一种高效拉晶炉的制作方法

文档序号:9085329阅读:480来源:国知局
一种高效拉晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体设备领域,具体是一种高效拉晶炉。
【背景技术】
[0002]拉晶炉是指半导体原料的分子在高温下进行排列整齐的装备,拉晶炉具有架子,架子上安装有可摇摆的炉体,炉体内具有炉腔,现有炉体是长方体的结构,而炉腔也是长方体的空腔,现有炉体的炉腔比较深,而且炉门也只有一个,因此在向炉腔里面放置拉晶管时比较困难,在取出拉晶管的过程中操作更困难,而且长方体结构炉腔内的空气流通性不好,导致炉腔内温度不均匀,影响产品质量,另外该结构的拉晶炉在维修时也具有很大的操作困难。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种高效拉晶炉,以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
[0005]—种高效拉晶炉,包括基座、支架、炉体和吊板,所述支架对称的固定安装在基座上,所述支架顶端通过第一连接转轴活动安装有连杆,所述炉体通过第二连接转轴活动安装在连杆另一端,所述炉体前端通过密封铰座活动安装有第一炉门,所述炉体后端也通过密封铰座活动安装有第二炉门,所述炉体侧面中间活动安装有第三炉门,所述炉体内部顶端固定安装有多个固定铰座,所述吊板活动安装在固定铰座下端。
[0006]作为本实用新型进一步的方案:所述固定铰座在炉体内部顶端均匀排布。
[0007]作为本实用新型再进一步的方案:所述炉体采用双层中空炉体。
[0008]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型拉晶炉通过炉体在支架上的往复运动,从而增加炉体内晶体的处理效果;炉体采用双层中空炉体,从而使得晶体在炉体内处理时达到很好的保温效果;设置多个炉门使得对拉晶管的操作更加方便,提高设备的工作效率以及使用效果;通过吊板的不断晃动摇摆,从而加速炉体内的气体流动,进而使得炉体3内的气体温度更加均匀,从而提高产品的质量。
【附图说明】
[0009]图1为高效拉晶炉的结构示意图。
[0010]图2为尚效拉晶炉中连杆的不意图。
[0011]图中:1-基座;2-支架;3-炉体;4_第一炉门;5_密封铰座;6_固定铰座;7_吊板;8_第二炉门;9_第三炉门;10_第一连接转轴;11_连杆;12_第二连接转轴。
【具体实施方式】
[0012]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0013]请参阅图1?2,本实用新型实施例中,一种高效拉晶炉,包括基座1、支架2、炉体3和吊板7,支架2对称的固定安装在基座I上,支架2顶端通过第一连接转轴10活动安装有连杆11,炉体3通过第二连接转轴12活动安装在连杆11另一端,因此炉体3通过连杆11的作用以及外界动力的驱动下再支架2顶端自由的往复运动,从而增加炉体3内晶体的处理效果;炉体采用双层中空炉体,从而使得晶体在炉体3内处理时达到很好的保温效果;炉体3前端通过密封铰座5活动安装有第一炉门4,炉体3后端也通过密封铰座5活动安装有第二炉门8,设置的第二炉门8使得在处理晶体设备时更加方便,而且还有利于对炉体3的维修;炉体3侧面中间活动安装有第三炉门9,当炉体3的长度过长时,炉体3前后两端的炉门均不能满足实际的需求,此时通过第三炉门9对拉晶管进行操作,从而更加方便,而且还提高了设备的工作效率以及使用效果;炉体3内部顶端均匀固定安装有多个固定铰座6,吊板7活动安装在固定铰座6下端,炉体3在往复的摇摆过程中,固定铰座6下端的吊板7也在不断的晃动摇摆,从而加速炉体3内的气体流动,进而使得炉体3内的气体温度更加均勾,从而提1?广品的质量D
【主权项】
1.一种高效拉晶炉,包括基座、支架、炉体和吊板,其特征在于,所述支架对称的固定安装在基座上,所述支架顶端通过第一连接转轴活动安装有连杆,所述炉体通过第二连接转轴活动安装在连杆另一端,所述炉体前端通过密封铰座活动安装有第一炉门,所述炉体后端也通过密封铰座活动安装有第二炉门,所述炉体侧面中间活动安装有第三炉门,所述炉体内部顶端固定安装有多个固定铰座,所述吊板活动安装在固定铰座下端。2.根据权利要求1所述的高效拉晶炉,其特征在于,所述固定铰座在炉体内部顶端均匀排布。3.根据权利要求1所述的高效拉晶炉,其特征在于,所述炉体采用双层中空炉体。
【专利摘要】本实用新型公开了一种高效拉晶炉,包括基座、支架、炉体和吊板,支架对称的固定安装在基座上,支架顶端通过第一连接转轴活动安装有连杆,炉体通过第二连接转轴活动安装在连杆另一端,炉体前端和后端均通过密封铰座分别安装有第一炉门和第二炉门,炉体侧面中间活动安装有第三炉门,吊板安装在炉体内部顶端的多个固定铰座下端。本实用新型拉晶炉处理效果好,操作极其方便,提高设备的工作效率高,炉体内的气体流动效果好,气体温度更加均匀,从而提高产品的质量。
【IPC分类】C30B15/00
【公开号】CN204738042
【申请号】CN201520258943
【发明人】潘群辉
【申请人】上海赢奔光电科技有限公司
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2015年4月24日
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1