专利名称：Mems麦克风的制作方法
技术领域：
MEMS麦克风
技术领域：
本实用新型涉及一种麦克风，尤其涉及一种MEMS麦克风。背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电 话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其 是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电
话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。
而目前应用较多且性能较好的麦克风是 MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System Microphone )麦克风。长口图l所示， 相关技术的MEMS麦克风100，包括底板14，、覆盖于底板1，4的上盖 20，和分别置于底板14，上的换能器12'和控制电路16'，其中，底板14' 设有第一声腔18，。
相关技术的MEMS麦克风100',仅依靠第一声腔18，向换能器12，提 供压力基准，使得MEMS麦克风100，的灵敏度不高、频响特性也不理想。
因此，有必要才是供一种新的MEMS麦克风以克"良上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于提供一种灵敏度高，频响特性好 的MEMS麦克风。
本实用新型通过这样的技术方案解决上述的技术问题 一种MEMS麦克风，其包括底板、覆盖于底板的上盖和分别置于 底板上的换能器和控制电路，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底 壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其中，上盖的侧壁上自远离底壁 的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相 通。
与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点第一声腔、第二声 腔和第三声腔彼此贯通，为麦克风提供了一个较大的声腔，这样可提高 MEMS麦克风的灵敏度以及改善频响特性。
图1为相关技术MEMS麦克风的剖视示意图。
图2为本实用新型MEMS麦克风的剖视示意图。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的具体结构。
本实用新型MEMS麦克风100，主要用于手机上，接受声音并将声 音转化为电信号。
请参图2所示，本实用新型MEMS麦克风100,主要包括底板(未标 号)、覆盖于底板的上盖(未标号)和分别置于底板上的换能器3和控 制电^各4。
底板设有上板ll、与上板11平行设置的下板12和位于上板11和下板 12间的第一声腔13。所述上板11设有第一入声孔14。
上盖设有底壁21和自底壁21延伸的侧壁22。侧壁22上自远离底壁21 的一端向底壁21凹陷有第二声腔23,所述第二声腔23与第一声腔13彼此 贯通。于上盖的底壁21上设有让外部声源进入的第二入声孔24。
换能器3置于底板的上板11上，其设有第三声腔33，该第三声腔33 可通过第一入声孔14与第一声腔13贯通。
第一声腔13、第二声腔23和第三声腔33彼此贯通，为MEMS麦克风 1 OO提供了 一个较大的声腔，这样可提高MEMS麦克风100的灵敏度和改 善频响特性。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施方式，本实用新型的保护范围 并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本实用新型所 揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
权利要求1. 一种MEMS麦克风，其包括底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，其中，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其特征在于上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于所述底板设 有第一入声孔，所述第三声腔通过该第一入声孔与第一声腔贯通。
专利摘要本实用新型有关一种MEMS麦克风，其包括底板、覆盖于底板的上盖和分别置于底板上的换能器和控制电路，底板设有第一声腔，上盖设有底壁、自底壁延伸的侧壁，换能器设有第三声腔，其中，上盖的侧壁上自远离底壁的一端向底壁凹陷有第二声腔，所述第一声腔与第二声腔和第三声腔相通。可提高MEMS麦克风的灵敏度以及改善频响特性。
文档编号H04R1/08GK201274552SQ200820146539
公开日2009年7月15日 申请日期2008年8月8日 优先权日2008年8月8日
发明者吴志江, 孟珍奎 申请人:瑞声声学科技(深圳)有限公司