拉晶炉副室旋转机构的制作方法

文档序号:8065434阅读:289来源:国知局
专利名称:拉晶炉副室旋转机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及拉晶炉,具体地说,是一种拉晶炉的副室旋转机构。
背景技术
现有的拉晶炉的副室旋转是用手拉形式来完成,其缺点是在旋转的过程中不稳, 会使晶棒在副炉筒中左右晃动、撞筒,严重的情况下会使晶棒上端的籽晶断裂,晶棒很难从副室中取出。
发明内容本实用新型的目的是提供一种可使得拉晶炉的副室转动平稳的拉晶炉副室旋转机构。本实用新型通过以下技术方案来实现拉晶炉副室旋转机构,副室转动设置机座上,在机座上设置电机,电机输出轴通过齿轮传动机构与副室相连。上述的拉晶炉副室旋转机构,它还包括控制电机的变频器。本实用新型的有益效果使用时,电机通过齿轮传动机构带动副室相对于机座转动。相对于以手动拉到副室转动,传动平稳,使副室很平稳的转到所需要的位置,不会再出现上述问题。

图1是本实用新型的示意图。
具体实施方式
如图1所示的拉晶炉副室旋转机构,副室1通过轴承2转动设置机座3上,在机座 3上设置变频电机4,变频电机输出轴5通过齿轮6与固定在副室1上的齿轮7啮合。变频电机4转动,通过齿轮6、7带动副室1相对于机座3转动。变频器与变频电机4相连,以控制其动作。
权利要求1.拉晶炉副室旋转机构,其特征是副室转动设置机座上,在机座上设置电机,电机输出轴通过齿轮传动机构与副室相连。
2.如权利要求1所述的拉晶炉副室旋转机构,其特征是它还包括控制电机的变频器。
专利摘要本实用新型提供一种可使得拉晶炉的副室转动平稳的拉晶炉副室旋转机构。该拉晶炉副室旋转机构,副室转动设置机座上,在机座上设置电机,电机输出轴通过齿轮传动机构与副室相连。
文档编号C30B15/30GK202297863SQ20112035471
公开日2012年7月4日 申请日期2011年9月21日 优先权日2011年9月21日
发明者丁俊, 李新, 马一超, 马金忠 申请人:江苏新华机电设备制造有限公司
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