偏转线圈，产品聚光镜头一侧设置有所述二次电子探测器，所述产品聚光镜头下端设置有样品台，样品室下端设置有真空系统，终端光片一侧设置有电子集成器，光电倍增器一侧设置有二次电子收集器。有益效果在于：购买和维修价格便宜，成像效果清晰，可以方便企业对产品的质量进行观察，有益于企业对产品质量的管理，通过观察不合格产品能够使企业寻找出生产制造时出现的问题，及时更改，较少制造成本。
【专利说明】
一种产品形貌质量管理电子显微镜
技术领域
[0001]本实用新型属于产品质量管理设备领域，具体涉及一种产品形貌质量管理电子显微镜。
【背景技术】
[0002]电子显微镜的电子束不穿过样品，仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子，放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度，显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描，这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像，由于这样的显微镜中电子不必透射样本，因此其电子加速的电压不必非常高，所以在产品形貌质量管理方面有着广泛的应用，然而现如今用于质量管理的电子显微镜在处理样本时可能会产生样本本来没有的结构，这加剧了此后分析图像的难度，制样过程复杂、困难，制样有损伤等问题也频频出现。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种产品形貌质量管理电子显微镜。
[0004]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0005]—种产品形貌质量管理电子显微镜，包括聚光镜头、散光像差补偿器、二次电子探测器和样品室，电子枪下端设置有会聚光圈，所述会聚光圈一侧设置有对准线圈，所述对准线圈下端设置有所述聚光镜头，所述聚光镜头下端设置有所述散光像差补偿器，所述散光像差补偿器一侧设置有偏转线圈，产品聚光镜头一侧设置有所述二次电子探测器，所述产品聚光镜头下端设置有样品台，所述样品台下端设置有所述样品室，所述样品室下端设置有真空系统，终端光片一侧设置有电子集成器，光电倍增器一侧设置有二次电子收集器。
[0006]为了进一步提高产品形貌的质量管理效果:电子枪与会聚光圈相连接，散光像差补偿器与偏转线圈相连接。
[0007]为了进一步提高产品形貌的质量管理效果:二次电子探测器与聚光镜头相连接，对准线圈与会聚光圈相连接，二次电子集成器与光电倍增器相连接。
[0008]本实用新型的有益效果在于:购买和维修价格便宜，成像效果清晰，可以方便企业对产品的质量进行观察，有益于企业对产品质量的管理，通过观察不合格产品能够使企业寻找出生产制造时出现的问题，及时更改，较少制造成本。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型所述一种产品形貌质量管理电子显微镜的结构示意图；
[0010]图2是本实用新型所述一种产品形貌质量管理电子显微镜的工作原理图。
[0011]1、电子枪;2、会聚光圈；3、聚光镜头;4、散光像差补偿器;5、偏转线圈;6、二次电子探测器;7、产品聚光镜头;8、样品台；9、对准线圈；10、样品室；11、真空系统；12、终端光片；13、光电倍增器;14、电子集成器;15、二次电子收集器。
【具体实施方式】
[0012]为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。
[0013]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0014]如图1-图2所不，一种产品形貌质量管理电子显微镜，包括聚光镜头3、散光像差补偿器4、二次电子探测器6和样品室10，电子枪I下端设置有会聚光圈2，会聚光圈2—侧设置有对准线圈9，对准线圈9下端设置有聚光镜头3，聚光镜头3下端设置有散光像差补偿器4，散光像差补偿器4 一侧设置有偏转线圈5，产品聚光镜头7—侧设置有二次电子探测器6，产品聚光镜头7下端设置有样品台8，样品台8下端设置有样品室10，样品室10下端设置有真空系统11，终端光片12—侧设置有电子集成器14，光电倍增器13—侧设置有二次电子收集器15ο
[0015]上述结构中，从电子枪I中发出的电子束，受到聚光镜头3的会聚作用，缩小为狭窄的电子束射到样品表面，此时，偏转线圈5使电子束在样品上做光栅状的扫描，然后在屏幕上成像，人们就可以通过观察产品的形貌对产品的质量进行初步的管理。
[0016]为了进一步提高产品形貌的质量管理效果:电子枪I与会聚光圈2相连接，散光像差补偿器4与偏转线圈5相连接，二次电子探测器6与聚光镜头3相连接，对准线圈9与会聚光圈2相连接，二次电子集成器15与光电倍增器13相连接。
[0017]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。
【主权项】
1.一种产品形貌质量管理电子显微镜，其特征在于:包括聚光镜头、散光像差补偿器、二次电子探测器和样品室，电子枪下端设置有会聚光圈，所述会聚光圈一侧设置有对准线圈，所述对准线圈下端设置有所述聚光镜头，所述聚光镜头下端设置有所述散光像差补偿器，所述散光像差补偿器一侧设置有偏转线圈，产品聚光镜头一侧设置有所述二次电子探测器，所述产品聚光镜头下端设置有样品台，所述样品台下端设置有所述样品室，所述样品室下端设置有真空系统，终端光片一侧设置有电子集成器，光电倍增器一侧设置有二次电子收集器。2.根据权利要求1所述的一种产品形貌质量管理电子显微镜，其特征在于:电子枪与会聚光圈相连接，散光像差补偿器与偏转线圈相连接。3.根据权利要求1所述的一种产品形貌质量管理电子显微镜，其特征在于:二次电子探测器与聚光镜头相连接，对准线圈与会聚光圈相连接，二次电子集成器与光电倍增器相连接。
【文档编号】H01J37/28GK205488032SQ201620029012
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月13日
【发明人】魏晓敏
【申请人】勃利县质量技术监督检验检测中心