一种互锁电路和激光器的制作方法

[0001]
本申请属于激光技术领域，尤其涉及一种互锁电路和激光器。


背景技术：

[0002]
准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。通常激光器中需要设置互锁电路，避免激光器出现故障时造成设备的损坏。
[0003]
现有的互锁电路，通常只有在互锁信号产生后，断掉相关工作设备，互锁信号反复容易使设备长期启停造成危害；同时如果存在大电流，会有造成继电器粘连的可能，导致互锁失效，从而引发危险。


技术实现要素：

[0004]
有鉴于此，本申请实施例提供了一种互锁电路和激光器，以解决现有技术中互锁电路中互锁失效的问题。
[0005]
本申请实施例的第一方面提供了互锁电路，所述互锁电路包括接触器电路及互锁控制电路；其中，
[0006]
所述互锁控制电路，用于在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通；
[0007]
所述接触器电路，用于在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路，使得所述互锁控制电路导通；
[0008]
所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断。
[0009]
优选地，所述互锁控制电路包括第一继电器，所述第一继电器包括第一线圈、第一公共触点、第二公共触点、第一常开触点、第二常开触点、第一常闭触点及第二常闭触点；所述第一线圈的第一端接地，所述第一线圈的第二端与所述第二公共触点连接；
[0010]
在第一线圈未吸合时，所述第一公共触点与所述第一常闭触点连接，所述第一公共触点还接收互锁信号；所述第二公共触点与所述第二常闭触点连接，所述第二公共触点还与所述接触器电路连接；
[0011]
在所述第一线圈吸合时，所述第一公共触点与所述第一常开触点连接，所述第二公共触点与所述第二常开触点连接。
[0012]
优选地，所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号由异常变为正常时，保持导通。
[0013]
优选地，所述互锁电路还包括复位电路，所述复位电路用于在收到触发时发出复位信号，所述互锁控制电路接收到复位信号时断开，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通。
[0014]
优选地，所述复位电路包括复位开关，所述复位开关的第一端与所述互锁控制电
路连接，所述复位开关的第二端与所述接触器电路连接。
[0015]
优选地，所述复位开关为常开复位开关。
[0016]
优选地，所述接触器电路包括第二线圈、第三常闭触点、第四常闭触点、第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点；其中
[0017]
所述第三常闭触点与供电电源连接，所述第四常闭触点接地；所述第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点均与所述互锁控制电路连接，所述第六常开触点还与所述第二线圈的第一端连接，所述第二线圈的第二端接地。
[0018]
优选地，所述互锁电路还包括互锁指示电路，在所述互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时，停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断，互锁指示电路发出报警信号。
[0019]
优选地，所述互锁指示电路包括指示灯，所述指示灯的第一端与供电电源连接，所述指示灯的第二端与所述第三常闭触点连接。
[0020]
本申请实施例的第二方面提供了一种激光器，所述激光器包括如上所述的互锁电路。
[0021]
本申请的有益技术效果在于：本申请技术方案包括接触器电路及互锁控制电路，形成了一种互锁电路。其中，互锁控制电路在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路导通；接触器电路在上电导通后输出第二电源信号至互锁控制电路，使得互锁控制电路导通；互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路关断。本申请技术方案中在互锁信号由正常变为异常后，互锁控制电路保持导通，而接触器电路关断，形成互锁。保证设备不会因为互锁信号反复产生而反复启动关闭设备，从而避免了互锁失效。
附图说明
[0022]
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]
图1是本申请实施例提供的互锁电路第一实施例的功能模块图；
[0024]
图2是本申请实施例提供的互锁电路第二实施例的功能模块图；
[0025]
图3是本申请实施例提供的互锁电路一实施例的电路结构示意图。
[0026]
附图标号说明：
[0027][0028]
具体实施方式
[0029]
