一种面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端的制作方法

本发明提出了一种面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端，属于微电子机械系统(mems)的技术领域。

背景技术：

物联网的提出以及发展，推动了整个通信行业中各种技术的更新升级，为我国带来了新的机遇和挑战，而作为物联网的核心之一的微波接收机前端，由于其性能不能满足发展要求而成为新的难题，这严重阻碍了物联网的发展。传统的微波接收机前端中，滤波器频段外的微波信号会形成驻波，造成严重的电磁干扰，污染了系统的电磁环境；同时滤波器的通带中心频率不可调，限制了接收机前端的使用范围。这些传统微波接收机前端的弊端降低了系统的稳定性。近年来，随着科学界和工业界对mems技术的研究以及实验验证，使得面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端具有实现的可能。

技术实现要素：

技术问题：本发明的目的是提供一种面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端。接收机使用微波天线接收到的微波信号，接入基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器进行滤波，不仅滤波器中心频率可调，同时达到驻波能量收集，减少驻波电磁干扰的目的。滤波后的信号进入低噪声放大器放大后，依次进入混频器、中频滤波器，最终实现中频输出。

技术方案：为解决上述技术问题，本发明提出了一种面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端。该面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端包括：微波天线、基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器、充电电池、直流电源、低噪声放大器、混频器、本地振荡器、中频滤波器。

微波天线，用来接收微波信号。

基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器，是由lc可调带通滤波器、第一lc可调带阻滤波器、第二lc可调带阻滤波器、第一ac/dc转换模块、第二ac/dc转换模块、微波信号输入端口和微波信号输出端口构成。其中lc可调带通滤波器由电容式固支梁k1、电容式固支梁k2和平面电感l1、平面电感l2构成，其中电容式固支梁k1和平面电感l1一端相连构成为滤波器的输入端，电容式固支梁k1的另一端连接地，平面电感l1的另一端连接电容式固支梁k2和平面电感l2，平面电感l2的另一端接地，电容式固支梁k2另一端作为滤波器的输出端。第一lc可调带阻滤波器和第二lc可调带阻滤波器由电容式固支梁k2、电容式固支梁k1和平面电感l2、平面电感l1构成，其中电容式固支梁k2和平面电感l2一端相连构成为滤波器的输入端，电容式固支梁k2的另一端连接地，平面电感l2的另一端连接电容式固支梁k1和平面电感l1，平面电感l1的另一端接地，电容式固支梁k1另一端作为滤波器的输出端。通过控制电容式固支梁k2和电容式固支梁k1的下拉驱动电压能够调节接入的电容大小从而调节滤波器的通带频域。第一lc可调带阻滤波器和第二lc可调带阻滤波器结构完全一样，其阻带的频域与lc带通滤波器通带的频域相同，形成互补，第一lc可调带阻滤波器和第二lc可调带阻滤波器的通带频域与驻波信号的频域相同，可以收集lc可调带通滤波器两端的驻波能量，并且能够实现滤波器滤波频段可调。

充电电池，将第一ac/dc转换模块和第二ac/dc转换模块得到的直流电压能量储存在电池之中，同时与直流电源并联，给有源电路实现自供电。

低噪声放大器，放大输入的微波信号，并接入混频器。

混频器，通过与本地振荡器混频，将微波信号变换为中频微波信号。

本地振荡器，产生本地振荡信号。

中频滤波器，滤波后输出中频信号。

有益效果：1.本发明的面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端中包含基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器。所述的滤波器只需要简单的控制电容式固支梁的下拉驱动电压的大小，就可以调节滤波器的滤波。此外，本发明中的两个结构完全一样的lc可调带阻滤波器阻带的频域与lc带通滤波器通带的频域相同，形成互补，lc可调带通滤波器的通带频段外的微波信号在其两端形成驻波，lc可调带阻滤波器10和lc可调带阻滤波器11的通带频段与驻波信号频段相同，可以收集lc可调带通滤波器两端的驻波，并利用ac/dc转换模块转换成直流电压，最终存储在充电电池中，在滤波的同时，也改善了电路的电磁兼容环境。

2.充电电池与直流电源并联，给有源电路部分实现自供电。

附图说明

图1为本发明的面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端的原理框图；

图2是基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器的结构框图；

图3是lc可调带通滤波器的原理图；

图4是lc可调带阻滤波器的原理图；

图5是lc可调带通滤波器、第一lc可调带阻滤波器和第二lc可调带阻滤波器中的电容式固支梁的俯视图；

图6是lc可调带通滤波器、第一lc可调带阻滤波器和第二lc可调带阻滤波器中的电容式固支梁的bb’面剖面图。

面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端的原理框图中包括：微波天线1，基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2，充电电池3，直流电源4，低噪声放大器5，混频器6，本地振荡器7，中频滤波器8，中频输出9。基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2由lc可调带通滤波器，第一lc可调带阻滤波器10，第二lc可调带阻滤波器11，第一ac/dc转换模块12-1，第二ac/dc转换模块12-2，微波信号输入端口，微波信号输出端口，lc可调带通滤波器和lc可调带阻滤波器均由平面电感和电容式固支梁构成。电容式固支梁由硅衬底13、第一段传输线14、第二段传输线15、第一锚区16，第二锚区17，固支梁18，金属pad19，第一氮化硅介质层20，第一下拉电极21、第二氮化硅介质层22，第二下拉电极23和第三氮化硅介质层24构成。

