本实用新型涉及一种pbn-pg陶瓷加热器,属于特种设备加热领域。
背景技术:
随着工业水平的不断进步,市场对加热器的要求也越来越高,不仅要求加热速度快,还对加热的均匀性提出更高的要求。而pbn-pg陶瓷加热器以其高纯度(99.999%)、化学性质稳定(耐酸碱腐蚀)、发热均匀(面加热)、可设计成复杂形状、抗热震性等特点,正逐步应用到oled、cigs点源蒸镀加热、mbe加热、mocvd、pecvd加热领域。
目前市场上的pbn-pg陶瓷加热器,以pbn(热解氮化硼)材料为基体,涂pg(热解石墨)涂层,通过加工形成导电发热层,再涂pbn保护层制得。
发明人在长期加热器设计时发现,无论是钽丝和钼丝加热器还是pbn-pg陶瓷加热器,在保证加热器发热均匀的情况下,加热器呈现内高外低的温度分布,温区分布并不完美,其原因为内圈发热体周边还是发热体,而外圈周边是冷态环境,致使外圈热损失大于内圈,从而呈现内高外低的温度分布。
技术实现要素:
针对现有技术的不足,本实用新型提供一种pbn-pg陶瓷加热器。
本实用新型的技术方案如下:
一种pbn-pg陶瓷加热器,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路的间距不等,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔。
优选的,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减。
优选的,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为2%-20%。
优选的,所述相邻的发热纹路之间的间距为5-10mm。
优选的,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为0.5mm。
本实用新型的有益效果在于:
本实用新型通过对加热器纹路进行优化设计,将发热纹路之间的间距设计为由内到外依次递减,实现外圈纹路单位长度发热量大于内圈,对外圈进行发热量补偿,大大提高了加热器温度均匀性,加热器表面温度均匀性在1200℃下可达到误差仅为±3℃。
附图说明
图1是常见的等宽发热纹路的pbn-pg陶瓷加热器示意图;
其中,相邻的发热纹路的间距均为7.5mm;
图2是
本技术:
优化的内宽外窄发热纹路的pbn-pg陶瓷加热器示意图;
其中,相邻的发热纹路的间距由内到外逐级递减0.5mm,分别为8.5mm、8mm、7.5mm、7mm、6.5mm。
具体实施方式
下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明,但不限于此。
如图1-2所示。
实施例1:
一种pbn-pg陶瓷加热器,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路之间的间距均为7.5mm,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔用于连接电源。
实施例2
一种pbn-pg陶瓷加热器,其结构如实施例1所述,不同之处在于,相邻的发热纹路之间的间距由内到外逐级递减0.5mm,分别为8.5mm、8mm、7.5mm、7mm、6.5mm。
1.一种pbn-pg陶瓷加热器,其特征在于,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路的间距不等,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔。
2.如权利要求1所述的陶瓷加热器,其特征在于,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减。
3.如权利要求1所述的陶瓷加热器,其特征在于,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为2%-20%。
4.如权利要求1所述的陶瓷加热器,其特征在于,所述相邻的发热纹路之间的间距为5-10mm。
5.如权利要求1所述的陶瓷加热器,其特征在于,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为0.5mm。