技术特征：
技术总结
本发明属于微机电(MEMS)领域，涉及一种梳齿驱动器,具体涉及一种具有自洁功能的梳齿驱动器。包括驱动梳齿，还包括设置在硅衬底上的吸附电极，吸附电极包括至少一对电极对，其中一个电极接地，另一个电极接正电平或负电平信号；吸附电极与驱动梳齿之间通过绝缘槽隔离，吸附电极与驱动梳齿均位于封闭外壳内部。解决了由于颗粒沉积在驱动梳齿而引起的梳齿驱动器工作的可靠性低的问题。
技术研发人员：宋秀敏;夏长锋;何伟;乔大勇
受保护的技术使用者：西安知微传感技术有限公司
技术研发日：2018.09.15
技术公布日：2019.01.22