具体实施方式

本发明的面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端的具体实施方案如下：

本发明提出面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端包括：微波天线1，基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2，充电电池3，直流电源4，低噪声放大器5，混频器6，本地振荡器7，中频滤波器8，中频输出9。基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2由lc可调带通滤波器，第一lc可调带阻滤波器10，第二lc可调带阻滤波器11，第一ac/dc转换模块12-1，第二ac/dc转换模块12-2，微波信号输入端口，微波信号输出端口组成。lc可调带通滤波器和lc可调带阻滤波器均由平面电感l1、l2和电容式固支梁k1、k2构成。电容式固支梁由硅衬底13、第一段传输线14、第二段传输线15、第一锚区16，第二锚区17，固支梁18，金属pad19，第一氮化硅介质层20，第一下拉电极21、第二氮化硅介质层22，第二下拉电极23和第三氮化硅介质层24构成。

如图1所示，微波天线1接收到微波信号，该信号经过基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2后，在实现滤波的同时，带通滤波器两端形成的驻波能量会被两端的带阻滤波器的滤波器吸收。而后信号到达下一级的低噪声放大器5，被放大的微波信号经过混频器6，使该微波信号下变频到中频，在经中频滤波器8滤波后，便可得到可以处理的中频信号9。基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2的ac/dc转换模块分别连接充电电池3，充电电池3与直流电源4并联后，共同为低噪声放大器5，混频器6和本地振荡器7提供能量。

如图2所示，所述的基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器2包括lc可调带通滤波器、第一lc可调带阻滤波器10、第二lc可调带阻滤波器11、第一ac/dc转换模块12-1、第二ac/dc转换模块12-2、微波信号输入端口和微波信号输出端口。其中两个结构完全一样的lc可调带阻滤波器10和11阻带的频域与lc可调带通滤波器通带的频域相同，形成互补，lc可调带通滤波器的通带频段外的微波信号在其两端形成驻波，第一lc可调带阻滤波器10和第二lc可调带阻滤波器11的通带频段与驻波信号频段相同，可以收集lc可调带通滤波器两端的驻波。

如图3所示，所述的lc可调带通滤波器由平面电感l1、平面电感l2和电容式固支梁k1、电容式固支梁k2构成。其中电容式固支梁k1的一端作为微波信号输入端口，另一端连接平面电感l1，电容式固支梁k1的金属pad连接地，平面电感l1的另一端与平面电感l2、电容式固支梁k2相连，平面电感l2的另一端接地，电容式固支梁k2的另一端悬空，电容式固支梁k2的金属pad引线作为滤波器的输出端，通过控制电容式固支梁k1和电容式固支梁k2的下拉驱动电压能够调节接入的电容c1、c2的大小从而调节滤波器的通带频域。

如图4所示，所述的第一lc可调带阻滤波器10和第二lc可调带阻滤波器11由平面电感l2、平面电感l1和电容式固支梁k2、电容式固支梁k1构成。其中电容式固支梁k2的一端作为微波信号输入端口，另一端连接平面电感l2，电容式固支梁k2的金属pad连接地，平面电感l2的另一端与平面电感l1、电容式固支梁k1相连，平面电感l1的另一端接地，电容式固支梁k1的另一端悬空，电容式固支梁k1的金属pad引线作为滤波器的输出端，通过控制电容式固支梁k1和电容式固支梁k2的下拉驱动电压能够调节接入的电容大小从而调节滤波器的通带频域。

如图5是lc可调带通滤波器和lc可调带阻滤波器中的电容式固支梁的俯视图，图6是lc可调带通滤波器和lc可调带阻滤波器中的电容式固支梁的bb＇面剖面图。所述的电容式固支梁k1、k2以硅为衬底13，在硅衬底13的两端有第一段传输线14和第二段传输线15，在第一段传输线14设上有锚区16，第二段传输线15上设有锚区17，固支梁18架在第一锚区16和第二锚区17之间，固支梁18的下方设有一个金属pad19，金属pad19上设有第一氮化硅绝缘介质层20，金属pad19的两端是固支梁的两个下拉电极21和下拉电极23，第一下拉电极21上设有第二氮化硅绝缘介质层22，第二下拉电极23上设有第三氮化硅绝缘介质层24。

本发明的不同之处在于：

本发明的面向物联网自供电的固支梁微波接收机前端包含基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器。基于固支梁的驻波能量收集可调滤波器使用lc可调带通滤波器对微波信号进行滤波，lc可调带通滤波器滤波频段外的微波信号会在其两端形成驻波信号，第一lc可调带阻滤波器10和第二lc可调带阻滤波器11的通带频段与驻波信号频段相同，可以收集lc可调带通滤波器两端的驻波，并利用ac/dc转换模块转换成直流电压，最终存储在充电电池中，而两个结构完全一样的lc可调带阻滤波器阻带的频域与lc带通滤波器通带的频域相同，形成互补，此设计在滤波的同时，也改善了电路的电磁兼容环境。

本发明的面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端包含充电电池3。充电电池3与直流电源4并联后，为低噪声放大器5，混频器6，本地振荡器7供电，实现有源电路的自供电。

满足以上条件的结构即可视为本发明的面向物联网驻波能量收集的固支梁微波接收机前端。