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一路的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0030]
本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含一系列步骤或单元的过程、方法或系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。
[0031]
本实施例提供一种互锁电路，应用于一种准分子激光器。准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。
[0032]
参照图1，该互锁电路包括接触器电路200及互锁控制电路100。所述互锁控制电路100，用于在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200导通。
[0033]
所述接触器电路200，用于在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路100，使得所述互锁控制电路100导通。需要说明的是，该接触器电路200中包括有接触器，该接触器电路200可以控制电源给互锁控制电路100供电。
[0034]
所述互锁控制电路100，还用于在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200关断。本实施例中，该互锁控制电路100包括有继电器，该继电器能够在互锁信号异常时，保持导通状态，使得接触器电路200不会因为互锁信号反复而引起设备的反复供放电。
[0035]
本申请技术方案设置了所述互锁电路包括接触器电路200及互锁控制电路100；其中，所述互锁控制电路100在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200导通；所述接触器电路200在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路100，使得所述互锁控制电路100导通；所述互锁控制电路100在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200关断。本申请技术方案中在互锁信号由正常变为异常后，互锁控制电路100保持导通，而接触器电路200关断，形成互锁。保证设备不会因为互锁信号反复产生而反复启动关闭设备，从而避免了互锁失效。
[0036]
参照图3，在一实施例中，所述互锁控制电路100包括第一继电器。其中，互锁控制电路100中1、2、3、4、5及6分别表示第一公共触点、第一常开触点、第一常闭触点、第二公共触点、第二常开触点及第二常闭触点。
[0037]
所述第一继电器包括第一线圈kt1、第一公共触点1、第二公共触点4、第一常开触点2、第二常开触点5、第一常闭触点3及第二常闭触点6；所述第一线圈kt1的第一端接地，所述第一线圈kt1的第二端与所述第二公共触点4连接。
[0038]
在第一线圈kt1未吸合时，所述第一公共触点1与所述第一常闭触点3连接，所述第一公共触点1还接收互锁信号；所述第二公共触点4与所述第二常闭触点6连接，所述第二公共触点4还与所述接触器电路200连接。
[0039]
在所述第一线圈kt1吸合时，所述第一公共触点1与所述第一常开触点2连接，所述第二公共触点4与所述第二常开触点5连接；所述第一线圈kt1的第一端接地，所述第一线圈kt1的第二端与所述第二公共触点4连接。
[0040]
值得说明的是，第一线圈kt1上电时，第二公共触点4与第二常开触点5连接，供电电源通过第二公共触点4与第二常开触点5给第一线圈kt1供电。
[0041]
参照图2及图3，在一实施例中，所述互锁电路还包括复位电路300，所述复位电路300用于在收到触发时发出复位信号，所述互锁控制电路100接收到复位信号时断开，输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200导通。
[0042]
可以理解的是，通过设置复位电路300，使得只有人为去将复位开关按下后，才能恢复设备正常供电状态，保证人员安全的同时，也保证了设备的安全。
[0043]
在一实施例中，所述复位电路300包括复位开关reset，所述复位开关reset的第一端与所述互锁控制电路100连接，所述复位开关reset的第二端与所述接触器电路200连接。本实施例中，所述复位开关reset为常开复位开关。
[0044]
参照图3，在一实施例中，所述接触器电路200包括第一接触器。接触器电路200中的a、b、c、d、e及f均为供电触点，nc1和nc2为第三常闭触点、第四常闭触点，no1、no2、no3及no4分别为第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点。所述第一接触器包括第二线圈km1、第三常闭触点、第四常闭触点、第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点；其中
[0045]
所述第三常闭触点nc1与供电电源power连接，所述第四常闭触点nc2接地；所述第三常开触点no1、第四常开触点no2、第五常开触点no3及第六常开触点no4均与所述互锁控制电路100连接，所述第六常开触点no4还与所述第二线圈km1的第一端连接，所述第二线圈km1的第二端接地。
[0046]
值得说明的是，当第二线圈km1上电时，第三常闭触点nc1和第四常闭触点nc2断开，同时第三常开触点no1和第四常开触点no2连接，第五常开触点no3和第六常开触点no4连接；当第二线圈km1断电时，第三常闭触点nc1和第四常闭触点nc2连接，同时第三常开触点no1和第四常开触点no2断开，第五常开触点no3和第六常开触点no4断开。
[0047]
参照图2及图3，在一实施例中，所述互锁电路还包括互锁指示电路400，在所述互锁控制电路100在接收到的互锁信号interlock为异常时，停止输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200关断，互锁指示电路400发出报警信号。
[0048]
在一实施例中，所述互锁指示电路400包括指示灯led，所述指示灯led的第一端与供电电源power连接，所述指示灯led的第二端与所述第三常闭触点nc1连接。
[0049]
需要说明的是，互锁指示电路400能够及时的提示相关人员确认故障和消除故障。本实施例中采用指示灯发出光信号来进行报警。
[0050]
综上所述，现结合图3对本申请技术方案做进一步阐述，该互锁电路工作过程为：
[0051]
1、上电首先保证interlock互锁信号为正常闭合状态；
[0052]
2、上电后，电源power通过interlock正常闭合回路、kt1的公共触点1经由常闭触点3给km1线圈到地；使得km1吸和，km1的常开触点闭合，供电触点闭合；
[0053]
3、km1吸合后：kt1线圈首先通过的第三、第四常开触点no1/no2从电源得电；使得kt1吸合，kt1的触点4、5触点吸合，从而kt1可以由4、5触点和no1/no2触点从电源得电；
[0054]
4、km1的第五、第六常开触点no3\no4(此时闭合状态)到km1线圈到地；仍保持km1仍处于吸和状态；km1供电触点闭合；
[0055]
5、当interlock信号发生异常时，导致km1线圈供电回路发生断开；km1线圈供电电源断开，使得km1供电触点断开；同时连接在第三、第四常闭触点nc1/nc2的led等得电，使得互锁指示灯点亮；
[0056]
6、此时当interlock信号由异常恢复正常时，由于kt1处于吸和状态，km1线圈无法通过kt1常闭触点1、3(此时断开状态)进行供电，仍保持km1供电线圈处于断开状态；
[0057]
7、当此时人为按下reset按键后，kt1线圈失电，kt1常闭触点恢复闭合状态；如果interlock信号此时处于正常闭合状态，即可恢复km1线圈供电回路，km1供电触点闭合；led指示灯失电；恢复初始启动状态。
[0058]
此申请主要目的是通过一些逻辑控制，保证供电继电器不会因为interlock信号反复而引起设备反复供放电；只要产生互锁信号，无论interlock信号是否恢复正常；接触器km1将长期失电无法启动状态；只有人为去将复位按键按下后，才能恢复设备正常供电状态，保证人员安全的同时，也保证了设备的安全。
[0059]
本申请实施例的第二方面提供了一种激光器，所述激光器包括如上所述的互锁电路。该激光器通过一些逻辑控制，保证供电继电器不会因为互锁信号interlock反复而引起设备反复供放电；只要产生互锁信号interlock，无论互锁信号interlock是否恢复正常；供电接触器将长期失电无法启动状态；只有人为去将复位按键按下后，才能恢复设备正常供电状态，保证人员安全的同时，也保证了设备的安全。
[0060]
本申请互锁电路的逻辑控制方法，包括：
[0061]
s1：互锁控制电路在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通；
[0062]
s2：接触器电路在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路，使得所述互锁控制电路导通；
[0063]
s3：互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断。
[0064]
s4:当互锁信号由异常变为正常时，所述互锁控制电路保持导通；
[0065]
s5:复位电路发送复位信号给互锁控制电路，使所述互锁控制电路关断；
[0066]
s6:互锁控制电路输出第一电源信号至所述接触器电路，使所述接触器电路导通，电路恢复初始状态。
[0067]
在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的互锁电路，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的互锁电路实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。
[0068]
以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。